VHF ICP를 이용한 $H_2O$ 플라즈마 연구
(Study on $H_2O$ plasma by using VHF ICP)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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- pp.459-459
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- 2007