• 제목/요약/키워드: 스케일 특성

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중성빔 식각과 중성빔 원자층 식각기술을 이용한 TiN/HfO2 layer gate stack structure의 저 손상 식각공정 개발

  • 연제관;임웅선;박재범;김이연;강세구;염근영
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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    • pp.406-406
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    • 2010
  • 일반적으로, 나노스케일의 MOS 소자에서는 게이트 절연체 두께가 감소함에 따라 tunneling effect의 증가로 인해 PID (plasma induced damage)로 인한 소자 특성 저하 현상을 감소하는 추세로 알려져 있다. 하지만 요즘 많이 사용되고 있는 high-k 게이트 절연체의 경우에는 오히려 더 많은 charge들이 trapping 되면서 PID가 오히려 더 심각해지는 현상이 나타나고 있다. 이러한 high-k 게이트 식각 시 현재는 주로 Hf-based wet etch나 dry etch가 사용되고 있지만 gate edge 영역에서 high-k 게이트 절연체의 undercut 현상이나 PID에 의한 소자특성 저하가 보고되고 있다. 본 연구에서는 이에 차세대 MOS 소자의 gate stack 구조중 issue화 되고 있는 metal gate 층과 gate dielectric 층의 식각공정에 각각 중성빔 식각과 중성빔 원자층 식각을 적용하여 전기적 손상 없이 원자레벨의 정확한 식각 조절을 해줄 수 있는 새로운 two step 식각 공정에 대한 연구를 진행하였다. 먼저 TiN metal gate 층의 식각을 위해 HBr과 $Cl_2$ 혼합가스를 사용한 중성빔 식각기술을 적용하여 100 eV 이하의 에너지 조건에서 하부층인 $HfO_2$와 거의 무한대의 식각 선택비를 얻었다. 하지만 100 eV 조건에서는 낮은 에너지에 의한 빔 스케터링으로 실제 패턴 식각시 etch foot이 발생되는 현상이 관찰되었으며, 이를 해결하기 위하여 먼저 높은 에너지로 식각을 진행하고 $HfO_2$와의 계면 근처에서 100 eV로 식각을 해주는 two step 방법을 사용하였다. 그 결과 anistropic 하고 하부층에 etch stop된 식각 형상을 관찰할 수 있었다. 다음으로 3.5nm의 매우 얇은 $HfO_2$ gate dielectric 층의 정확한 식각 깊이 조절을 위해 $BCl_3$와 Ar 가스를 이용한 중성빔 원자층 식각기술을 적용하여 $1.2\;{\AA}$/cycle의 단일막 식각 조건을 확립하고 약 30 cycle 공정시 3.5nm 두께의 $HfO_2$ 층이 완벽히 제거됨을 관찰할 수 있었다. 뿐만 아니라, vertical 한 식각 형상 및 향상된 표면 roughness를 transmission electron microscope(TEM)과 atomic force microscope (AFM)으로 관찰할 수 있었다. 이러한 중성빔 식각과 중성빔 원자층 식각기술이 결합된 새로운 gate recess 공정을 실제 MOSFET 소자에 적용하여 기존 식각 방법으로 제작된 소자 결과를 비교해 본 결과 gate leakage current가 약 one order 정도 개선되었음을 확인할 수 있었다.

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SVC 스트리밍을 위한 시간 계층 기반의 동적 큐 관리 알고리즘 (An Active Queue Management Algorithm Based on the Temporal Level for SVC Streaming)

  • 구자헌;정광수
    • 한국정보과학회논문지:정보통신
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    • 제36권5호
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    • pp.425-436
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    • 2009
  • 최근 광 대역 통합 네트워크에서 고품질의 멀티미디어 서비스에 대한 사용자 요구가 증가하고 있다. 또한, 사용자 단말기기의 다양화 및 대화면 디스플레이 장치의 보급으로 다양한 형태의 서비스 품질(QoS)에 대한 요구도 증가하고 있다. 이를 위해 네트워크 관점에서 동적 큐 관리 알고리즘과 같은 인터넷 성능을 개선하여 서비스 품질을 보장하는 연구와 종단 관점에서 미디어의 품질을 보장하기 위한 SVC(Scalable Video Coding) 부호화 기법에 대한 연구가 활발히 진행 중에 있다. 그러나, 기존 동적 큐 관리 알고리즘은 비디오 부호화 기술의 본질적인 특성에 대하여 고려하지 못하여 서비스 품질을 보장하는 못하는 문제점을 가지고 있다. 본 논문에서는 현재 혼잡제어 알고리즘의 문제점을 개선하기 위해 NAL (Network Abstract Layer)의 헤더 내 TID (Temporal_ID)를 통해 SVC 부호화 기술의 특성을 파악하여 프레임간 의존성이 낮은 프레임의 패킷에 대하여 차등적으로 패킷을 폐기하는 75-AQM (Temporal Scalability - Active Queue Management) 알고리즘을 제안하였다. 제안한 75-AQM 알고리즘은 혼잡상황 시 차등적인 패킷 폐기를 통해 SVC 부호화 기법을 이용하는 스트리밍 서비스에 대하여 안정적인 비디오 복호화를 통해 멀티미디어 서비스 품질을 보장하였다.

그라파이트 혼입량에 따른 에너지 저장 콘크리트의 미세구조 및 열전도도 분석 (Analysis of Microstructure and Thermal Conductivity of Concrete Thermal Energy Storage based on Amount of Graphite Mixture)

  • 김세윤;김성조;서지우;한동석
    • 한국전산구조공학회논문집
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    • 제34권5호
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    • pp.293-300
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    • 2021
  • 본 논문은 에너지를 실시간으로 저장할 수 있는 저장장치 중 열에너지 저장 콘크리트를 대상으로 재료의 미세구조와 물성(열전도도)의 상관관계를 분석하는 연구를 수행하였다. 에너지 저장 콘크리트의 열전도 성능을 증가시키기 위해 혼화재인 그라파이트(graphite)를 사용하였다. 그라파이트가 시멘트 질량의 10%와 15%를 치환한 시편과 일반 콘크리트(OPC) 시편을 제작하여 그라파이트의 혼입에 따른 미세구조 변화 및 열전도도의 영향을 마이크로 스케일에서 분석하였다. 마이크로-CT를 활용하여 OPC와 그라파이트를 사용한 콘크리트의 공극률을 비교하였으며, 확률함수를 사용하여 미세구조 특성을 정량화하였다. 미세구조 특성 차이가 열전도도에 미치는 영향을 확인하기 위해 3차원 가상 시편을 제작하여 열해석을 수행하였으며, 이를 열평판법을 사용하여 측정한 열전도도 실험 결과와 비교하였다. 열해석 수행 시 그라파이트 재료가 지닌 열전도도 성능을 반영하기 위하여 해석 결과와 실험 결과를 기반으로 고체상의 열전도도를 역해석을 통해 계산하였으며, 그라파이트가 시편의 열전도도에 미치는 영향에 대해 분석하였다.

기술수준별 제조창업의 공간분포 특성과 고용증가 효과 분석 (Analysis of Job Creation Effects and Spatial Distribution Characteristics of Startups in Manufacturing at Different Technology Levels)

  • 우한성;서대현
    • 한국경제지리학회지
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    • 제25권4호
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    • pp.600-616
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    • 2022
  • 본 연구에서는 제조창업의 공간적 맥락에 대한 고찰과 함께 DID모형을 활용하여 기술수준별 제조창업의 연차별 고용증가 효과 추이를 분석하였다. 분석 결과 수도권과 비수도권, 대도시 지역에서의 특성이 다르게 확인되었다. 특히 고기술 제조창업은 수도권에서 단기에 걸쳐 고용증가 효과가 두드러진 반면 비수도권에서는 중고기술 제조창업이 장기에 걸쳐 고용증가 효과가 높게 나타났다. 대도시 지역에서는 기술수준별 제조창업의 고용증가 효과가 뚜렷하게 발견되지 않았다. 이러한 분석 결과가 제공하는 함의는 다음과 같다. 먼저 수도권의 고기술 제조창업은 비교적 단기에 고용증가 효과가 높게 나타나므로 그 효과가 장기간 지속될 수 있도록 창업 후 일정 기간이 지난 생존기업의 스케일업에 정책지원이 집중될 필요가 있을 것이다. 반면 비수도권 및 지방 대도시 지역에서는 창업지원 인프라의 수도권 쏠림현상과 인재유출 등의 현실적인 상황을 감안하여 실제적인 고용증가 효과가 확인되는 중고기술 창업, 즉 전통적 제조기반을 토대로 한 산업영역에 창업지원 역량을 집중할 필요가 있으며 고용창출 효과가 드러나는 시차를 고려하여 장기적인 안목에서 정책지원, 평가 등이 이루어져야 할 것이다.

중국 전통원림의 치석피도(置石被度)에 따른 원로경관의 시지각적 특성 분석 - 한국인과 중국인 시지각 비교를 중심으로 - (A Survey on the Visual Characteristics and Preference of Road Landscape of Traditional Gardens in Suzhou, China based on Rockery Ratio - With a Comparison of Consciousness between Korean and Chinese -)

  • 김동찬;박율진;송매결
    • 한국전통조경학회지
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    • 제29권4호
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    • pp.70-77
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    • 2011
  • 본 연구는 중국 전통 강남원림인 소주원림의 원로경관을 대상으로 치석피도(置石被度)에 따른 한국인과 중국인의 시지각적 특성을 비교 분석하였다. 이를 위하여 SD스케일에 의한 경관 형용사 분석방법으로 시지각적 이미지와 선호도를 파악하였다. 연구방법은 다음과 같다. 중국의 전통 강남원림인 소주의 졸정원, 창랑정, 사자림, 유원, 망사원 원림에 위치한 원로의 경관사진을 촬영하여 그 중 15매를 선정하여, 형용사 21쌍으로 이루어진 설문지로 대학생 한국인 51명과 중국인 52명을 대상으로 조사하였다. 한국인과 중국인의 치석피도에 따른 원로경관의 시지각적 특성과 선호도에 대한 차이를 파악하기 위해서 T검정을 실시하였으며, 치석피도의 선호도에 미치는 영향을 파악하기 위하여 치석피도를 산출해서 유형화하여 한국인과 중국인의 설문결과에 대한 평균분석, 요인분석을 실시하였다. 경관특성 선호요인을 파악하기 위하여 설정된 경관형용사를 척도화 하여 요인분석을 실시하였다. 이를 수행하여 얻은 연구 결과는 다음과 같다: 한국과 중국인의 원로경관 선호도에 대한 차이분석을 실시한 결과, 중국인의 전체적 선호도는 한국인보다 더 높았다. 치석피도로 구분한 유형별로는 평균치가 중간, 매우 작은, 작은, 큰, 매우 큰 순으로 높게 나타났다. 치석피도에 따른 선호도는 치석피도가 낮을수록 선호도는 증가하는 것으로 나타났으며, 치석피도에 따른 선호도의 영향에 있어서는 중국인보다 한국인이 더 큰 영향을 받았다. 전통 강남 원림 가로 경관의 시각적 특성을 요인분석 결과, 한국인의 시각적 특성은 <심미성 요인>, <쾌적성요인>, <정연성 요인>, <흥미성 요인>로 총 4가지 요인으로 분류되었다. 중국인의 시각적 특성은 <심리성 요인>, <쾌적성 요인>, <정연성 요인> 총 3가지 요인으로 분류되었다.

액상소석회를 이용한 SWRO 생산수의 부식제어 연구 (Research of Corrosion Control Technology for the Product Water of SWRO(Seawater Reverse Osmosis) by using liquid lime)

  • 김민철;황규원;우달식;윤석민;곽명화
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제12권1호
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    • pp.529-536
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    • 2011
  • 본 연구는 수돗물과 SWRO 생산수의 수질 특성을 분석하여 SWRO 생산수가 지닌 강한 부식성을 확인하였으며, 이를 근거로 해수담수화 시설의 유지관리 및 부식제어를 목표로 진행되었다. 연구 초기 과정에서는 철 시편(mild steel coupon)에 대한 회분식 실험(Batch test)과 전기화학 실험을 통해 수돗물과 SWRO 생산수의 부식성을 비교하였다. SWRO 생산수의 부식성 제어를 위한 수단으로써 액상소석회(liquid lime, $Ca(OH)_2$)와 이산화탄소(Carbon Dioxide, $CO_2$)를 주입하는 방법과 액상소석회와 인산염계 부식억제제(Phosphate Corrosion Inhibitor, $P_2O_5$)의 조합에 이산화탄소를 주입하는 두 가지 방법을 비교하였다. 실험을 통한 각 수질의 평가는 부식성 평가 지수인 LSI(Langelier Saturation Index)를 통해 비교하였고 그 결과를 통해 액상소석회와 인산염계 부식억제제의 최적 주입량을 선정하여 모의배관 실험(Loop system test)에 적용하였다. 모의배관 운전 평가 후 장착된 금속배관(steel pipe)은 내부의 스케일에 대한 기기분석(SEM, EDX, XRD) 평가를 수행하여 형성물의 주성분과 산화상 및 원소 함류량을 비교 할 수 있었다. 실험 결과, SWRO 생산수에 부식제어기술을 적용하지 않은 대조군과 비교하여 적정량의 단일 액상소석회를 주입한 경우 평균 97.4%의 높은 부식억제 효과를 나타내었고, 액상소석회 와 부식억제제 조합이 주입된 경우 평균 90.9%의 부식억제 효과를 나타냈다. 모의배관 실험 과정 중 금속배관 내부에 형성된 스케일은 대조군의 경우 주로 철 산화물인 반면, 실험군의 경우 탄산칼슘($CaCO_3$) 피막이 형성되어 부식방지에 효과적임을 확인하였다.

공간 마스킹을 이용한 적응적 디지털 워터 마크 (An adaptive digital watermark using the spatial masking)

  • 김현태
    • 정보보호학회논문지
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    • 제9권3호
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    • pp.39-52
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    • 1999
  • 본 논문에서는 저작권 보호를 위한 워터마크 내장 방법으로 공간 스케일 변수를 사 용한 공간 마 스킹 방법을 제안한다. 일반적으로 워터마크 알고리즘에서영상에 삽입되는 워터마크의 크 기가 클수록 삽입된 워터마크는 여러 가지 변형에 강인하게 되지만 워터마크된 영상의 화질을 보장하기 어렵다. 반 대로 워터마크의 크기가 작게 되면 양질의 영상을 얻을수 있으나 삽입된 워터 마크의 강인 성을 보장할 수 없는 서로 상반되는 특성을 가지고 있다. 따라서 워터마크의 강인성과 영상의 화질 사이 의 타협점을 구하는 것은 매우 어렵다, 본 논문에서는 이와 같은 문제를 해결하기 위해 공간 마스킹을 사용하였다. 즉 대역 확산 기법으로 워터마크된 영상에 공간 마스킹을 하므로써 텍스쳐 영역과 같은 워 터마크가 인 간시각에 민감하지 않지만 압축 손실이 일어나는 복잡한 영역에서는 압축손실과 같은 일반 적인 영상 처 리에 강하도록 공간 마스킹으로 워터마크의 크기를 크게 하였으며 워터마크를 삽입하기 어 려운 즉 노이 즈에 민감하지만 압축 손실과 일반적인 영상 처리에 강한 평탄 영역에서는 워터 마크 삽입 으로 인한 화 질저하를 방지하기 위해 공간 마스킹으로 워터 마크의 크기를 작게 해 워터마크 삽입으로 인한 화질저 하를 방지하였다. 따라서 본 논문에서 제안한 워터마킹 기법은 워터마크된 영상이 공간 마 스킹에 의해 워터마크의 크기를 조절할 수 있어 영상의 질과 워터마크의 강인성 모두를 만족할수 있 다. 그리고 본 논문에서 제안한 워터마킹 방법이 손실 압축(JPEG)과 잡음 그리고 축소 및 확대 클리핑 (Clipping) 컬류 션(Collusion)등과 같은 신호처리에 강인함을 실험을 통해 입증하였다. In this paper we propose a new watermarking technique for copyright protection of images. The proposed technique is based on a spatial masking method with a spatial scale parameter. In general it becomes more robust against various attacks but with some degradations on the image quality as the amplitude of the watermark increases. On the other hand it becomes perceptually more invisible but more vulnerable to various attacks as the amplitude of the watermark decreases. Thus it is quite complex to decide the compromise between the robustness of watermark and its visibility. We note that watermarking using the spread spectrum is not robust enought. That is there may be some areas in the image that are tolerable to strong watermark signals. However large smooth areas may not be strong enough. Thus in order to enhance the invisibility of watermarked image for those areas the spatial masking characteristics of the HVS(Human Visual System) should be exploited. That is for texture regions the magnitude of the watermark can be large whereas for those smooth regions the magnitude of the watermark can be small. As a result the proposed watermarking algorithm is intend to satisfy both the robustness of watermark and the quality of the image. The experimental results show that the proposed algorithm is robust to image deformations(such as compression adding noise image scaling clipping and collusion attack).

연조직 육종의 종양 가장자리 침윤: 3T 자기공명영상 텍스처 분석을 통한 예측 (Tumor Margin Infiltration in Soft Tissue Sarcomas: Prediction Using 3T MRI Texture Analysis)

  • 김민지;지원희;이영준;홍지현;정찬권;정양국;이소연
    • 대한영상의학회지
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    • 제83권1호
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    • pp.112-126
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    • 2022
  • 목적 연조직 육종의 종양 가장자리 침윤을 예측하기 위한 3T 자기공명영상 텍스처 분석의 가치를 규명한다. 대상과 방법 3T 자기공명영상을 시행하고, 병리학적으로 연조직 육종으로 확인된 31명의 환자를 대상으로 하고, 병리학적인 가장자리 침윤을 표준으로 사용하였다. 연조직 육종에 대한 텍스처 분석은 축상 T1 강조영상, T2 강조영상, 지방억제 조영증강 T1 강조영상, 확산강조영상(b = 800 sec/mm2) 및 현성확산계수 지도 영상에서 이루어졌다. 텍스처 분석에서 얻어진 정량적 변수가 침윤성(infiltrative) 육종과 국한성(circumscribed) 육종에서 차이가 있는지 비교하였다. 결과 총 23명의 연조직 육종에서 병리학적인 가장자리 침윤을 보였다. 침윤성 육종과 국한성 육종은, T1 강조영상 공간 스케일 인자(spatial scaling factor; 이하 SSF) 0, 6에서의 첨도(kurtosis), 조영증강 T1 강조영상(SSF, 0)에서의 첨도, 확산강조영상(SSF, 0)에서의 왜도(skewness), 현성확산계수 지도(SSF 2, 4)에서의 왜도에서 유의한 차이가 있었다(p ≤ 0.046). 자기공명영상 텍스처 소견을 이용한 종양 가장자리 침윤을 예측하는 정확도는 수신자운영특성곡선(receiver operating characteristic; 이하 ROC)의 곡선하 면적(area under the ROC curve) 0.951 (p < 0.001)이었다. 결론 자기공명영상 텍스처 분석은 연조직 육종의 침윤성 가장자리를 예측하는 데 있어 신뢰 할 수 있으며 정확하다.

결혼이주여성의 사회자본에 관한 연구 - 필리핀 결혼이주여성의 근린공동체를 중심으로 - (A Study on the Social Capital of Marriage Immigrant Women : focused on the neighbourhood community of Filipino immigrant women)

  • 김영경;이정향
    • 한국지역지리학회지
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    • 제20권2호
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    • pp.163-175
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    • 2014
  • 본 연구는 필리핀 출신 결혼이주여성의 사회자본 특성을 근린지구 수준에서 설명하고자 한다. 연구의 주 대상은 한국의 대도시와 중소도시, 촌락 등에 거주하는 필리핀 출신 결혼이주여성들이며 그들이 주로 참여하는 근린공동 체- 학교, 성당공동체-에서 생산되는 사회자본에 대한 인식을 측정하여 개인적 특성과 공동체의 특성(결속력, 동질성 등)에 따른 사회자본의 특성에 대해 파악하였다. 연구 결과 학교공동체와 성당공동체에서 이주자의 개인적 특성 가운데 이주사회에서의 거주기간과 사회자본 간 관련성에서 차이를 보이고 있는데, 성당공동체는 거주기간과 사회자본 '관계'요소 간 정(+)적인 유의미한 결과가 도출되어 이주 후 기간이 증가할수록 성당공동체에서의 관계가 향상되는 것으로 나타났으며 학교공동체에서는 거주기간과 사회자본 '신뢰'요소가 부(-)적인 관계를 보이고 있어 거주기간이 길수록 신뢰가 오히려 감소하는 것으로 나타났다. 동질 성과 결속력, 사회자본의 양에서도 성당공동체가 우위를 점하고 있으며 특히 사회자본 '관계'는 공동체의 동질성과 더 밀접하며 '규범'은 공동체의 결속력과 밀접하다는 결과를 보이고 있다. 두 공동체에서 모두 의사결정과 가치추구 공유 및 규칙 준수 등의 '규범' 요소가 구성원 간의 '관계'요소와 유사하며, 만족도와 정서적 도움 및 제도에 대한 구성원들의 '신뢰'가 개인문제를 토론하고 참여하는 '정치'와 근접한다는 공통된 경향이 나타나고 있다. 연구과정에서 주목되는 것은, 초국가적 행태가 발생하는 회로로서의 성당공동체의 상징성으로, 성당공동체는 필리핀 결혼이주여성들의 고유한 집단적 문화와 개인적 욕구가 사회자본의 생산과 맞물리는 영역으로 확인되었다. 이는 필리핀 결혼이주여성들의 공동체와 사회자본의 특성에서 이주자로서의 개인적 특성과 함께 필리핀 결혼이주여성이 집단적으로 보유하는 family reunion 등의 사회 문화적 특질이 주는 영향 또한 간과할 수 없음을 잘 보여주고 있다. 이러한 부분은 민족적 정체성을 바탕으로 한 공동체성과 사회자본이 우리 사회와의 상호문화성을 공유하고 실천할 수 있는 주요 통로가 될 수도 있다는 점에서 의미 있으며 나아가 '민족 단위의 공동체와 그 사회자본 연구'는 향후 더 다양한 공동체를 대상으로 다층의 공간 스케일로 확장, 연구되어야 할 필요가 있다.

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로 내 탈황을 위한 CaCO3 흡착제 입자의 분위기 기체와 체류 시간의 변화에 따른 특성 (Characteristics of CaCO3 Sorbent Particles for the In-furnace Desulfurization)

  • 이강수;정재희;길상인;이형근;김상수
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제34권2호
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    • pp.121-127
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    • 2010
  • 추가적인 챔버를 필요로 하지 않는 로 내 탈황 기술은 순산소 연소 기술에 적용 가능할 것으로 기대되어 많은 연구가 진행중이다. 이때, 수 나노부터 수십 마이크로미터의 넓은 사이즈 분포를 가지는 $CaCO_3$ 입자가 흡착제로써 사용된다. 본 연구에서는 순산소 연소 시스템을 모사하는 랩스케일의 실험 장치를 구축하였다. $CaCO_3$ 흡착제 입자는 $1200^{\circ}C$로 설정된 고온 반응로에 각각 공기 분위기와 CO2 분위기에서 노출되게 된다. 이때 고온 반응로에서의 체류 시간을 0.33 ~ 1.46 초로 변화시켜 가면서 분석을 수행하였다. 흡착제 입자는 고온 반응로의 전단과 후단에서 각각 포집되어 주사형 이동도 입자계수기, X-선 회절장치, 열중량 분석기, 주사전자현미경 등을 사용하여 정성적/정량적으로 분석하였다. 결과적으로, 고온 반응로에서의 체류 시간과 분위기 기체성분이 흡착제 입자의 하소 반응률, 반응 메커니즘 등에 영향을 미침을 확인하였다.