• Title/Summary/Keyword: 실시간 형상 측정

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Study of silicon deep via etching mechanism using in-situ temperature monitoring of silicon exposed to $SF_6/O_2$ plasma discharge

  • Im, Yeong-Dae;Lee, Seung-Hwan;Yu, Won-Jong;Jeong, Oh-Jin;Lee, Han-Chun
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2009.10a
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    • pp.116-117
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    • 2009
  • 식각 공정변화 즉 상부 ICP 파워, 반응기 압력, 실리콘 기판 온도변화에 따른 실리콘 딥 비어 (deep via) 의 형상 변화 메커니즘을 연구하였다. 메커니즘을 연구하기 위해 $SF_6/O_2$ 플라즈마에 노출된 실리콘 기판의 공정변화에 따른 표면 온도변화를 실시간으로 측정하여 플라즈마 내 positive ions의 거동을 분석하였다. 실리콘 기판의 표면온도를 상승시키는 주된 요인은 positive ions임을 확인할 수 있었으며 이는 기판에 적용된 negative voltage로 인하여 나타난 이온포격이 그 원인임을 알 수 있었다. 상대적으로 radical은 실리콘 표면온도 상승에 큰 역할을 하지 못하였다. 기판 표면온도가 상승 할수록 실리콘 딥 비어 구조에 undercut, local bowing과 같은 측벽 식각이 활성화됨을 확인할 수 있었으며 이는 기판에 들어오는 positive ions가 측벽식각을 유도하는 것으로 해석할 수 있었다.

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Comparison of Load Ratio of Load-cell type Anemometer with Windswept Shape Variation (수풍부 형상에 따른 로드 셀형 풍향풍속계의 하중 비 비교)

  • Kim, Tae-Hyeong;Han, Dong-Seop
    • Journal of Navigation and Port Research
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    • v.36 no.10
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    • pp.839-844
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    • 2012
  • Anemometer is a meteorological instrument that measures wind direction and wind speed in real time, and is mounted to the cranes that are used at ports, shipbuilding yards, off-shore structure, or construction sites that are influenced by wind, and it is used in conjunction with the safety system. Load cell-type anemometer measures the wind direction through the ratio of load between 4 positions by mounting the thin plate to 4 load cells, and measures wind velocity through the summation of loads. According to previous research, the load ratio between two adjacent windswept with respect to the wind direction has unstable value due to vortex around windswept. This causes the result that increases an error on the wind direction. In this study we compared and analyzed the difference between the load ratio with respect to three type windswept shapes in order to suggest the proper windswept shape to reduce this error. The computational fluid flow analysis is carried out with ANSYS CFX to analyze the load ratio between three windswept shapes. Wind direction was adopted as the design variable, and selected 9 wind direction conditions from $0^{\circ}{\sim}90^{\circ}$ with $11.25^{\circ}$ interval for computational fluid flow analysis.

An Experimental Study on the Fire Monitoring System for Tunnel Using SMA and Fiber Optic Cable (형상기억합금과 광케이블을 이용한 터널의 화재감지 시스템 개발에 관한 실험적 연구)

  • Hwang, Ji-Hyun;Park, Ki-Tae;Lee, Kyu-Wan
    • Journal of the Korea institute for structural maintenance and inspection
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    • v.18 no.5
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    • pp.128-134
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    • 2014
  • Recently, design and construction of street tunnels tend to focus on cost reduction and preservation of nature. Accordingly, research is actively being carried out to quickly detect fires when they occur in tunnels, which have partially closed structures. Among such research, fire detection methods using optical fiber sensors have a wide bandwidth and fast transmission speed, while using light as a medium. Therefore, it does not receive electrical interference and there is almost no loss of information during transmission, while also having little noise as well. In relation to this, a fire monitoring system that can accurately detect the location of fires in real time using shape memory alloy and optical cables was developed in this study. In order to verify the developed method, light loss measurement test was conducted according to indoor temperature changes, while also conducting fire simulation tests by installing test beds in common underground zones with different external environments of temperature and distance. Upon carrying out experiments, the fire monitoring system developed in this study was found to be able to detect fires in long distance sections in real time.

An Experimental Study on Estimation of Suspended Sediment Discharge using Acoustic Backscatter (실내 실험수로에서 초음파 산란도를 활용한 부유사량 산정)

  • Seo, KangHyeon;Kim, DongSu
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2016.05a
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    • pp.174-174
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    • 2016
  • 하천은 침식작용과 퇴적작용에 의해 유사를 하류방향으로 이동시킨다. 하천의 침식작용은 하상을 변화시키고 교량, 보 등의 하천 구조물의 안전성을 저해하여 국민의 재산과 생명에 막대한 피해를 입힌다. 또한 퇴적작용은 상류로부터 이동한 유사를 하도 내에 퇴적시켜 하천의 형상을 변화시키고, 통수면적을 감소시켜 홍수기에 범람 빈도와 규모를 증가시킨다. 이처럼 부유사 자료는 하천 구조물의 설계, 수자원 개발 및 관리를 위한 하천계획의 전반에 있어 매우 중요한 자료이지만, 국내의 경우 유사량 측정방법에 대한 연구가 미비하여 대부분 유사량 채집기를 활용한 직접 측정이 이루어지고 있다. 하지만 유사량 채집기를 활용한 관측은 매우 제한된 지역에서 간헐적으로 실시되고 있어 측정 자료가 부족한 실정이다. 이러한 한계를 극복하고자 간접적인 측정 방식을 개발하였으나 우리나라의 강우 특성상 홍수기를 거치면서 하천의 수리학적 특성이 변화하여 관계식의 신뢰도가 떨어지며 자주 갱신해야 한다는 어려움이 있다. 본 연구에서는 횡방향 유속과 신호대잡음비(Signal to Noise Ratio, SNR)를 측정하는 H-ADCP(SonTek, SL-3000)와 레이저 회절을 이용하여 지점의 입도분포와 부유사 농도를 측정하는 레이저부유사측정기(LISST : Laser In-Situ Scattering and Transmissometry)를 이용하여 자료를 취득하였다. 그리고 취득된 신호대잡음비, 부유사 농도간의 관계분석을 통해 회귀식을 구축한 후, 초음파 산란도로 정의되는 신호대잡음비를 활용하여 실내 실험수로의 부유사량을 산정하였고 실측 부유사량과의 비교를 통해 오차 분석을 실시하였다. 오차 분석 결과 실측 부유사량은 138.15g/s, 추정 부유사량은 165.372g/s로 신호대잡음비를 이용하여 추정한 부유사량이 약 19% 과다산정 하는 것으로 나타났다. 본 연구의 결과는 현재 우리나라에 다수 설치되어 있는 수평초음파도플러유속계(H-ADCP)를 활용한 지속적인 부유사량 관측의 토대를 마련할 것으로 사료된다.

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Analysis for the Crack Characteristics of Rock and Concrete using Strain and Elastic Wave (변형률과 탄성파를 이용한 암석 및 콘크리트 균열특성분석)

  • Choi, Young Chul;Kim, Jin Seop;Park, Tae Jin;Kim, Geon Young
    • Tunnel and Underground Space
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    • v.27 no.5
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    • pp.253-262
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    • 2017
  • The purpose of this paper is to analyze the crack characteristics by performing the compression test of the rock and concrete specimens. The experiments are carried out by using strain sensors which can measure length change and the AE sensor which can detect the elastic wave from the crack. The crack volumetric strain calculated from measured strain is shown in different shape on the rock and the concrete specimens. This is because the specimens have a different degree of brittleness. However, the crack volumetric strain associated with the fracture and damage was similar to accumulated AE energy of the two specimens. This means that the AE sensor can assess damage in real time without damaging the structure.

A Study on Relations between Shape Factor and Temperature History of Steel of Composit Beam in Standard Fire under Same Thickness Condition of Spray-type Fire Resistant Materials (동일 내화뿜칠 피복조건에서 표준화재에 노출된 합성보의 강재 온도이력 및 단면형상계수와의 관계)

  • Yeo, In-Hwan;Cho, Kyung-Suk;Cho, Bum-Yean
    • Fire Science and Engineering
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    • v.26 no.6
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    • pp.72-77
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    • 2012
  • When the concrete and steel combined composite beam is exposed to high temperature, concrete could delay temperature rising of steel by covering or increase heat capacity of structural member. For becoming of structural reinforcing by unification between materials, fire resistance rate of composite beam would be higher than simple steel beam. The temperature rising of exposed steel of composite beam is directly related with section shape and exposure length of steel. In this study, fire resistant tests were carried out for composite beams and steel beam with same thickness of spray-type fire resistant materials in standard fire, and after that, temperature histories were analysed and compared with shape factor. The correlation between steel temperature and shape factor was showed very high. This result suggests that if it can be predict the comparative advantage of member by factor which cause the performance enhancement, it could be conclude that an Standard Accreditation method can be adjust to members without indivisual certifiicate of accreditation.

A Study on the Safe Blast Design to Increase Slope Stability (발파진동이 사면에 미치는 영향과 안전설계에 관한 연구)

  • 안명석;류창하;박종남;권중남
    • Explosives and Blasting
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    • v.19 no.1
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    • pp.85-92
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    • 2001
  • 본 논문에서는 암굴착시 발파에 의한 암반사면의 균열방지 및 사면안정 재고를 위하여 대 구-포항간 고속도로 건설현장에서 시험발파를 실시하고 그 결과를 분석하여 천공깊이별 안전 발파패턴을 제시하였다. 또한 현지 탄성파 속도를 측정하여 발파에 의해 암반에 미치는 균열상태를 조사한 결과 탄성파속도의 감소가 40 ∼ 53%로서 암반 중에 균열을 발생시킨 것으로 나타났다. 발파진동 계측결과를 분석하여 암반에 균열을 일으킬 수 있는 진동속도 기준을 설정하여 균열권 범위를 추정하였으며 사면의 기하학적 형상을 고려하여 손상대를 최소화 할 수 있는 적정 안전설계 패턴을 제시하였다.

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Effects of Flood Peak Location on Riverbed Variation (하천의 하상변동에 대한 첨두 유량 발생위치의 영향)

  • Chae, Kuk-Sheok;Park, Sang-Deog;Kim, Nam-Ho;Kim, Min-Kyu
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2006.05a
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    • pp.1591-1595
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    • 2006
  • 하천은 인간에게 있어 물을 공급하는 중요한 하나의 공급원인 동시에 재해를 발생시킴으로서 인간에게 큰 피해를 줄 수 있는 위험물로서 존재한다. 이러한 이면을 가진 하천은 하천 자체로는 하천의 특성이 변화하지 않으며, 인위적이나 자연적인 원인으로 변화하는 것이다. 특히 강도가 큰 강우가 발생하였을 때 하천의 특성은 크게 변화한다. 강우시 하천은 유출량 증가와 유사량의 시공간적인 변화로 인해 형상거동의 자기조절 기작을 통하여 유역밖으로 이들을 안전하게 배출시키는 기능을 발휘한다. 하천 합류부는 각기 다른 특성을 가진 두 흐름이 만나는 지점으로 흐름과 지형 둘 다 변화하며, 합류부 이후에는 그 이전과는 다른 특성을 나타낸다. 따라서 합류부는 하천의 흐름상에서 중요한 부분이라고 할 수 있다. 본 연구에서는 강릉에 위치한 경포천과 제 1지류인 위촌천이 합류하는 구간을 대상으로 하여 홍수시 첨두유량의 크기와 발생위치 및 홍수 모의기간에 따른 하상변동에 대해 연구하였다. 이를 위해 1차원 하상 변동 모형인 HEC-6를 이용하여 하상변동을 모의하고 그 결과를 실측 하상변동량과 비교분석하였다. 유입수문곡선에서 첨두유량의 발생위치는 전반부, 중앙부, 후반부로 구분하였고, 홍수모의 기간은 1년, 5년, 10년으로 하였으며 1년 이상의 수문곡선은 1년의 수문곡선을 모의 기간만큼 반복 발생시키는 것으로 하였다. 그 결과 하상변동은 홍수 모의기간, 유입수문곡선의 첨두유량 발생위치와 첨두유량의 크기에 따라 그 양상이 현저히 달라지는 것을 확인하였다. 유입유량 조건에서 동일수문곡선의 반복에 따른 모의기간 별 하상변동은 퇴적과 침식의 규모가 확대되는 형태로 나타나는 것을 알 수 있다. 미치는 시간축척의 영향을 파악하기 위해 $70{\sim}90$ 시간 동안 실험을 수행하였다. 세굴의 측정은 투명한 아크릴로 제작된 수제 내부에 CC카메라를 수제 전 후면 및 측면에 설치하여 월류수제의 세굴 발생을 실시간으로 측정하며 동시에 수제의 각 면에 각각 3개의 압력센서를 설치하여 압력분포를 측정함으로써, 월류수제 주변의 압력변화에 따른 세굴심의 실시간 변화를 비교할 수 있도록 하였다. 수심이 연중 $25{\sim}35m$를 유지하는 H호의 경우 간헐식 폭기장치를 가동하는 기간은 물론 그 외 기간에도 취수구의 심도를 표층 10m 이하로 유지 할 경우 전체 조류 유입량을 60% 이상 저감할 수 있을 것으로 조사되었다.심볼 및 색채 디자인 등의 작업이 수반되어야 하며, 이들을 고려한 인터넷용 GIS기본도를 신규 제작한다. 상습침수지구와 관련된 각종 GIS데이타와 각 기관이 보유하고 있는 공공정보 가운데 공간정보와 연계되어야 하는 자료를 인터넷 GIS를 이용하여 효율적으로 관리하기 위해서는 단계별 구축전략이 필요하다. 따라서 본 논문에서는 인터넷 GIS를 이용하여 상습침수구역관련 정보를 검색, 처리 및 분석할 수 있는 상습침수 구역 종합정보화 시스템을 구축토록 하였다.N, 항목에서 보 상류가 높게 나타났으나, 철거되지 않은 검전보나 안양대교보에 비해 그 차이가 크지 않은 것으로 나타났다.의 기상변화가 자발성 기흉 발생에 영향을 미친다고 추론할 수 있었다. 향후 본 연구에서 추론된 기상변화와 기흉 발생과의 인과관계를 확인하고 좀 더 구체화하기 위한 연구가 필요할 것이다.게 이루어질 수 있을 것으로 기대된다.는 초과수익률이 상승하

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A study on the chatter vibration characteristics simulation for cutting tooling of turning machine tool (터닝센터에서의 툴링과 채터 특성 시뮬레이션 연구)

  • Hwang, Joon
    • Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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    • v.24 no.6
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    • pp.274-278
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    • 2014
  • Machining performance is often limited by chatter vibration at the tool-workpiece interface. Chatter vibration is a type of machining self-excited vibration which originated from the variation in cutting forces and the flexibility of the machine tool structure. Cutting tooling method is one of major factor to chatter vibration in turning process. Even though lots of cutting tooling methods are developed and used in machining process, precise analysis of cutting tooling effect in view of chatter vibration behavior. This study presents numerical and experimental approaches to verify and effects of various cutting tooling geometry and clamping method on the onset of chatter vibration. Acquired knowledge from this study will apply the optimal geometry design of cutting tooling and adjusting of machining process.

A Study on Real-time Control of Bead Height and Joint Tracking (비드 높이 및 조인트 추적의 실시간 제어 연구)

  • Lee, Jeong-Ick;Koh, Byung-Kab
    • Transactions of the Korean Society of Machine Tool Engineers
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    • v.16 no.6
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    • pp.71-78
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    • 2007
  • There have been continuous efforts to automate welding processes. This automation process could be said to fall into two categories, weld seam tracking and weld quality evaluation. Recently, the attempts to achieve these two functions simultaneously are on the increase. For the study presented in this paper, a vision sensor is made, and using this, the 3 dimensional geometry of the bead is measured in real time. For the application in welding, which is the characteristic of nonlinear process, a fuzzy controller is designed. And with this, an adaptive control system is proposed which acquires the bead height and the coordinates of the point on the bead along the horizontal fillet joint, performs seam tracking with those data, and also at the same time, controls the bead geometry to a uniform shape. A communication system, which enables the communication with the industrial robot, is designed to control the bead geometry and to track the weld seam. Experiments are made with varied offset angles from the pre-taught weld path, and they showed the adaptive system works favorable results.