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석영 기판 위에서 텅스텐 실리사이드 게이트 전극 형성에 관한 연구 (Formation of Tungsten Silicide Gate Electrode on Quartz)

  • 오상현;김지용;김지영;이재갑;임인곤;김근호
    • 한국재료학회지
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    • 제8권1호
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    • pp.80-84
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    • 1998
  • 본 연구에서는 석영을 기판으로 사용하여 텅스텐 실리사이드 게이트를 고온에서 결정화시키고, 이\ulcorner 발생되는 crack 에 대한 생성원인을 조사하였다. 증착된 텅스텐실리사이드의 실리콘 조성과 실리콘 완층충의 두께가 증가함에 따라 열응력이 감소하는 경향이 관찰되었으며, 과잉의 실리콘 조성을 가진 실리사이드를 열처리한 경우에는 crack에 대한 저항이 증가함을 알 수 있었다. 그러나 실리콘 완충층을 사용한 경우는 두께가 증가함에 따라 열응력이 감소하는 경향이 있으나, crack이 보다 쉽게 발생되는 결과를 얻었다. 이는 실리사이드 반응에 의하여 거칠어진 계면에 응력이 집중되어 crack생성을 쉽게하는 것으로 여겨진다. 결과적으로 석영과 텅스텐실리사이드의 열\ulcorner창계수차이에 의하여 생성되는 열응력이 crack생성의 주원인으로 작용하고, 실리콘 완층층을 사용한 구조하에서는 계면에서 일어나는 실리사이드반응이 crack생성에 큰 영향을 미치는 것으로 생각된다.

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비닐화 실란이 도입된 메조포러스 실리카와 재생 폴리에틸렌의 가교결합을 이용한 컴파운드의 물성 연구 (A Study on the Physical Properties of a Compound Using the Crosslinking of Vinylized-mesoporous Silica and Regenerated Polyethylene)

  • 김태윤;박현호;이창섭
    • 대한화학회지
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    • 제67권6호
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    • pp.420-428
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    • 2023
  • 비닐화된 메조포러스 실리카와 재생 폴리에틸렌 사이에 가교결합을 도입하여 컴파운드를 제조하고 물성을 측정하였다. 메조포러스 실리카에 비닐기를 도입함으로써 비극성인 폴리에틸렌과의 가교결합을 유도할 수 있는 물질이 된다. 비닐화된 메조포러스 실리카를 합성하고 재생 폴리에틸렌과의 가교결합을 유도하여, 기존 재생 폴리에틸렌이 가지는 물성보다 더욱 향상된 재생 폴리에틸렌 복합체를 합성하였다. 또한 비닐화 된 메조포러스 실리카를 이용하였을 때, 재생 폴리에틸렌의 등급에 따라 소량 첨가하여도 가교반응이 진행되어 컴파운드의 모든 물리적 특성이 향상되었다. 비닐화된 메조포러스 실리카를 사용하여 4종의 컴파운드를 합성하였으며, 형태와 미세 구조 및 작용기는 TEM, FT-IR 및 XRD로 분석하였다. 비닐화된 메조포러스 실리카를 이용하여 재생 폴리에틸렌과 가교반응으로 3종류의 컴파운드를 배합하였다. 가교결합 유무를 확인하기 위해서 XPS, FT-IR 및 가교도 측정법으로 분석하였으며, Universal testing machine을 이용하여 인장강도, 신장율, 굴곡강도 및 굴곡 탄성율 같은 물리적 특성을 측정하였다. 그 결과, 비닐화된 메조포러스 실리카를 다양한 등급의 재생 폴리에틸렌에 적용함으로써, 기존의 재생 폴리에틸렌이 가지는 취약한 물성을 극복하였다. 비닐화된 메조포러스 실리카-재생폴리에틸렌 복합물질을 신재 폴리에틸렌에 적용한 결과, 복합 컴파운드는 상업적으로 사용할 수 있는 최선의 물성 지표를 나타내었다. 따라서 이 결과는 향후 재생 폴리에틸렌의 사용량을 증가시키고, 자원의 재순환화에 활용될 수 있을 것으로 기대된다.

양기능성 커플링제 실란에 의한 실리카-천연고무 복합소재의 계면간 결합 고찰 (Observation of Interfacial Adhesion in Silica-NR Compound by Using Bifunctional Silane Coupling Agent)

  • 이종영;김성민;김광제
    • 폴리머
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    • 제39권2호
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    • pp.240-246
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    • 2015
  • 양기능성 실란 커플링제인 bis(triethoxysilylpropyl)tetrasulfide(TESPT)가 실리카/천연고무 복합소재 내에서 실리카의 hydroxy기와 고무 계면간에 화학적 결합반응을 하여 실리카-실란-고무간의 3차원 사슬구조를 형성한 것을 열분해 가스 크로마토그래피 질량분석기(Py-GC/MS)와 주사전자현미경(SEM)을 통해 관찰하였다. TESPT의 첨가로 배합물 내의 황 함유율이 증가하여 스코치 시간($t_{10}$)은 감소하고, TESPT 내 sulfur donor 역할을 하는 황이 활성화제 및 촉진제와의 복합반응으로 가교반응이 지속적으로 이루어짐에 따라서 가교속도지수(CRI)의 값이 감소하였다. 또한 TESPT가 첨가된 컴파운드는 첨가되지 않은 컴파운드에 비해 가공성 및 기계적 물성이 향상되었다. 결과적으로, 실리카로 충전된 천연고무 복합소재에 실란 커플링제(TESPT)가 첨가되어 화학반응으로 실리카-실란-고무간의 3차원 사슬구조가 형성됨을 관찰하였고 이에 따라 가교밀도가 증가하여 복합소재의 물성 증가에 기여함을 보여주었다.

화학증착(CVD)에 의한 선택적 수소 투과성 실리카막의 제조 (Synthesis of $H_2$-Permselective Silica Films by Chemical Vapor Deposition)

  • 남석우;하호용;홍성안
    • 멤브레인
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    • 제2권1호
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    • pp.21-32
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    • 1992
  • 화학증착법을 사용하여 다공성 Vycor 유리에 선택적 수소 투과성 실리카 막을 제조하였다. 화학증착에는 $SiCl_4$의 가수분해 반응이 이용되었으며, 반응물인 $SiCl_4$와 물을 서로 반대 방향으로 주입하여 막을 제조하는 opposing-reactants film deposition방법과, 반응물을 다공성 유리관의 한쪽으로만 공급하는 one-sided film deposition 방법을 모두 사용하였다. 제조된 실리카 막을 통한 수소의 투과도는 $600^{\circ}C$ 이상의 온도에서 $0.01-0.25cm^3(STP)/cm^2-min-atm$의 범위에 있었으며, 수소의 질소에 대한 투과도 비는 1000정도였고, 온도의 증가에 따라 실리카 막을 통한 수소 및 질소의 투과도는 증가하였다. Opposing reactants film deposition 방법으로 제조된 실리카 막은 비교적 안정성은 높으나 수소의 투과도가 낮은 반면, one-sided film deposition 방법을 사용하면 수소의 투과도는 높으나 안정성이 낮은 막이 얻어졌다. 이러한 실리카 막은 고온에서의 기체분리 및 분리막 반응기에 응용하기 위하여는 높은 선택적투과성 및 안정성이 요구되며 막 제조 조건 및 방법이 최적화되어야 함을 알 수 있었다.

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기업 내 퍼실리테이터의 역할과 팀 창의성에 관한 연구 - 혁신지향문화와 팀 임파워먼트를 매개로 (In-company Facilitator A Study on Roles and Team Creativit - Through Innovation-oriented Culture and Team Empowerment)

  • 이은정;서영욱
    • 한국콘텐츠학회논문지
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    • 제22권10호
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    • pp.586-598
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    • 2022
  • 퍼실리테이터 역할에 대한 연구에서, 기업 내 회의 및 워크숍 진행을 하는 퍼실리테이터가 혁신지향문화, 팀 임파워먼트, 팀 창의성에 미치는 영향에 관한 연구는 미비한 상황이다. 본 연구는 퍼실리테이터의 역할(프로세스 관리, 변화 관리)이 혁신지향문화, 팀 임파워먼트에 미치는 영향과 혁신지향문화와 팀 임파워먼트를 매개하여 팀 창의성에 주는 영향을 검증 하는데 목적이 있다. 이를 위해 국내 기업의 퍼실리테이션 워크숍 경험이 있는 구성원을 대상으로 설문하고, 수집된 자료 299건은 SPSS 24와 Smart PLS 3.0을 사용해 분석한 결과, 첫째 퍼실리테이터의 역할은 혁신지향문화와 팀 임파워먼트에 정(+)의 영향을 주었다. 둘째, 혁신지향문화와 팀 임파워먼트는 팀 창의성에 정(+)의 영향을 주었다. 셋째, 퍼실리테이터의 역할은 혁신지향문화와 팀 임파워먼트를 매개하여 팀 창의성에 정(+)의 영향을 주었다. 본 연구를 통해 퍼실리테이터의 역할과 다른 변인과의 관계를 규명하여 이론적으로 확장하고, 조직에서 요구하는 퍼실리테이터의 역할과 창의성 증진에 대한 실무적 시사점을 제시하였다.

입자 necking 적용 접합력 향상된 SiO2 코팅층의 초소수 특성 (Superhydrophobicity of Adhesion-Enhanced SiO2 Layers by Necking)

  • 김재훈;김지영;김상섭
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.188-189
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    • 2013
  • 전기분무 증착법(electrospray deposition)으로 형성된 실리카($SiO_2$) 코팅층의 경우 단순한 입자들의 응집체이므로 초소수성의 높은 접촉각을 보이지만 약한 접합력으로 인하여 실제 응용에 제한이 있다. 본 연구에서는 고온 열처리를 통한 실리카 입자간의 네킹(necking)현상을 이용하여 실리카 코팅층의 네킹을 유도하여 접합력이 향상된 실리카 코팅층을 얻고자 하였으며, 이 코팅층의 초소수 특성을 평가하였다. 적절한 온도 범위에서의 열처리는 표면 거칠기와 접합력 측면에서 모두 좋은 특성을 보였고, 최종적으로는 불소화 처리를 하여 접합력이 향상된 실리카 초소수성 코팅층을 형성할 수 있었다.

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고집적 소자에의 적용을 위한 Ni-Zr 실리사이드 공정 연구

  • 장현진;도기훈;고대홍
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.72-72
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    • 2007
  • Ni 단일박막과 Ni-Zr 합금박막을 단결정 Si 기판위에 증착한 후 RTP를 이용하여 Ni 실리사이드 형성반응을 관찰하였고, $500^{\circ}C$에서 형성된 Ni 실리사이드 박막에 $600^{\circ}C,\;650^{\circ}C$에서 후속 열처리 공정을 수행하여 열 안정성을 평가하였다. RTP를 이용하여 실리사이드를 형성할 경우, Ni/Si 계의 경우, 고온 열처리에서 $NiSi_2$ 결정립의 과대 성장 및 단락이 발생하였지만, Ni-Zr/Si 계의 경우 첨가된 내열금속 원소가 NiSi에서 $NiSi_2$ 로의 상전이와 핵생성을 지연시켜 Ni 실리사이드 박막의 열 안정성 개선 효과를 확인하였다.

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실리카-골드 복합체의 합성 연구 (Preparation of Silica-Gold Composite particles)

  • 김대욱;심승보;전용진
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제12권11호
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    • pp.5365-5369
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    • 2011
  • 실리카-골드 복합체 입자를 함침법에 의하여 합성하였고, 용매와 전구체가 실리카-골드 입자 합성에 미치는 영향이 연구되었다. 구형 실리카 입자를 지지체로 하여 PVP, hydrogentetrachloroaurate(III) hydrate 수용액을 전구체로 사용했을 때, 연한 분홍색 색상을 띄는 실리카-골드 입자가 성공적으로 합성되었다. 합성된 복합체의 특성은 FE-SEM, FE-TEM과 XRD를 통하여 분석하였다.

솔-젤 및 화학증착법에 의하여 제조된 실리카막의 기체 투과 특성 (Gas permeation properties of $SiO_2$ membranes formed by sol-gel and CVD techniques)

  • 남석우;이희준;하홍용;홍성안
    • 한국막학회:학술대회논문집
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    • 한국막학회 1996년도 춘계 총회 및 학술발표회
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    • pp.51-52
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    • 1996
  • 무기막을 기체 분리 및 분리막 반응기에 적용하려면 특정 기체에 대한 선택도 뿐만 아니라 절대 투과 속도 또한 높아야 한다. 박막 담지 무기막은 다공성 지지체를 사용하여 그위 또는 그 기공 내에 선택적 투과성을 지니는 막을 합성한 형태로서, 되도록 얇은 선택적 투과막을 지지체에 제조함으로써 투과도를 향상시킬 수 있다. 고온에서 수소에 투과성이 있는 실리카막의 경우 기공의 크기기 4nm 정도인 다공성 유리를 지지체로 하여 화학증착법으로 제조하는 연구가 많이 수행되어 왔으며 400$\circ$ 이상의 온도에서 막을 통한 수소의 투과도는 0.1 cm$^3$[STP]/min-atm-cm$^2$ 수준이었다. 본 연구에서는 실리카 담지 무기막의 수소 투과성 향상을 위하여 기공의 크기가 다공성 유리보다 큰 다공성 알루미나를 지지체로 사용하였으며, 이 지지체의 기공 내부에 솔-젤 및 화학증착법에 의하여 실리카 막을 합성하고 고온에서의 기체 투과 특성을 살펴보았다.

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석탄회재를 이용한 HMS의 합성 (Synthesis of HMS using Fly ash)

  • 김송이;이지윤;김현정;안나영;로산와글레;장현태
    • 한국산학기술학회:학술대회논문집
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    • 한국산학기술학회 2008년도 추계학술발표논문집
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    • pp.382-385
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    • 2008
  • 본 연구에서는 석탄회재를 이용하여 메조 포러스 실리카를 제조하였다. 제조된 메조포러스 실리카는 X-선 회절패턴, TEM, FT-IR을 통하여, HMS특성과 동일하게 나타났으며 결과적으로 메조 포러스 실리카 물성에 가장 영향을 나타내는 것은 반응온도, 시간이며 석탄 회재의 규소용출은 소성온도가 낮을수록 증가하며 규소원에 따라 각기 다른 특성을 나타냄을 합성된 메조포러스 실리카의 물리화학적 특성으로 부터 알 수 있었다.

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