Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

A micro wind sensor fabricated using MEMS technology

MEMS 기술을 이용한 초소형 풍향 풍속 센서

  • Yoo, Eun-Shil (Nano Sensor RC, Korea Electronics Technology Institute) ;
  • Shin, Kyu-Sik (Nano Sensor RC, Korea Electronics Technology Institute) ;
  • Cho, Nam-Kyu (Nano Sensor RC, Korea Electronics Technology Institute) ;
  • Pak, Jung-Ho (School of Electronic and Electrical Engineering, Korea University) ;
  • Lee, Dae-Sung (Nano Sensor RC, Korea Electronics Technology Institute)
  • 유은실 (전자부품연구원 나노센서연구센터) ;
  • 신규식 (전자부품연구원 나노센서연구센터) ;
  • 조남규 (전자부품연구원 나노센서연구센터) ;
  • 박정호 (고려대 전자전기공학과) ;
  • 이대성 (전자부품연구원 나노센서연구센터)
  • Published : 2008.07.16
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Abstract

기상관측 분야에서는 풍속센서의 소형화 요구가 커지고 있어 Air flow sensor를 이용한 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 풍향 풍속센서의 응용연구가 활발하다. MEMS 풍향 풍속 센서는 수 mm 크기를 가지면서도 바람의 세기와 함께 방향을 측정하여야 하는데, 센서 칩이 노출되어 있어 외부환경으로부터 영향을 받기 때문에 센서소자의 내오염성과 내구성 확보가 중요하다. 따라서 본 연구에서는 절연막으로 비점착성의 테프론 막을 적용하여 외부환경으로부터 영향을 줄일 수 있는 열감지 방식의 MEMS 풍향 풍속 센서 칩을 제작하였다. 테프론 코팅막을 이용한 풍향 풍속 센서는 0.1m/s의 resolution을 가지며, 최대 15m/s까지 측정이 가능하여, 오염에 강하고 발수성을 센서를 제작하였다.

Keywords