• Title/Summary/Keyword: 열감지

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적외선 센서용 VOx/ZnO/VOx 박막 증착 및 특성 연구

  • Han, Myeong-Su;Mun, Su-Bin;Han, Seok-Man;Sin, Jae-Cheol;Kim, Hyo-Jin
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.08a
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    • pp.236-236
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    • 2013
  • 비냉각 적외선 검출기는 산업용 군사용으로 최근 각광을 받고 있다. 이는 주야간 빛이 없는 곳에서도 사물의 열을 감지할 수 있어 인체감지 및 보안감시, 에너지 절감 등에 응용될 수 있는 핵심부품이다. 비냉각 적외선 검출기로는 재료의 저항의 변화를 감지하는 마이크로볼로미터형이 가장 많이 사용된다. 감지재료로는 비정질 실리콘(a-Si)과 산화바나듐(VOx)이 가장 많이 사용된다. VOx 박막은 일반적으로 RF sputtering 방법으로 증착이 되며, 저항이 낮고, 저항의 온도변화 계수(TCR)가 크며 신호 대 잡음 특성이 우수한 반면 산소(oxygen) phase가 다양하여 갓 증착된 상태의 박막은 재현성이 떨어지는 단점이 있다. 본 연구에서는 기존의 V 타겟을 사용한 VOx 박막을 증착하는 방법을 개선하여 ZnO 나노박막을 중간에 삽입하여 저항 특성을 조절할 뿐만 아니라 열처리에 의해 TCR 값을 향상시키고, VO2 phase 가 주로 나타나는 박막 증착 및 공정 방법을 소개한다. RF sputtering 장비를 이용하여 산소와 아르곤 가스의 혼합비를 4.5로 하였으며, VOx 증착 시 플라즈마 Power는 150 W 로 하여 상온에서 증착하였다. 갓 증착된 VOx 다층박막의 XRD 스펙트럼은 V2O5 피크가 주된 상을 이루고 있었으며, 산소열처리에 의해 VO2 상이 주로 나타남을 알 수 있었다. TCR 값은 갓 증착된 샘플에서 -0.13%/K의 값을 얻었으며, $300^{\circ}C$에서 50분간 열처리 후 -3.37%/K 으로 급격히 향상됨을 알 수 있었다. 저항은 열처리 후 약 100 kohm으로 낮아져 검출소자를 위한 조건에 적합한 특성을 얻을 수 있었다. 또한 산소열처리의 온도 및 시간에 따라 TCR 및 표면 거칠기 특성을 조사하였으며, 최적의 열처리 조건을 얻고자 하였다.

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Automatic Fire Detector Spacing Calculation for Performance Based Design (성능위주설계를 위한 화재감지기배치의 공학적연구)

  • Park, Dong-Ha
    • Fire Science and Engineering
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    • v.24 no.1
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    • pp.15-23
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    • 2010
  • Placement method for fire detectors prescribed in current fire safety regulation is just about placing a prescribed number of detectors according to the areas. However, this regulation has no scientific basis and standards from foreign countries are just introduced and fire detectors are installed complying with them. There are two standards in designing fire protection systems; Prescriptive-Based Design that follows stipulated regulations like fire safety standards and Performance-Based Design based on engineering knowledge such as fire dynamics, structural dynamics, mechanics of materials, fluid mechanics, and thermo dynamics. Recently, Fire Protection System Construction Business Act was revised so that fire protection systems can be designed using Performance-Based Design method ('05. 8. 4), though the method has not activated until now. In addition, the enforcement decree defines the range for specific objects of fire protection to which Performance-Based Design is applied ('07, 1. 24). At the moment, by manufacturing simulator so that formulas can be introduced and calculated with software in order to install fire detector of automatic fire detection systems keeping optimized distance, comparing the results with the state of fire detector placed according to Performance-Based Design and analyzing them, this study was intended to settle Performance-Based Design method in the future.

Development of a dispersion coefficient method using a drone-based spatio-temporal hyperspectral image (드론기반 시공간 초분광영상을 활용한 분산계수 산정기법 개발)

  • Gwon, Yeonghwa;Han, Eunjin;Kim, Dongsu;You, Hojun;Kim, Youngdo;Kwon, Siyoone
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2021.06a
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    • pp.112-113
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    • 2021
  • 하천으로 유입되는 오염물질은 유수의 흐름에 따라 이송되며 혼합된다. 이러한 오염물질의 해석을 위해서는 확산 또는 분산계수 산정이 필요하다. 오염물질의 거동과 관련된 실험적 연구는 방사선 동위원소와 형광성 물질을 이용하여 수행되어 왔으나, 추적자 실험은 많은 비용 및 인력을 요하며, 고정식으로 설치한 계측장비로부터 수집한 시계열 농도자료만을 이용하여 분석하기 때문에 공간적 분포에 대한 자료 취득은 어렵다는 한계가 있다. 하천의 오염물질을 모니터링하기 위해서는 공간을 이동하는 입자의 관점에서 물리량을 표현하는 Lagrangian 방식보다 특정 위치에서 물리량 변화를 표현하는 Eulerian 방식이 적합하다. 그러나 드론을 활용한 하천원격탐사 연구의 대부분은 이동식 플랫폼으로 활용되어 특정 시간에 공간적 분광특성의 분포 파악이 한정적이며, 동일 지점에서 분광특성의 시간적 변화를 파악할 수 없다. 따라서 본 연구에서는 기존의 면단위를 측정하는 이동식 플랫폼의 한계를 극복하고 하천 모니터링에 적합한 Eulerian 방식을 적용하기 위하여 CCTV 형태의 고정식 초분광촬영 플랫폼을 도입하였다. 본 연구에서는 하천으로 유입되는 오염물질의 거동을 분석하기 위하여 자연하천에서 형광성물질인 Rhodamine WT를 이용하여 추적자 실험을 수행하였으며, 접촉식 센서를 활용한 농도측정과 동시에 드론과 초분광센서를 활용하여 CCTV 형태의 고정식 초분광영상을 획득하였다. 실험결과 도출된 전통적인 방식의 분산계수 산정과 시공간 초분광영상을 활용한 분산계수 산정을 비교하여 오염물질 거동 분석에 초분광영상 활용의 가능성을 검토하였다. 본 연구에서 제시한 드론기반 시공간 초분광영상 기법을 교량이나 기타 하천구조물에 초분광 센서를 설치하여 CCTV형식으로 활용할 경우, 공단이나 하·폐수 처리장 등의 점오염원이 밀집해 있는 지역에 직접 설치하여 화학사고의 감지 및 오염물질의 유출 확인 및 조류, 부유사 등의 다양한 수질항목의 농도 변화 감지가 가능하고, 수심변화 감지로 장기적으로 활용할 경우 특정 지점에서의 하상변동 조사가 가능하다. 또한, 오염물질의 유출 사고 발생 등의 사람이 직접 접근이 불가능한 지역에 드론을 활용하여 초분광센서를 이용한 오염물질 감지가 가능할 것으로 판단된다.

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A Study on the Test and Visualization of Change in Structures Associated with the Occurrence of Non-Stationary of Long-Term Time Series Data Based on Unit Root Test (Unit Root Test를 기반으로 한 장기 시계열 데이터의 Non-Stationary 발생에 따른 구조 변화 검정 및 시각화 연구)

  • Yoo, Jaeseong;Choo, Jaegul
    • KIPS Transactions on Software and Data Engineering
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    • v.8 no.7
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    • pp.289-302
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    • 2019
  • Structural change of time series means that the distribution of observations is relatively stable in the period of constituting the entire time series data, but shows a sudden change of the distribution characteristic at a specific time point. Within a non-stationary long-term time series, it is important to determine in a timely manner whether the change in short-term trends is transient or structurally changed. This is because it is necessary to always detect the change of the time series trend and to take appropriate measures to cope with the change. In this paper, we propose a method for decision makers to easily grasp the structural changes of time series by visualizing the test results based on the unit root test. Particularly, it is possible to grasp the short-term structural changes even in the long-term time series through the method of dividing the time series and testing it.

The Study of $SiO_2$, $Si_3N_4$ passivation layers grown by PECVD for the indiumantimonide photodetector

  • Lee, Jae-Yeol;Kim, Jeong-Seop;Yang, Chang-Jae;Park, Se-Hun;Yun, Ui-Jun
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2009.11a
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    • pp.24.2-24.2
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    • 2009
  • Indium Antimonide(InSb)는 $3{\sim}5\;{\mu}m$대 적외선 감지영역에서 기존 HgCdTe(MCT)를 대체할 물질로 각광받고 있다. 1970년대부터군사적 용도로 미국, 이스라엘 등 일부 선진국에서 연구되기 시작했으며,이온주입, MOCVD, MBE 등 다양한 공정을 통해 제작되어 왔다. InSb 적외선 감지소자는 $3{\sim}5{\mu}m$대에서 HgCdTe와 성능은 대등한데 반해, 기판의 대면적화와 저렴한 가격, 우주공간 및 야전에서 소자 동작의안정성 등으로 InSb적외선 감지기는 냉각형 고성능 적외선 감지영역에서 HgCdTe를 대체해 가고 있다. 하지만 InSb는 77 K에서 0.225eV의 작은 밴드갭을 갖고 있기 때문에 누설전류로 인한 성능저하가 고질적인문제로 대두되었고, 이를 해결하기 위한 고품질 절연막 연구가 InSb적외선 수광 소자 연구의 주요이슈 중 하나가 되어왔다. 그 동안 PECVD, photo-CVD, anodic oxidation 등의 공정을 이용하여 $SiO_2$, $Si_3N_4$, 양극산화막(anodic oxide) 등 다양한 절연막에 대한 연구가 진행되었고[1,2], 절연막과 반도체 사이 계면에서의 열확산을 억제하여 계면트랩밀도를 최소화하기 위한 공정개발이 이루어졌다[3]. 하지만 InSb 적외선 감지기술은 국방 및 우주개발의 핵심기술중 하나로 그 기술의 이전이 엄격히 통제되고 있으며, 현재도 미국과 이스라엘, 일본, 영국 등 일부 선진국 만이 기술을 확보하고 있고, 국내의 경우 연구가 매우 취약한 실정이다. 따라서 본 연구에서는 InSb 적외선 감지기의 암전류를 제어하기 위한 낮은 계면트랩밀도를 갖는 절연막 증착 공정을 찾고자 하였다. 본 연구에서는 n형 (100) InSb 기판 ($n=0.2{\sim}0.85{\times}10^{15}cm^{-3}$ @ 77K)에 PECVD를 이용하여 $SiO_2$, $Si_3N_4$ 등을 증착하고 절연막으로서 이들의 특성을 비교 분석하였다. $SiO_2$는 160, 200, $240^{\circ}C$에서 $Si_3N_4$는 200, $300^{\circ}C$에서 증착하였다. Atomic Force Microscopy(AFM) 사진으로 확인한 결과, 모든 샘플에서표면거칠기가 ~2 nm의 평탄한 박막을 얻을 수 있었다. Capacitance-Voltage 측정(77K)을 통해 절연막 특성을 평가하였다. $SiO_2$$Si_3N_4$ 모두에서 온도가 증가할수록 벌크트랩밀도가 감소하는 경향을 볼 수 있었는데, 이는 고온에서 증착할 수록 박막 내의 결함이 감소했음을 의미한다. 반면계면트랩밀도는 온도가 증가함에 따라, 1011 eV-1cm-2 대에서 $10^{12}eV^{-1}cm^{-2}$ 대로 증가하였는데, 이는 고온에서 증착할 수 록 InSb 표면에서의 결함은 증가하였음을의미한다. 암전류에 큰 영향을 주는 것은 계면트랩밀도 이므로, $SiO_2$$Si_3N_4$ 모두 $200^{\circ}C$이하의 저온에서 증착시켜야 함을 확인할 수 있었다.

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Thermal Cycling Oxidation Resistance of Carbon Fiber-Phenolic and Stabilized PAN Fiber-Phenolic Composites (탄소섬유-페놀수지 및 안정화 PAN섬유-페놀수지 복합재료의 열주기 산화저항)

  • Jo, Dong-Hwan;An, Yeong-Seok;Lee, Sang-Cheol;Yun, Gwan-Han;Min, Byeong-Gil
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.7 no.10
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    • pp.838-844
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    • 1997
  • 폴리아크릴로나트릴(PAN)계 탄소섬유 및 안정화 PAN섬유를 사용하여 제조한 페놀수지 복합재료의 열주기 산화저항성에 섬유표면의 인산코팅 유.무가 미치는 영향을 조사하였다. 각 복합재료의 열주기 산화저항성은 열중량분석기의 원리를 응용하여, 공기중에서 hot zone과 cold zone을 주기적으로 반복이동하는 열충격조건에 노출되면서 초래되는 복합재료의 중량변화를 측정하여 비교하였다. 시험변수로는 hot zone에 노출된 온도, 시간 및 싸이클횟수를 선정하였다. 이 시험방법은 비교적 단순하며, 작은 크기의 시편으로도 가능하고, 중량변화가 온-라인 모니터에서 직접 감지되므로 데이타의 신뢰성이 \ulcorner다. 각 시험조건에서 인산코팅한 섬유를 사용한 복합재료가 그렇지 않은 재료보다 고온에서의 높은 산화저항성 때문에 우수한 열주기저항성을 보여 주었다. 또한 인산코팅의 존재 여부가 열주기시험 후의 탄소섬유-페놀수지 및 안정화 PAN섬유-페놀수지 복합재료의 미세구조에 미치는 영향을 조사하였다.

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People Counting based on Color Histogram (컬러 매칭을 이용한 사람 계수 측정)

  • Yeon, Je-Weon;Kim, Manbae
    • Proceedings of the Korean Society of Broadcast Engineers Conference
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    • 2016.11a
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    • pp.140-141
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    • 2016
  • 기존의 사람 계수 측정 시스템은 적외선 빔이나 열 감지 영상 장치를 통해 측정하였다. 하지만 이와 같은 방법으로 측정하면 객체가 들어가거나 나가는 정보는 제공하지 않는다. 이에 본 논문은 고정된 카메라를 이용하여 각 사람의 피부색과 옷차림 등의 RGB 정보를 이용한 사람 계수 측정 기법을 제안한다. RGB카메라 영상을 통하여 객체의 RGB 히스토그램을 얻은 후 각 객체에 대해 Bhattacharyya metric을 통한 histogram similarity을 계산하여 객체 추적 및 분류를 통해 사람 계수 측정을 한다. 제안된 시스템은 C/C++을 기반으로 구현하여, 사람 계수 측정 성능을 평가하였다.

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Recognition of Conducting Motion using HMM (HMM을 이용한 지휘 동작의 인식)

  • 문형득;구자영
    • Journal of the Korea Society of Computer and Information
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    • v.9 no.1
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    • pp.25-30
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    • 2004
  • In this Paper, a beat recognition method from a sequence of images of conducting person was proposed. Hand position was detected using color discrimination, and symbolized by quantization. Then a motion of the conductor was represented as a sequence of symbols. HMM (Hidden Markov Model), which is excellent for recognition of sequence pattern with some level of variation, was used to recognize the sequence of symbols to be a motion for a beat.

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A micro wind sensor fabricated using MEMS technology (MEMS 기술을 이용한 초소형 풍향 풍속 센서)

  • Yoo, Eun-Shil;Shin, Kyu-Sik;Cho, Nam-Kyu;Pak, Jung-Ho;Lee, Dae-Sung
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2008.07a
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    • pp.1468-1469
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    • 2008
  • 기상관측 분야에서는 풍속센서의 소형화 요구가 커지고 있어 Air flow sensor를 이용한 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 풍향 풍속센서의 응용연구가 활발하다. MEMS 풍향 풍속 센서는 수 mm 크기를 가지면서도 바람의 세기와 함께 방향을 측정하여야 하는데, 센서 칩이 노출되어 있어 외부환경으로부터 영향을 받기 때문에 센서소자의 내오염성과 내구성 확보가 중요하다. 따라서 본 연구에서는 절연막으로 비점착성의 테프론 막을 적용하여 외부환경으로부터 영향을 줄일 수 있는 열감지 방식의 MEMS 풍향 풍속 센서 칩을 제작하였다. 테프론 코팅막을 이용한 풍향 풍속 센서는 0.1m/s의 resolution을 가지며, 최대 15m/s까지 측정이 가능하여, 오염에 강하고 발수성을 센서를 제작하였다.

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