• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.468-468
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• 2010

유도 결합 플라즈마에서 기체 유량에 따른 전자 에너지 분포 측정과 그에 따른 플라즈마 밀도와 전자 온도의 변화를 관찰하였다. 기체 압력 제어는 조임 밸브 (Throttle valve) 부근의 압력측정을 통한 조임 밸브 조절 방법을 이용하였으며, 이 방법은 공정 플라즈마에서 널리 쓰이는 압력 조절법이다. 낮은 기체 유량에서 측정된 전자 에너지 분포는 두 개의 온도 그룹을 갖는 bi-Maxwellian 분포를 보였다. 하지만, 기체 유량이 증가함에 따라서 전자 에너지 분포는 Maxwellian 분포로 전이를 하였으며, 플라즈마 밀도의 증가와 전자 온도의 감소를 보였다. 이러한 분포 함수의 변화는 기체 압력이 증가함에 따라 나타나는 전자 가열 모드 전이 현상과 일치하였으며, 이는 압력 조절부와 방전 공간 사이의 압력 구배에 의한 것으로 여겨진다. 이러한 결과는 방전 공간과 압력 조절부에서의 기체 압력 측정을 통하여 검증되었으며, 간단한 유체 모델을 통하여 설명될 수 있다.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2007.06a
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• pp.113-117
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• 2007

유도 결합 플라즈마의 안테나 크기에 따른 플라즈마 밀도와 온도 분포 등 플라즈마 변수들을 측정하였다. 플라즈마 진단을 위해서 단일 량뮤어 탐침(Single Langmuir probe)을 사용했으며 전자 에너지 분포함수 측정을 통해 플라즈마 변수들을 측정하였다. 단일 감은 수의 세 개의 안테나를 준비하고 각각의 안테나에 파워를 인가하고 플라즈마 변수들을 측정하였다. 안테나 크기에 따른 플라즈마 분포의 변화는 압력에 따라 많이 변했는데, 낮은 압력에서는 안테나의 의존성은 크지 않았으며 높은 압력에서는 밀도 분포의 변화가 크게 나타났다.

• Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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• v.36 no.4
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• pp.337-345
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• 2008

this study, three dimensional surface pressure distributions of SWIM whose main wing has NACA4412 airfoil with NACA0012 flaps were experimentally measured by pressure sensitive paint. Surface pressures on suction and pressure sides of the wing were measured by changing an angle of attack at a Reynolds number of 3.1x105 in KARI 1m subsonic wind tunnel. The experimental results showed that as an angle of attack increases minimum pressure region on a suction side moved from the wing root to the tip and low pressure region around trailing edge of the wing tip which causes wing tip vortex was observed. Although low pressure region at the tip still observed at an angle of attack 15 deg., other area on a suction side showed flat pressure distribution in a span-wise direction. It was also observed that the mean value of pressure coefficients was about 0.077 through a comparison between PSP and pressure taps at the same test conditions.

• Journal of rehabilitation welfare engineering & assistive technology
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• v.7 no.2
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• pp.109-115
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• 2013

In this paper, we developed pressure mesuring system for powered wheelchair and tried to validate the usefulness of developed system by pressure measuring experiment with 3D motion analysis. This system consist of 64ch seat FSR(Force Sensitive Resistance) sensor unit, 30ch*2 armchair FSR sensor unit, analog and digital hardware board, 2ch rotary encoder unit and realtime signal processing & display S/W. And each data acquired from this system has sampling frequency of 12bit, 10Hz. Pressure measuring experiment for 10 persons who use wheelchair in real life was performed in the 3D vision analysis room. From the experiment, we obtained result that the center line of body inclined to outside direction during powered-wheelchair rotate any direction.

• Nuclear Engineering and Technology
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• v.27 no.2
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• pp.248-259
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• 1995

고리 3호기 원자로를 대상으로 압력용기에서의 고속중성자 집적량을 계산하였다. 수송계산에는 2차원 각분할 수송코드인 DOT 4.3을 사용하였고 핵단면적 라이브러리는 ENDF /B-II와 ENDF /B-III를 근거로 한 CASK와 ENDF /B-IV를 근거로 한 BUGLE80, 고리고 ENDF /B-Ⅵ를 근거로 한BUGLE93 등이다. 사용한 핵단면적에 따른 압력용기에서의 고속중성자속 분포를 살펴보고 최근에 배포된 BUGLE93 라이브러리의 Dosimeter File을 사용하여 1, 2차 감시시험에서 측정된 중성자 측정시료의 방사능으로부터 계산된 고속중성자속 측정치를 계산된 고속중성자속과 비교하였다. 이 비교를 통하여 압력용기에서의 고속중성자속과 수명기간동안의 고속중성자 집적량을 평가하였다.

• Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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• 2007.04a
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• pp.317-321
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• 2007

PSP (Pressure Sensitive Paint) technique can measure continuous pressure field by analyzing the oxygen quantity using optical method. The surface pressure of down stream after the sonic jet that injected transversely into the supersonic freestream was measured by PSP technique. Moreover the effect of various rectangular shaped cavities in front of the jet was measured by PSP technique. A comparison of the PSP results with conventional pressure tap and CFD indicates good agreement. The result shows that the cavity affects the pressure distribution in the rear of the jet injection.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2015.08a
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• pp.142.1-142.1
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• 2015

웨이퍼 표면에서 부유 전위 분포를 측정하기 위해서 웨이퍼형 탐침 배열을 제작하고 측정회로를 만들었다. 아르곤 플라즈마의 경우 낮은 압력에서 부유 전위의 분포는 중심에서 최대값을 갖는 포물선 형태로 나타났다. 하지만 음이온 가스의 압력이 증가함에 따라 부유 전위의 분포가 현저하게 변화했다. 가스 압력이 높아짐에 따라 비국부적이었던 플라즈마의 방전 특성이 국부적으로 변화했기 때문이다. 이외에도 음이온도 부유 전위의 분포를 변화시킬 수 있음을 확인하였다. 이 연구는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 표면에서 전하 축적에 의한 손상을 이해하는데 도움이 될 것으로 기대된다.

• Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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• v.11 no.6
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• pp.50-57
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• 2007

Pressure Sensitive Paint(PSP) means a reacting paint in pressure. PSP can measure continuous pressure field by analyzing the oxygen quantity using optical method. The surface pressure of down stream after the sonic jet that injected transversely into the supersonic freestream was measured by PSP technique. Moreover the effect of various rectangular shaped cavities in front of the jet was measured by PSP technique. A comparison of the PSP results with conventional pressure tap and CFD indicates good agreement. Until now, the results of numerical analysis were compared with the discrete points such as the results of pressure tap. In this study, the whole region pressure was measured using PSP technique and its results were similar to CFD. Therefore, the flow phenonenon of cavity downstream was clearly grasped.

• Proceedings of the Korean Society of Tribologists and Lubrication Engineers Conference
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• 1987.06a
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• pp.57-60
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• 1987

근래에 들어 축의 고속회전이 요구되고 윤활제로 물이나 액체금속과 같은 동점성계수가 낮은 윤활제가 사용됨에 따라 베어링내의 유동은 층류상태를 벗어난 난류상태에 이르고 있다. 이와같이 고속에서 사용되는 저어널베어링에서의 윤활제의 유동은 더욱 복잡하게 되어 이들에 대한 정확한 특성을 예측하기 위한 연구가 필요하게 되었다. 최근에는 열유체윤활에 대한 연구가 행하여지고 있으나 저어널베어링의 온도특성에 대한 실험적 연구는 부족한 상태이다. 그리고 저어널의 하중을 지지하는 유막내의 압력에 대한 실험을 보면 거의 베어링면에서 국부적으로 측정하므로 유막에서 발생하는 압력의 분포를 정확히 알기는 어렵다. 본 연구에서는 저어널의 중앙단면에 압력계를 부착하여 연속적인 압력분포를 측정하고 베어링내면의 온도분포를 측정하며 편심율과 위상각, 배유량을 측정하여 저어널베어링의 성능특성을 예측하기 위한 실험자료를 제공하는 것을 목적으로 한다.

• Electrical & Electronic Materials
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• v.4 no.1
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• pp.73-81
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• 1991

본 논문은 가교폴리에틸렌중의 공간전하 분포를 직접 측정이 가능한 Laser-유기압력파법에 의하여 조사하였다. 그 결과 XLPE는 폴리에틸렌보다 전자주입이 쉽게 됨을 알았으며 그때의 시료내의 공간전하 분포를 측정할 수 있었다.