A Study on Micro Gas Sensor Utilizing WO$_3$ Thin Films Fabricated by Sputtering Method
(스퍼터링법으로 제작한 WO$_3$ 박막을 이용한 NO$_2$ 마이크로 가스센서에 관한 연구)
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- Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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- v.4 no.3
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- pp.139-144
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- 2003