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KrF 엑시머 레이저를 이용한 웨이퍼 스텝퍼의 제작 및 성능분석

  • 이종현;최부연;김도훈;장원익;이용일;이진효
    • 한국광학회지
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    • 제4권1호
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    • pp.15-21
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    • 1993
  • 본 연구에서는 설계제작된 KrF 엑시머 레이저 스텝퍼는 광원인 KrF엑시머 레이저, 조명광학계, 축소트영광학계, 정밀구동 웨이퍼 스테이지, 정렬시스템 및 이들을 제어하기 위한 제어계로 구성되어 있다. 본 실험에서 사용한 KrFdprtlaj 레이저는 밴드폭 3pm, 반복주파수 200Hz, 평균축력 3W이고, 5:1 투영렌즈는 N.A. 0.42, 전체 필드영역 $\varphi$21.2mm, 왜곡수차 최대 60nm 이하이다. 또한 정밀구동 웨이퍼 스테이지의 재현성과 해상도는 각각 $\pm$0.08$\mu\textrm{m}$/200mm(3 sigma), 100mm 반경에서 0.05 $\mu\textrm{m}$이다. 자동 초점 시스템은 $\pm$50$\mu\textrm{m}$범위에서 0.1$\mu\textrm{m}$의 해상도를 나타냈으며, 자동수평시스템은 120 arcsec 범위에서 larcsec의 해상도를 나타냈다. OFF-AXIS 정렬방식에서는 0.2$\mu\textrm{m}$의 해상도를 가지며, 두빔의 간섭을 이용한 새로운 TTL 정렬은 0.1$\mu\textrm{m}$의 해상도를 나타냈다. 스텝퍼 패턴 실험결과 SAL603레지스트를 사용하였을 때 웨이퍼의 노광후 열처리 $105^{\circ}C$, 60초에서 0.3$\mu\textrm{m}$ Lines and Spaces(L/S)까지 해상되었으며, 0.34$\mu\textrm{m}$ L/S에서 1$\mu\textrm{m}$의 초점심도를 얻을 수 있었다. 마스크 패턴과 레지스트 패턴의 선형성은 0.4$\mu\textrm{m}$ L/S가지 유지 되었다. 또한 XP-89131레지스트의 경우 노광후 열처리 $110^{\circ}C$, 60초에서 0.34$\mu\textrm{m}$ L/S까지 해상됨을 알수 있었다.

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제방의 취약구간 파악을 위한 전기비저항과 탄성파속도의 교차출력 해석 (Crossplot Interpretation of Electrical Resistivity and Seismic Velocity Values for Mapping Weak Zones in Levees)

  • 조경서;김정인;김종우;김지수
    • 지질공학
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    • 제31권4호
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    • pp.507-522
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    • 2021
  • 각 탐사의 반응 값은 지하 매질의 특정 물성에 따라 달라지기 때문에 한가지의 지구물리학적 방법만으로는 탐사목적을 달성하지 못하는 경우가 종종 있다. 특히 지질재해 위험에 취약한 지역을 조사하는 경우, 인명 및 재산피해를 최대한 줄이기 위해 한 가지 이상의 탐사방법을 사용하는 것이 효과적이다. 제방의 안전성 평가를 위한 이 연구에서는 각 탐사결과들을 개별적으로 해석하는 대신 탄성파속도(굴절법에 의한 P파속도와 MASW의 S파속도)와 전기비저항 값들을 통계적으로 분석하여 결정된 임계값들을 기반으로 취약구간과 안전구간 등으로 구분하는 사분면 상관기법을 수행하였다. 임계값은 수평 4층 구조와 경사진 파쇄대에 대한 모델자료를 가지고 수행한 사분면 상관기법을 테스트하는 과정에서 두 개의 속성자료 모두 평균에서 표준편차를 빼준 값으로 결정되었다. 전기비저항-P파속도의 교차출력에 비해 전기비저항과 S파속도를 이용한 교차출력 해석이 제방 시스템의 토양유형, 지반강성 및 암석학적 특성 정보를 보다 충실히 제공하였다. 낮은 S파속도와 높은 전기비저항으로 2사분면에 투영된 느슨한 모래 구역이 취약구간으로 평가되는데 이와 같은 해석은 시추공 표준관입시험에서 보인 중심코어의 N 값 분포로 뒷받침되었다.

실시간 응용을 위한 웨이블릿 변환 기반의 얼굴 검출 (Wavelet Transform-based Face Detection for Real-time Applications)

  • 송해진;고병철;변혜란
    • 한국정보과학회논문지:소프트웨어및응용
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    • 제30권9호
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    • pp.829-842
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    • 2003
  • 최근 화상 회의, 화상 전화, 모바일 환경에서의 화상 통신, 얼굴 인식을 이용한 보안 시스템 등의 상업화에 힘입어 비디오에서의 얼굴 검출 및 추적 기술은 눈부신 발전을 이룩하였다. 또한, 얼굴 요소 검출은 요소 그 자체뿐 아니라 정화한 얼굴 영역 검출을 위한 필수 단계로서 중요한 연구 주제가 되고 있다. 그러나 영상에 나타난 복잡한 배경과 카메라 조작 및 조명에 의한 색상 왜곡 그리고 다양한 조명 조건 둥은 얼굴 검출 및 추적, 요소 검출에 있어 여전히 큰 장애가 되고 있다. 이에 따라, 본 논문에서는 실시간 화상 통신을 위한 새로운 얼굴 영역 검출 및 추적 알고리즘과 검출된 얼굴 영역에서 효과적으로 눈 영역을 검출할 수 있는 알고리즘을 제안한다. 제안하는 얼굴 검출 알고리즘은 복잡한 배경과 다양한 조명 조건에 관계없이 얼굴을 검출하고 추적하기 위해 웨이블릿 변환된 세 종류의 부 영역을 이용하여 얼굴 형판을 생성하고 웨이블릿 변환된 입력 영상과의 유사도를 측정하여 얼굴을 검출한다. 특히 다양한 조명 조건을 극복하기 위해 최소-최대 정규화와 히스토그램 평활화를 혼합 적용하여 매우 밝거나, 매우 어두운 영상에서의 얼굴 오 검출 및 놓침을 줄일 수 있었으며 세 가지 크기의 얼굴 형판을 이용함으로써 입력 영상에 존재하는 다양한 크기의 얼굴도 검출할 수 있었다. 또한 효과적인 얼굴 추적 알고리즘을 통해 다음 프레임에서의 얼굴 위치를 예측하고 예측된 얼굴 위치를 중심으로 탐색 영역을 정해 형판 정합을 수행함으로써 얼굴 검출률을 높이면서 수행 시간도 단축시킬 수 있었다. 수직, 수평방향 투영을 이용한 합리적인 눈 검출 알고리즘은 어두운 조명이나 부정확한 얼굴 영역에서도 만족스러운 결과를 보여주었다.26$이었으며, 점차 감소, 다시 증가하여 담금 10일에는 $3.42{\sim}3.69$이었다. 시험구별로는 KKR이 가장 낮았다. 총산은 담금 1일에 $0.29{\sim}0.82%$였으며 담금 6일에 $1.75{\sim}2.53%$로 최고값을 나타내었으며 그 후 감소하여 담금 10일에는 $1.61{\sim}2.34%$였다. 시험구간에는 KKR, SKR이 비교적 높은 값을 나타내었다. 무기질 함량은 발효기간이 경과할수록 증하였고 Ca는 $2.95{\sim}36.76$, Cu는 $0.01{\sim}0.14$, Fe는 $0.71{\sim}3.23$, K는 $110.89{\sim}517.33$, Mg는 $34.78{\sim}122.40$, Mn은 $0.56{\sim}5.98$, Na는 $0.19{\sim}14.36$, Zn은 $0.90{\sim}5.71ppm$을 나타내었으며, 시험구별로 보면 WNR, BNR구가 Na만 제외한 다른 무기성분 함량이 가장 높았다.O to reduce I/O cost by reusing data already present in the memory of other nodes. Finally, chunking and on-line compression mechanisms are included in both models. We demonstrate that we can obtain significantly high-performance

대전시 상징물과 도시 이미지에 대한 비교 분석 (An Analysis of the Comparison between the Image of the Landmarks in Daejeon)

  • 변재상;김대수;이정수
    • 한국조경학회지
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    • 제38권2호
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    • pp.53-63
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    • 2010
  • 도시의 미래 모습을 결정하는 도시경관계획의 단계에서 도시 이미지가 어떻게 평가되고 있는가를 분석하여 바람직한 도시 이미지 형성 방향을 설정하는 것은 매우 중요한 선행과제가 된다. 본 연구의 목적은 시민들이 주체가 되어 도시의 이미지를 어떻게 인지하고 평가하는지를 다차원척도법과 대응일치분석을 이용하여 계량적으로 연구하는데 있으며, 나아가 전문가와 관련 공무원들의 인지 경향을 파악함으로써, 도시 이미지 향상에 기여할 수 있는 정량화된 정책 방향 설정에 도움이 되고자 수행되었다. 본 연구를 통해 도출된 결과는 다음과 같다. 1. 대전시 이미지는 주로 역사성, 역동성, 규모성 등에 의해 평가되는 경향이 강하였다. 이러한 기준에 따라 대전시는 전체적으로 새롭고 변화하는 이미지가 강한 도시로 인식되었으며, 공무원들에게는 소박한 느낌의 도시, 전문가들에게는 평범한 느낌의 도시로 인식되고 있었다. 따라서 소박하고 평범한 이미지에 대응할 수 있는 대전시 정체성과 개성을 찾는데 보다 노력하여야 할 것이다. 2. 대전시의 이미지에 많은 영향을 끼치는 상징물 혹은 상징적인 공간으로는 갑천이나 둔산 신도심, 대덕연구단지 등을 들 수 있다. 이에 비하여 유성온천과 원도심, 엑스포 공원 등은 대전시와 이미지가 크게 다르게 나타나고 있었다. 이에 따라 대전시의 이미지를 희석시키는 낙후된 시설과 상징물들의 현대적 리모델링이 필요하다. 3. 도시 이미지의 선호도를 알 수 있는 ‘좋은-싫은’의 형용사 이미지의 경우, 일반인과 전문가들에게 있어서는 모두 싫어하는 경향을 나타나고 있었으나, 공무원들은 좋아하는 이미지를 지니고 있었다. 따라서, 세 집단 모두 좋아하는 둔산 신도심이나 대덕연구단지 등과 같은 현대적 첨단산업의 이미지를 투영시킬 필요가 있다. 4. 대응일치분석을 통한 이미지 분포도에서 대전시는 행정도시와 수평적 도시의 특성이 강한 도시로 분류되었다. 기존의 단순한 도시 이미지 분석 연구와는 달리 본 연구에서는 분석 내용을 토대로 비교적 명확한 진단을 통해, 도시의 미래상 및 방향 설정에 도움을 주고자 노력하였다.

마을공동체미디어 생산자의 미디어 경험에 관한 탐색적 연구 제주지역 공동체미디어의 생산과 과제, 정책적 함의를 중심으로 (An Exploratory Study on the Media Experience of Village Community Media Producers Focusing on the Production, Tasks and Policy Implications of Community Media in Jeju)

  • 정용복
    • 한국언론정보학보
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    • 제81권
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    • pp.153-186
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    • 2017
  • 본 연구는 제주지역 마을공동체미디어 참여자들이 생산과정에서 경험하는 가치를 조망함으로써 마을공동체미디어의 특성을 파악하고자 했다. 이에, 본 연구는 제주지역 마을공동체미디어 참여자 12명의 심층인터뷰를 통해 마을공동체미디어의 생성과 생산과정, 이 과정 속에 투영되는 특정한 가치, 이들의 역할을 보다 활성화시키고, 지속가능한 운영을 위한 발전방안에 대해 주목했다. 분석 결과, 첫째로 제주지역 마을공동체미디어 생성에는 원주민이 아닌 이주민이 중심이 됐고, 지극히 개인적인 '재미'와 '열정', '보람' 등을 느끼고 있음을 알 수 있었다. 또한 마을공동체미디어에 접근하고 참여하는 것에 대해 완전한 개방체로서 존재하고 있었으며, 미디어 콘텐츠는 마을주민들의 일상적인 삶의 이야기와 기록으로 남겨지지 않은 마을 어르신들의 숨은 이야기들로 채워지고 있었다. 마을공동체미디어의 생산과정의 특징으로는 수평적 소통이 이뤄지며, 공동회의라는 형식을 거치지만 미디어 참여자 개인의 의견을 전적으로 반영하고 있었다. 둘째, 마을공동체미디어 참여자들이 생산과정에 적용하는 가치들을 살펴본 결과, 자발적인 참여에 따른 '소통의 연결고리'와 '소통의 확산체'로서 기능주의적 면에서 소통의 활성화를 통한 마을공동체의 복원을 중요한 가치로 여기고 있었다. 마지막으로, 제주지역 마을공동체미디어의 지속가능한 운영을 위한 과제와 발전방안에 대해 살펴본 결과, 마을주민의 적극적인 참여와 마을공동체미디어 공간 확보, 방송장비 부족과 자치단체의 예산 지원 등으로 요약할 수 있었다. 지속가능한 마을공동체미디어를 위해 자치단체의 안정적 활동을 위한 지원시스템 마련은 시급한 과제임을 다시 한 번 확인할 수 있었다.

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중용(中庸)의 미학으로 살핀 도동서원(道東書院)의 경관짜임 (The Landscape Organization of the Dodong-SeoWon in the Aesthetics of Moderation)

  • 노재현;신병철
    • 한국전통조경학회지
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    • 제30권4호
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    • pp.44-55
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    • 2012
  • 본 연구는 국내 서원 중 성리학적 사유와 규범에 가장 충일(充溢)하다고 알려진 도동서원을 대상으로 인간 중심의 성리학적 우주관의 핵심인 중용의 조형 미학적 특성이 서원의 경관짜임에 어떻게 투영되고 있는 가를 풀이하고자 하였다. 건축적 완성도와는 다른 관점에서, 도동서원의 경관상을 지배하고 있는 형식미와 내용미를 터잡기 길내기 건물놓기 시선모으기 담두르기 이름붙이기 꾸미기 등 총 7개의 경관짜임 항목을 기준으로 도동서원 조형에 담긴 중용의 미를 탐구한 결과는 다음과 같다. 외형적 짜임의 일부로서 도동서원의 좌향은 자연으로서의 방위를 인간 본위의 방위로서 중화(中和)시킴으로써, 인간과 자연의 일체감을 통한 중용지도(中庸之道)의 경지에 이르고자 하는 경관짜임 의지에서 비롯된 것으로 보인다. 도동서원의 외적 질서와 규범을 규정짓는 핵심적 요소로는 위계성과 좌우대칭을 바탕으로 한 계층성의 원리로 이는 어느 한쪽으로도 치우치지 않는 중용(中庸)의 정신이 관통함으로써 형성된 건물놓기와 길내기의 결합을 통한 경관짜임의 결과이다. 또한 담장두루기로 영역성을 확보하고 수직과 수평적 일체감을 이룸으로써 중용에 이르고자 한 경관짜임 또한 표출되고 있다. 그리고 서원의 중심 강당 마루에서 지각되는 수월루와 환주문의 지붕 중첩, 중정당 기둥에 의한 프레임에 의한 시각틀 형성 등을 통해 시각적 균형성과 개폐성을 유도하는 수법은 성리학적 조영 특유의 관념성을 드러내는 시선모으기의 경관짜임이다. 한편, 내용적 경관짜임의 일부로서 전신(前身)인 쌍계서원의 당호를 따른 관념적 이름붙이기, 성리학적 도(道)의 이동을 상징하는 서원명, 어느 한쪽으로도 치우치지 않는 중정(中正), 오륜에 근거한 거인재와 거의재 등의 건물 당호(堂號) 또한 중용의 미학을 준용한 결과이다. 그리고 중정당의 기단에 표현된 일음일양(一陰一陽) 변화를 나타내는 서화(瑞花)와 오르고 내리는 세호(細虎), 그리고 네 마리의 용으로 이루어진 사물 등은 지나침과 모자람이 없는 음양의 조화를 상징하는 중용의 예술적 표현이다. 이렇듯 도동서원은 좌우대칭과 계층화를 우선으로 한 상징 및 중용의 성리학적 질서와 규범의 정신으로 꽉 짜인 조직(組織)의 산물임이 확인된다. 그러나 도동서원이 엄정한 성리학적 세계관을 구현한 조형의 결과임은 분명하지만, 성리학적적 규범과 예법에만 충실했다면 그 평가는 그리 높지 않을 것이다. 도동서원 모든 영역에 고르게 배치된 해학적이고 독특한 석물과 돌조각 장식은 엄정해질 대로 엄정해진 서원 이미지와 외적 질서를 상쇄(相殺)시켜 '탈 엄정(脫 嚴整)'을 도모하기 위한 장치로써, 이는 또 다른 차원의 경관짜임이자 중용적 표현이라는 것은 매우 역설적이기까지 하다.