• Title/Summary/Keyword: 수직 결합 구조

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유도결합 $Cl_2/CHF_3, Cl_2/CH_4, Cl_2/Ar $플라즈마를 이용한 InGaN 건식 식각 반응 기구 연구

  • 이도행;김현수;염근영;이재원;김태일
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 1999.07a
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    • pp.249-249
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    • 1999
  • GaN과 같은 III-nitride 반도체 관한 식각 기술의 연구는 blue-emitting laser diode(LD)를 위한 경면(mirror facet)의 형성뿐만아니라 새로운 display 용도의 light emitting diodes (LED), 고온에서 작동되는 광전소자 제조 등에도 그 중요성이 증대되고 있다. 최근에는 III-nitride 물질의 높은 식각속도와 미려하고 수직한 식각형상을 이루기 위하여 ECR(Electron Cyclotron Resonance)이나 ICP(Inductively Coupled Plasma)와 같은 고밀도 플라즈마 식각과 CAIBE(Chemically assisted ion beam etching)를 이용한 연구가 진행되고 있다. 현재 제조되어 지고 있는 LED 및 LD와 같은 광소자의 구조의 대부분은 p-GaN/AlGaN/InGaN(Q.W)/AlGaN/n-GaN 와 같은 여러 층의 형태로 이루어져 있다. 이중 InGaN는 광소자나 전자소자의 특성에 영향을 주는 가장 중요한 부분으로써 현재까지 보고된 식각연구는 undoped GaN에 대부분 집중되고 있고 이에 비해 소자 특성에 핵심을 이루는 InGaN의 식각특성에 관한 연구는 미흡한 상황이다. 본 연구에서는 고밀도 플라즈마원인 ICP 장비를 이용하여 InGaN를 식각하였고, 식각에는 Cl2/CH4, Cl2/Ar 플라즈마를 사용하였다. InGaN의 식각특성에 영향을 미치는 플라즈마의 특성을 관찰하기 위하여 quadrupole mass spectrometry(QMS)와 optical emission spectroscopy(PES)를 사용하였다. 기판 온도는 5$0^{\circ}C$, 공정 압력은 5,Torr에서 30mTorr로 변화시켰고 inductive power는 200~800watt, bias voltage는 0~-200voltage로 변화시켰으며 식각마스크로는 SiO2를 patterning 하여 사용하였다. n-GaN, p-GaN 층 이외에 광소자 제조시 필수적인 InGaN 층을 100% Cl2로 식각한 경우에 InGaN의 식각속도가 GaN에 비해 매우 낮은 식각속도를 보였다. Cl2 gas에 소량의 CH4나 Ar gas를 첨가하는 경우와 공정압력을 감소시키는 경우 식각속도는 증가하였고, Cl2/10%Ar 플라즈마에서 공정 압력을 감소시키는 경우 식각속도는 증가하였고, Cl2/10%CHF3 와 Cl2/10%Ar 플라즈마에서 공정압력을 15mTorr로 감소시키는 경우 InGaN과 GaNrks의 선택적인 식각이 가능하였다. InGaN의 식각속도는 Cl2/Ar 플라즈마의 이온에 의한 Cl2/CHF3(CH4) 플라즈마에서의 CHx radical 형성에 의하여 증가하는 것으로 사료되어 진다.

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Comparison of Temperature Loss from The Switching Method of Midium Voltage Multilevel Inverter (고압 멀티레벨 인버터의 스위칭 기법에 따른 온도 손실 비교)

  • Lee, Seul-A;Kang, Jin-Wook;Hong, Seok-Jin;Hyun, Seong-Wook;Won, Chung-Yuen
    • Proceedings of the KIPE Conference
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    • 2016.11a
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    • pp.9-10
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    • 2016
  • 최근 급속한 산업 발달로 인하여 기존의 수 MW급 대용량 인버터가 산업용 팬, 컴프레서, 고속 철도 시스템 등 여러 분야에 사용되면서 이와 관련된 대용량 인버터 연구가 활발히 진행 중이다. 이런 대용량 인버터는 고효율과 직병렬의 구성된 전력용반도체 소자를 동시다발적으로 제어되어야하기 때문에 멀티레벨 인버터의 구조가 가장 적합하다. Cascaded H-bridge 멀티레벨 인버터는 커패시터와 다이오드를 사용하지 않고 스위치만으로 구성하며, 필터를 따로 구성하지 않아도 정현파와 유사하게 전압을 출력할 수 있다. 이로 인해 고주파 감소 및 각 셀을 직렬로 연결하여 입력전압보다 높은 출력전압을 얻을 수 있다. 또한, 스위칭 방법에 따라 동일한 Cascaded H-bridge 멀티레벨인버터 토폴로지에서도 각 THD와 온도에 따른 손실이 달라질 수 있다. Cascaded H-bridge 멀티레벨 인버터에서 이용하는 스위칭 방식은 첫 번째로 유니폴라 방식을 기본으로 한 Phase-shift가 있다. 이는 180도 위상차를 갖는 2개의 레퍼런스 파형과 위상천이가 된 캐리어 파형의 비교로 PWM (Pulse Width Modulation) 을 수행한다. 두 번째 방식으로는 Level-shift가 있다. 이는 캐리어 파형을 IPD (In-Phase Disposition) 방식으로 수직적으로 대역폭이 연속적이게 나열하여 레퍼런스 파형과 비교하는 PWM방식이다. 본 논문에서는 Phase-shift와 Level-shift 방식에 따른 Cascaded H-bridge 인버터와 NPC (Neutral Point Clamped) 인버터를 결합한 토폴로지에서의 온도에 따른 손실을 분석하고, 시뮬레이션을 통하여 비교 분석하였다.

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Initial results from spatially averaged coherency, frequency-wavenumber, and horizontal to vertical spectrum ratio microtremor survey methods for site hazard study at Launceston, Tasmania (Tasmania 의 Launceston 시의 위험 지역 분석을 위한 공간적 평균 일관성, 주파수-파수, 수평과 수직 스펙트럼의 비율을 이용한 상신 진동 탐사법의 일차적 결과)

  • Claprood, Maxime;Asten, Michael W.
    • Geophysics and Geophysical Exploration
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    • v.12 no.1
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    • pp.132-142
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    • 2009
  • The Tamar rift valley runs through the City of Launceston, Tasmania. Damage has occurred to city buildings due to earthquake activity in Bass Strait. The presence of the ancient valley, the Tamar valley, in-filled with soft sediments that vary rapidly in thickness from 0 to 250mover a few hundreds metres, is thought to induce a 2D resonance pattern, amplifying the surface motions over the valley and in Launceston. Spatially averaged coherency (SPAC), frequency-wavenumber (FK) and horizontal to vertical spectrum ratio (HVSR) microtremor survey methods are combined to identify and characterise site effects over the Tamar valley. Passive seismic array measurements acquired at seven selected sites were analysed with SPAC to estimate shear wave velocity (slowness) depth profiles. SPAC was then combined with HVSR to improve the resolution of these profiles in the sediments to an approximate depth of 125 m. Results show that sediments thicknesses vary significantly throughout Launceston. The top layer is composed of as much as 20m of very soft Quaternary alluvial sediments with a velocity from 50 m/s to 125 m/s. Shear-wave velocities in the deeper Tertiary sediment fill of the Tamar valley, with thicknesses from 0 to 250m vary from 400 m/s to 750 m/s. Results obtained using SPAC are presented at two selected sites (GUN and KPK) that agree well with dispersion curves interpreted with FK analysis. FK interpretation is, however, limited to a narrower range of frequencies than SPAC and seems to overestimate the shear wave velocity at lower frequencies. Observed HVSR are also compared with the results obtained by SPAC, assuming a layered earth model, and provide additional constraints on the shear wave slowness profiles at these sites. The combined SPAC and HVSR analysis confirms the hypothesis of a layered geology at the GUN site and indicates the presence of a 2D resonance pattern across the Tamar valley at the KPK site.

A Study on a Planar Array Antenna Design with a Flat-Topped Radiation Pattern (구형 방사 패턴을 갖는 평면 배열 안테나 설계에 대한 연구)

  • Eom Soon-Young;Pyo Cheol-Sig;Jeon Soon-Ick;Kim Chang-Joo
    • The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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    • v.15 no.9
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    • pp.896-905
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    • 2004
  • In this paper, the design, fabrication and experiment on a planar array antenna with a flat-topped radiation pattern for a mobile base station antenna were described. The current distribution of an antenna aperture, which is easily realizable in a feeding network compared with the conventional one of sin(x)/x was optimized for shaping a desired flat-topped radiation pattern. The planar array antenna designed in this paper has a rectangular lattice and is composed of array elements of 16${\times}$8. Each radiating element, which is a microstrip element fed coaxially, has a linear vertical polarization and the feed network which use a Wilkinson power divider and a 180$^{\circ}$ ring hybrid coupler as a base element is designed. The flat-topped radiation pattern with 90$^{\circ}$ is shaped by 16 array elements with the element spacing of 0.55 λ$_{ο}$ in the azimuth plane, and the normal radiation pattern with 10$^{\circ}$ is shaped by 8 array elements with the element spacing of 0.65 λ$_{ο}$ in the elevation plane. Also, the planar array antenna is symmetrically divided into four parts. It consists of one hundred-twenty-eight radiating elements, thirty-two 1-4 column dividers, low 1-8 row dividers and one 1-4 input power divider. In order to verify electrical performances of the planar way antenna proposed in this paper, the experimental breadboard operated in tile band of 1.92~2.17 GHz(IMT2000 band) was fabricated, and its experimental results were a good agreement with simulation ones.

Friction Welding of Ni-Base ODS Alloy Prepared by Mechanical Alloying (기계적 합금법으로 제조된 Ni기 산화물 분산강화 합금의 마찰압접에 관한 연구)

  • 강지훈;박성계;김지순;권영순
    • Proceedings of the Korean Powder Metallurgy Institute Conference
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    • 1994.10b
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    • pp.15-15
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    • 1994
  • M MA ODS 합금의 보다 폭넓용 실용확훌 위해 크게 요구되고 있는 적정 접합기술 개발의 한 방안£로, 마찰압접(Friction Welding) 방법의 가능성옳 조사하기 위하여 마찰압력과 시간, 마 찰 후 접촉압력(Upset Pressure) 풍을 다양하게 변화시켜 접합체톨 제조한 후, 접합체 강도에 대한 인장시험과 접합계연의 결합 및 미세구조에 대한 현미경 관찰, EDS에 의한 원소분석, 접 합이옴부의 경도분포와 파단면 분석 풍율 행하였다. 실험에 사용된 모재는 기계적 합금법으로 제조된 Inca사의 Ni기 MA 754 합금이었으며, 직경 l 10 mm, 길이 50 mm로 가공한 후, 아세통£로 초음파 세척하여 접합에 사용하였다. 접합온 브 레이크식 마찰압접기틀 사용하여 행하였으며, 회전시험편의 회전수는 2400 rpm이었A며, 다른 한쪽의 고정시험편과의 마찰압력 및 마찰시간온 각각 50 - 500 MPa과 1-5초로, 또한 업셋압 력도 50 - 600 MPa로 변화시켰다. 이때 업셋압력은 모든 시편에 대해 일정하게 6초동안 가하 였다. 얻어진 접합체는 각 압접조건 당 2개 이상의 접합시험편에 대해 상온 인장강도톨 측정하 였으며, 파단이 일어난 위치를 확인한 후 파면에 대한 분석율 주사전자현미경(SEM)과 에너지 분산형 분광분석기mDS)릎 사용하여 행하였다. 컵합이옴부의 첩합성올 확인하기 위하여, 접합 체를 접합변에 수직으로 절단, 연마한 후 광학현미경과 SEM, EDS 퉁으로 관찰, 분석하여 접 합부의 형상과 결합형성 여부, 접합계면의 미세조직 퉁옳 조사하였다. 또한 마찰압접에 따론 모재와 접합계연부의 경도분포훌 접합이옴부로부터 모재쪽으로 일정 간격율 두어 마이크로 비 커스 경도기로 측정, 조사하였다. 이상의 설험 결과, 다옴과 같온 결론옳 얻었다. ( (1) 접합체 강도가 모채 강도의 95% 이상이 되는 양호한 렵합체흩 얻기 위한 마찰압력 조건 온, 2400 rpm의 회전속도와 6초의 업셋압력 유지시간에서 마찰압력과 업셋압력, 그리고 마찰시 간이 각각 400 MPa 이상과 500 MPa 이상,2초입율 확인하였다. ( (2) 컵합이옴부의 관찰 결과, 모든 마찰압접 조건에서 컵합이옴부는, 기폰 모재의 texture 조직 을 유지하고 있는 모재부 영역(영역 ill)과 첩합계면부에 인접하여 업셋압력이 주어질 때 단조 효과에 의해 계연 외부로 metal flow가 일어나면서 형성된 영역 II, 매우 미세한 결정립으로 구성된 중앙부의 영역 1 로 이투어져 있옴융 확인하였다. ( (3) 최적접합조건이 충족되지 않온 경우, 접합부의 영역 I 에서 관찰된 void와 균열, 불균일한 접합계면 통의 접합결함에 Al과 Y. Ti 퉁£로 구성된 산화물률이 용집되어 있옴을 확인하였 다-( (4) 접합체의 파단 양상온 크게 접합부 파단과 모재부 파단, 이률의 혼합형 파단i로 나눌수 있었다. 모재부 파단의 경우, 파단면이 매끄럽고 파변상의 결정립도 매우 미세하였으며, 산확물 의 용집도 찾아보기 어려웠 나, 접합부 파단의 경우에는 파변의 굴곡이 비교척 심하고 연성 입계파괴의 형태를 보였£며, 결정립도 모채부 파단의 경우에 비해 조대하였다. 조대하였다.

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The Garden Drifts seen from Works by Gertrude Jekyll and Piet Oudolf (거투르트 지킬(Gertrude Jekyll)과 피에트 우돌프(Piet Oudolf)의 작품을 통해 본 정원의 드리프트 기법)

  • Park, Eun-Yeong
    • Journal of the Korean Institute of Traditional Landscape Architecture
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    • v.38 no.2
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    • pp.125-131
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    • 2020
  • In this study, the author comparatively analyzed the effects and applicability of drifts, one of planting design methods based on the principle of visual harmony, to look into the definition and characteristics in planing techniques with examples of drifts in gardens designed by Gerturde Jekyll and Piet Oudolf. Sites chosen for the case studies included Jekyll's Upton grey and Hestercomb garden and Oudolf's At Scampston Hall and Trentham Estate Garden. The results showed that Jekyll set layers for vertical and horizontal structures by using plants of different height to make flowers look like floating with their stems unseen and appear in turn over time. Assemble planting of groups was used to conceal rigid, irregular lines so that the plants are recognized as mass with smoother horizontal lines. Clearly visible, repeated drifts creates a sense of unity. Oudolf, in combining grass and perennial plants, used one-to-one correspondence or expansion to express drifts. Grass serves roles as a connecting material inserted when changing space or making transitions of images. Blocks in single species are repeatedly crossed to set scenes, and overlapping and mixing makes them more lively.

Soft X-ray Synchrotron-Radiation Spectroscopy Study of [Co/Pd] Multilayers as a Function of the Pd Sublayer Thickness (Pd층의 두께 변화에 따른 [Co/Pd] 다층박막의 연엑스선 방사광 분광 연구)

  • Kim, D.H.;Lee, Eunsook;Kim, Hyun Woo;Seong, Seungho;Kang, J.-S.;Yang, Seung-Mo;Park, Hae-Soo;Hong, JinPyo
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.26 no.4
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    • pp.124-128
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    • 2016
  • We have investigated the electronic structures of intermetallic multilayer (ML) films of [$Co(2{\AA})/Pd(x{\AA})$] (x: the thickness of the Pd sublayer; x = $1{\AA}$, $3{\AA}$, $5{\AA}$, $7{\AA}$, $9{\AA}$) by employing soft X-ray absorption spectroscopy (XAS) and soft X-ray magnetic circular dichroism (XMCD). Both Co 2p XAS and XMCD spectra are found to be similar to one another, as well as to those of Co metal, providing evidence for the metallic bonding of Co ions in [Co/Pd] ML films. By analyzing the measured Co 2p XMCD spectra, we have determined the orbital magnetic moments and the spin magnetic moments of Co ions in [$Co(2{\AA})/Pd(x{\AA})$] ML films. Based on this analysis, we have found that the orbital magnetic moments are enhanced greatly when x increases from $1{\AA}$ to $3{\AA}$, and then do not change much for $x{\geq}3{\AA}$. This finding suggests that the interface spin-orbit coupling plays an important role in determining the perpendicular magnetic anisotropy in [Co/Pd] ML films.

The Crystal and Molecular Structure of Dipropargyldiphenylmethane (디프로파질디페닐메탄의 결정 및 분자구조)

  • Ahn Choong Tai;Choi Sam-Kwon
    • Journal of the Korean Chemical Society
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    • v.37 no.5
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    • pp.473-476
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    • 1993
  • Dipropargyldiphenylmetane, $C_{19}H_{16}, crystallizes in a monoclinic space group $C2/_c$$ with a = 11304(3), b = 20.799(5), c = 6.622(2)${\AA}$, ${\beta} = 112.8(3)^{\circ}$, Z = 4, V = 1435.3${\AA}^3,\;F(000)\;=\;520,\;D_c\;=\;1.14g{\cdot}cm^{-3}$ and ${\mu}\;=\;0.32\;cm^{-1}$. The structure was solved by direct methods and all non-H atoms were identified in the E-map. The final refinement gave R = 0.055 from 1328 unique observed reflections with I $\geq$ -1.0 $\sigma(I).$ The molecule belongs to the point group $C_2$ of Symmetry by possessing the 2-fold axis which coincides witeh the crystallographic symmetry axis in the unit cell. The linear propargyl moiety is nearly $perpendicular(94.2)^{\circ}$ to the molecular plane of the benzene ring. The internal angle of methane carbon atoms in $108.1(1)^{\circ}$, bonding to the benzene and the propargyl moiety with the bond lengths of 1.530(2) and $1.560(2)\AA$, respectively. The shortest contant between the molecules is $3.538(2)\AA$ between C(9) and C(9) (-x, y, -1/2-z).

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Calretinin-Containing Neurons in the Deeper Layers of the Hamster Superior Colliculus (햄스터 상구의 deeper layers에서 calretinin이 함유 신경세포)

  • Kim, Ye-Eun;Choi, Jae-Sik;Kim, Hye-Hyun;Yeo, Jin-Yeon;Jeon, Chang-Jin
    • Journal of Life Science
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    • v.16 no.5
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    • pp.750-758
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    • 2006
  • Calcium-binding protein calretinin is thought to play important roles in calcium buffering. Recently, we reported on the distribution, morphology of calretinin-immunoreactive (IR) neurons and the effects of eye enucleation on the immunoreactivity of calretinin in the superficial layers of the hamster superior colliculus (SC). In the present study, we describe the distributions and types of labeled cells and effects of enucleation in the deeper layers by immunocytochemistry. We also compare this labeling to that of GABA, the major inhibitory neurotransmitter in the central nervous system. In contrast to the superficial layers, the deeper layers contained many calretinin-IR neurons which formed two tiers. The first tier, which was very distinctive, was found within the intermediate gray layer. The second tier was found in the deep gray layer. Labeled neurons varied dramatically in morphology and included vertical fusiform, stellate, round/oval, and horizontal neurons. In contrast to the superficial layers, enucleation appeared to have no effect on the distribution of calretinin immunoreactivity in the deeper layers. Two-color immunofluorescence revealed that none of calretinin-IR neurons were labeled with an antibody to GABA. The present results demonstrate that calretinin identifies unique neuronal sublaminar organizations in the hamster SC. The present results also demonstrate that none of the calretinin-IR neurons in the hamster SC is GABAergic interneurons. As many calretinin-IR cells are GABAergic interneurons in most other brain areas, this phenomenon in hamster SC is exceptional.

주요국가에 있어서의 경쟁법$\cdot$경쟁정책의 개정 움직임

  • 한국공정경쟁연합회
    • Journal of Korea Fair Competition Federation
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    • no.26
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    • pp.34-45
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    • 1997
  • 세계 경제질서의 급속한 변화에 따라 최근에 많은 선진국들이 경쟁법을 개정하거나 앞으로 개정할 움직임을 활발히 전개하고 있다. 특히 이중에서 글로벌 경제의 급속한 진전에 따라 여기에 대응하기 위한 경쟁법의 개정 움직임도 활발하게 이루어지고 있음을 음미해보아야 할 것이다. 미국은 반트러스트법의 개정을 검토하기 위하여 공청회를 개최하고 ''95년 5월 ''새로운 하이테크 글로벌 시장에서의 경쟁정책''이라는 보고서를 발표하였으며, 이에 따라 합병심사에서 효율성을 앞세워 미국 국내기업의 해외 진출을 지원하고 합병을 용이하게 하도록 ''92년에 제정된 합병 가이드라인을 개정하였다. EU의 구주위원회도 기업결합의 글로벌화가 촉진되도록 ''96년 7월 합병규제규칙을 개정하여 업계가 손쉽게 합병을 할 수 있도록 절차에 있어 일원적 처리의 범위를 확대하였으며, 기업의 규제대상이 되는 연간 매상고기준을 인하하고 합병심사의 대상기업이라도 경쟁상 중대한 문제가 발생하지 않는 것으로 판단되면 공동체 시장에서 적합성을 선언할 수 있도록 하고, 경쟁제한법 협정의 적용제외 규정에서 수직적 제한에 대한 경쟁법 적용여부의 결정은 당사자의 시장점유율을 고려해서 적용여부를 결정하는 등 폭넓은 선택이 가능하도록 개정하였다. 이에 따라 EU국가인 독일, 영국, 프랑스 등의 EU회원국들은 EU합병규제규칙 및 EU경쟁법과의 조화가 이루어지도록 자국의 법체계를 정비하고 있다. 이에 따라 독일은 지난 ''97년 7월 31일에 경쟁제한금지법 제정 이후 40년만에 근본적인 개정의 필요에 따라 EU경쟁법과의 조화, 카르텔에서 적용제외 규정을 글로벌 경제구조에 맞도록 과감히 삭제$\cdot$축소하고, 합병규제대상의 매상고기준을 상향(5억$\right$10억마르크)하고 법체계를 명확하고 알기 쉽게 정리하는 개정(안)을 발표한 바 있다. 그리고 영국 무역산업성 장관은 지난 ''97년 8월 7일 영국의 경쟁법개정(안)을 금년 가을까지 성립을 목표로 발표하였는데, 그 주요 내용은 반경쟁적 협정 및 시장지배력 남용에 대한 강력한 억제력과 중대한 남용행위에 제재금을 부과함으로써 경쟁을 통한 소비자의 이익과 선택을 확보하고 산업계의 불필요한 부담을 경감토록 하여 글로벌시장 경쟁에서 혁신과 투자를 자극하도록 유도하였고, 프랑스는 생산업자와 유통업자에 의한 부당염매금지 제도를 도입하고 경쟁제한행위금지 위반시의 벌칙을 강화했다. 일본은 치열한 국제경쟁에 대응하고 경제구조의 개혁과 사업자활동을 보다 촉진하기 위하여 지난 1997년 6월 11일 일본독점금지법을 개정하여 독점금지법에 위배되지 않는 범위에서 지주회사 설립 금지를 해체하고 대규모회사 주식보유총액제한 규제대상을 완화하는 한편 국제계약신고제도를 폐지하였다. 캐나다는 합병신청서 제출기간을 연장하고 통신판매를 직접규제대상으로 경쟁법 개정을 준비하였고, 호주는 거래관행법을 개정하여 연방정부와 주$\cdot$준주 정부간의 경쟁정책의 법적용을 통일하고 거래관행법 적용을 모든 사업에 확대하며, 재판매가격유지행위의 금지대상에 용역(전기통신서비스)도 포함시키고 시장참입을 촉진하는 제도를 신설하였다. 뉴질랜드는 합병이 국내시장에 영향을 주는 경우에는 외국에서의 합병에도 경쟁법을 확대적용하도록 하였다. 위와 같이 세계의 많은 국가에서 경쟁정책에 대한 새로운 동향과 공정거래법에 대한 개정작업이 활발히 이루어지고 있는데, 본고는 미국, EU, 독일, 영국, 프랑스, 일본, 캐나다 및 호주와 뉴질랜드 등 주요선진국에서의 공정거래법 개정 동향에 대한 주요 내용을 소개한 것이다.

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