TFT-LCD 생산공장 내 유틸리티 가동으로 인한 정밀장비 과도진동 현상 및 평가 (An analysis and assessment of transient vibration phenomenon for precision equipment due to adjacent utility operation in TFT-LCD Fab)
-
- 한국소음진동공학회:학술대회논문집
- /
- 한국소음진동공학회 2007년도 춘계학술대회논문집
- /
- pp.993-999
- /
- 2007