하나로(HANARO)에서 Mo-99을 생산하기 위한 LEU(Low Enriched Uranium) 표적 설계를 하였다. 표적길이 및 조사위치에 따른 Mo-99의 생성수율(Ci $^{99}$Mo/gU) 변화를 분석하였으며, 표적 설계를 위하여 표적 두께, 반경크기, 밀도, 연료물질등을 채택하여 이들에 대한 민감도 분석을 수행하였으며, 수행결과 생성수율에 가장 영향을 미치는 설계변수는 표적 두께와 밀도로 나타났다. 표적 연료로 어떤 물질을 선택하던 거의 같은 생성수율을 나타내므로 핵적으로는 같은 성능을 나타냄을 확인하였다. 또한 열수력학 조건과 연간생산량을 만족하는 표적 핵연료 집합체 설계가 가능함을 확인하였다.
3종의 폐활성탄 재생실험 결과 중국산 석탄계 폐활성탄의 재생성능이 뛰어난 것으로 사료되었다. 요오드가가 각 재생 온도별로 950을 모두 넘었으며 수율 역시 94% 이상으로 가장 높은 것으로 나타났다. 반면 노리트 석탄계 폐활성탄은 재생을 하여도 요오드가 900을 넘기지 못하는 것으로 나타났다. 3종의 폐활성탄 재생에서 가장 효율적인 재생온도는 800~$900^{\circ}C$일 때 평균적으로 가장 좋은 요오드가를 나타내었으나 수율은 재생온도가 높을수록 낮게 나오는 것으로 나타났다. 하지만 800~$900^{\circ}C$에서의 수율 역시 90%를 넘는 것으로 보아 수율에서 큰 문제가 되지는 않을 것으로 사료된다.
출발물질로 L-tyrosine을 사용하여 요오드화, 에스테르화, N-BOC 및 0-Bn보호기화 및 N 탈보호기화를 행하여 5단계에 걸쳐 41%의 수율로 methyl 0-Bn-3-iodotyrosinate를 합성하였다. 또한 Ullmann coupling의 반응성 향상을 위해 5위치에 nilro기가 도입된 methyl 0-Bn-3-iodo-5-nitrotyrosinate를 좋은 수율로 합성하였다. 이들에 N-BOC-tyrosine을 결합시켜 대응하는 dipeptide를44% 및 39%의 수율로 각각 얻었다. 일단 dipeptide에 대해 Ullmann coupling을 행하였으나 원하는 cyclic product는 얻을수 없었다. 전년도에 이어 methyl N-BOC-0-Bn-3-hydroxytyrosinate를 합성하였다. 이로 부터 4-iodobenzaldehyde에 Ullmann coupling을 행하여 원하는 페놀성 biaryl ether를 합성하고자 하였다. 또한 $\beta$-hydroxyhomoserine의 합성을 위해 출발물질로 cis-1,4-buterdiol을 사용하여 12단계의 합성반응을 행하여 좋은수율로 원하는 화합물을 합성하였다.
삼백초 지상부의 에탄올 추출농도와 추출 시간에 따른 수율, total phenol과 total flavonoid함량, DPPH 라디칼 소거능을 조사하였다. 추출 온도 9$0^{\circ}C$에서 에탄올농도를 증가시키면서 8시간동안 환류추출하였다. 추출수율과 DPPH 라디칼 소거능은 에탄올농도 40%까지는 증가하다가 60%이상에서는 감소하였고 total phenolic compound와 total flavonoid의 함량도 비슷한 경향을 보였다. total phenolic compound의 함량은 40%와 60%에서 큰 차이가 없는 반면 total flavonoid의 함량은 40%에서 더 높았다. total phenolic compound와 total flavonoid 함량, DPPH 라디칼 소거능 및 추출수율은 40% 이상에서는 큰 변화가 없어 추출용매의 조건은 40% 에탄올로 선정하였다. 40% 에탄올로 9$0^{\circ}C$에서 24시간 동안 4시간 간격으로 환류추출하였을 때 total phenolic compound와 total flavonoid 함량, DPPH 라디칼 소거능 및 추출수율은 4시간 이후 큰 차이가 없었다. 삼백초의 용매추출조건으로는 40% 에탄올, 4시간 추출하는 것이 적합하다고 판정된다.
FLECHT-SEASET 실험을 이용하여 냉각재상실사고시 Reflood에 대한 TRAC-PF1 전산코드의 예측 능력을 평가하였다. FLECHT-SEASET 실험 장치는 3.657m(12 ft) 높이 161개 전열 봉으로 이루어 져 있으며, 다양한 재관수율, 계통압력, 초기 피복재온도, 재관수온도 노심내 반경방향 출력분포 둥의 조건에 따라 수행된 실험이다. TRAC-PF1은 비균질 비평형 이상유동 열수력(Nonhomogeneous Non-equilibrium Two-Fluid Hydrodynamic)모델을 사용하고 원자로 압력용기는 3차원으로 모델할 수 있는 최적전산코드로서, 이 평가 계산에는 HP Version이 사용되었다. 본 연구에서는 재관수율 변화에 따라 달라지는 연료봉 최대 피복재온도와 Quench 시간에 대한 TRAC-PF1 전산코드의 예측 능력을 중점적으로 평가하였다. 계산 결과 TRAC-PF1은 최대 피복재온도는 약 20-100$^{\circ}$K 낮게, Quench 시간은 실험치와 비교하여 약 40-150초 정도 늦게 예측하는 것으로 나타났는데, 재관수율이 낮을수록 최대피복재 온도는 낮게, Quench 시간은 늦게 예측하는 경향을 보이고 있다. 또한 재관수율이 3 in/sec 이상에서 노심 상부가 일찍 Quenching 되는 것으로 계산되는데, 이는 노심상부 열전달 Regime의 부적절한 계산이 원인으로 보인다.
본 논문은 레이아웃 수정에 따른 수율차 계산을 위한 새로운 모델을 제안한다. 패턴 사이의 빈 공간의 크기를 늘리거나 줄이는 레이아웃 변경으로 인한 결함 평균치의 차를 구하기 위한 식이 단락 결함과 개방 결함에 대해 제시 되었다. 미세 패턴인 조그를 포함한 구부러진 연결선등을 가지는 복잡한 레이아웃 변경은 패턴을 작은 조각으로 쪼개고 패턴 사이의 공간과 패턴의 폭을 재정의 함으로써 새롭게 모델링 하였다. 이 모델은 레이아웃 변경에 의한 수율 변화와 결함 제한적 수율에 대한 비용함수 모니터링을 쉽게 할 수 있다는 장점을 갖는다.
전자빔 증착기를 이용하여 1000 $\AA$의 두께를 가진 MgO박막을 구리 기판위에 상온에서 증착하였다. 스퍼터링수율 측정시 MgO 층에 충전현상을 없애주기 위해서 1000 $\AA$ 두께의 Al을 증착하였다. 갈륨 액체금속을 집속이온빔 이온원으로 사용하였다. 두 개의 정전렌즈를 사용하여 이온빔을 집속하였고, MgO에 이온빔을 주사하기 위해 편향기를 사용하였다. 가속전압의 변화에 따라 시료대 전류와 이차입자 전류를 측정하였고, 이 전류값은 소스에 인가하는 가속전압에 따라 변화되었다 MgO 박막의 스퍼터링 수율은 분석된 시료대 전류, 이차입자 전류 및 순수빔 전류의 값을 사용하여 결정하였다. 집속이온빔 장치의 가속전압이 15 kV일 때 MgO 박막의 스퍼터링 수율은 0.30으로 나왔고 가속전압의 값이 증가할 때 스퍼터링 수율이 선형적으로 증가하였다. 이러한 결과를 볼 때 집속이온빔 장치를 이용하면 MgO 박막의 스퍼터링 수율을 측정할 패 매우 효과적임을 알 수 있다.
본 논문은 반도체 FAB공정의 수율개선 및 예측을 위해 데이터마이닝 기법을 적용한 사례를 소개한다. FAB 공정의 복잡성과 생산현장에서 수집되는 방대한 기술데이터로 인해 기존의 통계적 방법이나 엔지니어의 경험적 분석 방법만으로는 미처 파악하지 못하는 수율 저하 요인이 상당 수 존재한다. 본 논문은 먼저, FAB공정을 마친 웨이퍼에 불량 칩(chip)이 지리적으로 특정 위치에 집중적으로 발생하는 현상을 육안검사 대신 군집분석을 이용하여 데이터로부터 자동 판별할 수 있는 방법을 제안한다. 다음으로 연속패턴분석, 분류분석, RBF(Radial Base Function) 기법을 적용하여 수율 저하의 원인이 되는 문제 장비나 문제 파라미터를 신속, 정확하게 파악할 수 있도록 해 줄 뿐만 아니라 공정 진행 중인 제품의 미래 수율을 예측할 수 있도록 지원하는 방법을 제안한다. 또한 위 기법들을 반도체 FAB공정을 대상으로 국내 모 반도체 회사에서 정보시스템으로 구현한 Y2R-PLUS (Yield Rapid Ramp-up, Prediction, analysis & Up Support) 시스템을 소개한다.
Rose $Bengal-^{131}$ /I, $Hippuran-^{131}$ /I, $H.S.A-^{131}$ /I 등을 효과적으로 합성하기 위해 표지 반응액의 pH, 염의함량, 반응액중의 완충용액의 부피 및 합성장치등에 따르는 표지 반응수율을 검토하였다. Rose $Bengal-^131{ }$I 및 $Hippuran-^{131}$ /I 의 반응수율은 PH 5.6에서, $H.S.A-^{131}$ /I 반응수율은 pH 8.5에서 각각 가장 좋았다. 반응액중에 함유된 염은 $Hippuran-^{131}$ /I의 생성반응을 크게 저해 시켰으며 H.S.A.의 표지수율은 어느 범위안에서 오히려 약간 향상시켰다. Rose $Bengal-^{131}$ /I 나 $Hippuran-^{131}$ /I 를 소규모 합성할 경우는 밀폐된 용기가 효과적이었다. 이상의 결과에 따라 더 높은 표지수율과 좋은 재현성을 얻을 수 있는 반응조건을 확립하였으며 이에 따라 환원제가 함유된 국산 $Na^{131}$ /I를 사용하더라도 Rose $Bengal-^{131}$ /I과 $Hippurn=^{131}$ /I의 표지수율을 높일 수 있었다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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