Kim, Myeong-Jun;Kim, Yeong-Seok;Kim, Dong-Bin;Mun, Ji-Hun;Gang, Sang-U;Kim, Tae-Seong
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2014.02a
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pp.279.2-279.2
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2014
반도체 선폭이 20 nm급까지 감소함에 따라 기존에 수율에 문제를 끼치던 공정 외부 유입 입자뿐만 아니라, 공정 도중에 발생하는 수~수십 나노의 작은 입자도 수율에 악영향을 끼치게 되었다. 이에 따라 저압, 극청정 조건에서 진행되는 공정 중 발생하는 입자를 실시간으로 모니터링 할 수 있는 장비에 대한 수요가 발생하고 있다. Particle beam mass spectrometer (PBMS)는 이러한 요구사항을 만족할 수 있는 장비로 100 mtorr의 공정 조건에서 5 nm 이상의 입자의 직경별 수농도를 측정할 수 있는 장비이다. PBMS로 입자의 수농도를 측정하기 위해서는 PBMS 전단에서 입자를 중앙으로 집속할 필요가 있다. 공기역학렌즈는 PBMS 전단에서 입자를 집속시키기 위해 일반적으로 널리 사용되고 있는 장비로 여러 개의 오리피스로 이루어져 있다. 공기역학렌즈를 지나는 수송 유체와 입자는 이러한 연속 오리피스를 거치면서 팽창과 수축을 반복하며, 관성력의 차이로 인해 입자가 중앙으로 집속된다. 그러나 기존 공기역학렌즈는 고정된 직경의 오리피스를 사용하기 때문에 설계된 공정조건 이외에는 입자의 집속효율이 감소한다는 단점을 지닌다. 따라서 공정조건이 바뀔 경우 공기역학렌즈를 교체해야 되며, 진공이라는 환경하에서 이러한 교체는 많은 시간과 노력을 요구로 한다. 본 연구에서는 이러한 공기역학렌즈의 문제점을 해결하기 위해 다양한 공정조건에서 교체 없이 사용할 수 있는 새로운 형태의 공기역학렌즈인 조기래형 공기역학렌즈를 제안하였다. 각각의 오리피스가 중공의 직경을 변경할 수 있는 구조인 조리개의 형태로 설계되어 있어, 공정조건에 따라 중공의 직경을 변경함으로써 입자의 집속을 결정하는 요소인 Stokes number를 조절 할 수 있다. 이러한 조리개형 공기 역학 렌즈의 성능을 평가하기 위해 수치해석적인 방법을 이용하였다. 공기 역학 렌즈 전단의 압력을 0.1~10 torr까지 변화시켜가며 다양한 공정조건에서 오리피스의 직경만을 변경하여 입자 집속 가능 여부를 판단하였으며, 조리개 형태의 구조상 발생할 수 있는 leak로 인한 입자 집속 효율의 변화도 평가하였다.
Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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v.17
no.2
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pp.164-170
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2016
The initial urban railway was only required to perform its role as means of transportation. As the time of staying in an underground platform was extended, it has been faced with the issues of environmental improvement as a living space. Therefore, the sliding automatic door, which is the basis of the screen door, is used widely for large distribution stores, hospitals, restaurants, and public offices for customers' convenience and as a convenient method to control access. Therefore, screen doors are required for the purpose of customers' convenience, securing safety, establishing pleasant station buildings, and energy savings. It would be also necessary to develop the optimal design technology for a screen door system through the design of element parts and to ensure reliability. Therefore, this paper calculated, interpreted, and verified the theoretical weight of the composition parts to verify the design drive hardness of the motor for screen doors necessary for the safety of subways.
Although the physiological roles of calretinin have not been established, it may simply work as a calcium buffer or may actively work in calcium-mediated signal transduction. Calretinin plays a little role in the transport and physiological buffering of calcium in the adult photoreceptor cells, bipolar cells and horizontal cells of the human retina. We identified the calretinin-immunoreactive neurons in the inner nuclear cell layer and ganglion cell layer and the distribution pattern of the labeled neurons in the retina of a bat, Rhinolophus ferrumequinum, in this study. We observed the existence of calretinin-immunoreactive AII amacrine cell in the inner nuclear layer and ganglion cells in the ganglion cell layer of bat retina through this study. This observation must be significant along with our previous studies as we need to study for more understanding about the unsolved issue of a bat vision and the unique behavioral aspects of bat flight maneuverability.
Lee, Kyu Jin;Jang, Jeong Ah;Choi, Keechoo;Shim, Sang Woo
Journal of Korean Society of Transportation
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v.32
no.5
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pp.421-430
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2014
The greenhouse gas emission generated by idling vehicles is a critical issue in the greenhouse gas reduction from the transportation sector. Recently, the mandatory application of the Idle Stop and Go (ISG) for buses, trucks and taxis is in the process of legislation. Focusing on the regulation is about to apply to passenger cars, this study analyzed the quantitative economic effects of the ISG installation by passenger car types in Seoul metropolitan area to support proper policy making. The benefit cost ratio of ISG installation on commercial passenger car of Seoul is the most effective, calculated as 8.55. Accordingly, the amount of 660 liters (per year per vehicle) of fuel and 1,606 kg (per year per vehicle) of $CO_2$ could be reduced. The results of this study might be used as an index for judgment of policy such as determining appropriate subsidy for ISG installation on passenger cars.
Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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v.16
no.4
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pp.2385-2390
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2015
In the beginning run, urban railway had been required as transportation. But now days urban railway have stayed in the platform for long time, the platform is faced the problem that is improvement of environment as one of the living space. Thus, sliding automatic door on the basis of screen door have used in huge distribution market, hospital, restaurant and public office because it is comfortable that customer's convenience and entrance are controled. So screen door not only requires customer's convenience and safe, clean area and energy conservation but demands optimal design technology development of screen door system that is confirmed by element parts of design and confidence. In this paper, For secure confidence of screen door, after as modeling roller and frame's system, confirming the result for qualification of driving stiffness. And then it suggests that it is possible to increase performance and declines fraction defective of element's part.
An ocean compartment model simulating transport of nuclides by advection due to ocean circulation and intertaction with suspended sediments is developed, by which concentration breakthrough curves of nuclides can be calculated as a function of time. Dividing ocean into arbitrary number of characteristic compartments and performing a balance of mass of nuclides in each ocean compartment, the governing equation for the concentration in the ocean is obtained and a solution by the numerical integration is obtained. The integration method is specially useful for general stiff systems. For transfer coefficients describing advective transport between adjacent compartments by ocean circulation, the ocean turnover time is calculated by a two-dimensional numerical ocean model. To exemplify the compartment model, a reference case calculation for breakthrough curves of three nuclides in low-level radioactive wastes, Tc-99, Cs-137, and Pu-238 released from hypothetical repository under the seabed is carried out with five ocean compartments. Sensitivity analysis studies for some parameters to the concentration breakthrough curves are also made, which indicates that parameters such as ocean turnover time and ocean water volume of compartments have an important effect on the breakthrough curves.
Journal of the Korea Society of Computer and Information
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v.11
no.2
s.40
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pp.295-301
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2006
An operational strategy for inventory control on finished goods in the distribution system has been given attention to many enterprises and many studies regarding this field have been done and is also on-going currently. It handling large scale of smallness type are so the requisition of customer which is various that over it continues more full scale merit. therefore, It is a tendency that many of enterprise is handling small scale of smallness type for environment change confrontation. but It is not easy for the enterprise to In customer demand diversification suiting because too need many cost. In addition, at enterprise charge extra weight because remainder inventory is causes of defective stock for a inefficient problem solution. this paper is rationalization of stock cost decrease for comparison evaluation of small scale quantify handling of singleness type and small scale quantity handling of largeness type.
Proceedings of the Korean Society of Computer Information Conference
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2008.06a
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pp.99-103
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2008
An operational strategy for inventory control on finished goods in the distribution system has been given attention to many enterprises and many studies regarding this field have been done and is also on-going currently. It handling large scale of smallness type are so the requisition of customer which is various that over it continues more full scale merit. therefore, It is a tendency that many of enterprise is handling small scale of smallness type for environment change confrontation. but It is not easy for the enterprise to In customer demand diversification suiting because too need many cost. In addition, at enterprise charge extra weight because remainder inventory is causes of defective stock for a inefficient problem solution. this paper is rationalization of stock cost decrease for comparison evaluation of small scale quantity handling of singleness type and small scale quantity handling of largeness type.
A one-month-old, male Hanwoo calf was presented to Chonbuk Animal Medical Center with non-weight bearing lameness on its right hindlimb. The radiograph and CT scan showed a Salter-Harris III fracture at the distal tibia. Following open reduction, the fracture was stabilized by cross-pins. A temporal external skeletal fixator was used as an additional support for 5 weeks. 5 weeks after surgery, bone fracture had successfully healed with no complication. At 2 years after surgery, the calf could walk almost normally although intermittent weight-bearing lameness after active exercise. This is a rare case that the combined use of temporal external fixation and cross-pins fixation was sufficiently effective for treating a distal tibial physeal fracture in a calf.
Cho Jae-Hyung;Kim Hyun-Soo;Choi Hyung-Rim;Park Nam-Kyu;Kang Moo-Hong
Journal of Korea Society of Industrial Information Systems
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v.11
no.3
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pp.20-33
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2006
Because of rapid expansion of third party logistics, fierce competition in the transportation industry, and the diversification and globalization of transportation channels, an effective transportation planning by means of multimodal transport is badly needed. Accordingly, this study aims to suggest an optimal transport algorithm for the multimodal transport in the international logistics. As a solution for this problem, first of all, we have applied a pruning algorithm to simplify it, suggesting a heuristic algorithm for constrained shortest path problem to find out a feasible area with an effective time range, which has been applied to the Label Setting Algorithm, consequently leading to multiple Pareto optimal solutions. Also, in order to test the efficiency of the algorithm for constrained shortest path problem, this paper has applied it to the actual transportation path from Busan port of Korea to Rotterdam port of Netherlands.
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