• Title/Summary/Keyword: 셀 형성

Search Result 329, Processing Time 0.031 seconds

휨 구조의 압전 마이크로-켄틸레버를 이용한 진동 에너지 수확 소자

  • Na, Ye-Eun;Park, Hyeon-Su;Park, Jong-Cheol
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
    • /
    • 2014.02a
    • /
    • pp.476-476
    • /
    • 2014
  • 서론: 저 전력 소모를 필요로 하는 무선 센서 네트워크 관련 기술의 급격한 발달과 함께 자체 전력 수급을 위한 진동 에너지 수확 기술에 대한 연구가 활발히 이루어지고 있다. 다양한 구조와 소재를 압전 외팔보에 적용하여 제안하고 있다. 그 중에서도 진동 기반의 에너지 수확 소자는 주변 환경에서 쉽게 진동을 얻을 수 있고, 높은 에너지 밀도와 제작 방법이 간단하다는 장점을 가지고 있어 많은 분야에 응용 및 적용 가능하다. 기존 연구에서는 2차원적으로 진동 에너지 수확을 위한 휜 구조의 압전 외팔보를 제안 하였다. 휜 구조를 갖는 압전 외팔보는 각각의 짧은 두 개의 평평한 외팔보가 일렬로 연결된 것으로 볼 수 있다. 하나의 짧고 평평한 외팔보는 진동이 가해지면 접선 방향으로 응력이 생겨 최대 휨 모멘텀을 갖게 된다. 그러므로 휜 구조를 갖는 외팔보는 진동이 인가됨에 따라 길이 방향과 수직 방향으로 진동한다. 하지만, 이 구조는 수평 방향으로 가해지는 진동에 대한 에너지를 수확하기에는 한계점을 가진다. 즉, 3축 방향에서 임의의 방향에서 진동 에너지를 수확하기는 어렵다. 본 연구에서는 3축 방향에서 에너지를 효율적으로 수확할 수 있도록 헤어-셀 구조의 압전 외팔보 에너지 수확소자를 제안한다. 제안된 소자는 길이 방향과 수직 방향뿐만 아니라 수평 방향으로도 진동하여 임의의 방향에서 진동 에너지를 수확할 수 있다. 구성 및 공정: 제안하는 소자는 3축 방향에서 임의의 진동을 수확하기 위해서 길이를 길게 늘이고 길이 방향을 따라 휘어지는 구조의 헤어-셀 구조로 제작하였다. 외팔보의 구조는 외팔보의 폭 대비 길이의 비가 충분히 클 때, 추가적인 자유도를 얻을 수 있다. 그러므로 헤어-셀 구조의 에너지 수확 소자는 기본적인 길이 방향, 수직방향 그리고 수평방향에 더불어 추가적으로 뒤틀리는 방향을 통해서 3차원적으로 임의의 주변 진동 에너지를 수확하여 전기적인 에너지로 생성시킬 수 있다. 제작된 소자는 높은 종횡비를 갖는 무게 추($500{\times}15{\times}22{\mu}m3$)와 길이 방향으로 길게 휜 압전 외팔보($1000{\times}15{\times}1.7{\mu}m3$)로 구성되어있다. 공정 과정은 다음과 같다. 먼저, 실리콘 웨이퍼 위에 탄성층을 형성하기 위해 LPCVD SiNx를 $0.8{\mu}m$와 LTO $0.2{\mu}m$를 증착 후, 각각 $0.03{\mu}m$$0.12{\mu}m$의 두께를 갖는 Ti와 Pt을 하부 전극으로 스퍼터링한다. 그리고 Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 박막을 $0.35{\mu}m$ 두께로 졸겔법을 이용하여 증착하고 상부 Pt층을 두께 $0.1{\mu}m$로 순차적으로 스퍼터링하여 형성한다. 상/하부 전극은 ICP(Inductively Coupled Plasma)를 이용해 건식 식각으로 패턴을 형성한다. PZT 층과 무게 추 사이의 보호막을 씌우기 위해 $0.2{\mu}m$의 Si3N4 박막이 PECVD 공정법으로 증착되고, RIE로 패턴을 형성된다. Ti/Au ($0.03/0.35{\mu}m$)이 E-beam으로 증착되고 lift-off를 통해서 패턴을 형성함으로써 전극 본딩을 위한 패드를 만든다. 초반에 형성한 실리콘 웨이퍼 위의 SiNx/LTO 층은 RIE로 외팔보 구조를 형성한다. 이후에 진행될 도금 공정을 위해서 희생층으로는 감광액이 사용되고, 씨드층으로는 Ti/Cu ($0.03/0.15{\mu}m$) 박막이 스퍼터링 된다. 도금 형성층을 위해 감광액을 패턴화하고, Ni0.8Fe0.2 ($22{\mu}m$)층으로 도금함으로써 외팔보 끝에 무게 추를 만든다. 마지막으로, 압전 외팔보 소자는 XeF2 식각법을 통해 제작된다. 제작된 소자는 소자의 여러 층 사이의 고유한 응력 차에 의해 휨 변형이 생긴다. 실험 방법 및 측정 결과: 제작된 소자의 성능을 확인하기 위하여 일정한 가속도 50 m/s2로 3축 방향에 따라 입력 주파수를 변화시키면서 출력 전압을 측정하였다. 먼저, 소자의 기본적인 공진 주파수를 얻기 위하여 수직 방향으로 진동을 인가하여 주파수를 변화시켰다. 그 때에 공진 주파수는 116 Hz를 가지며, 최대 출력 전압은 15 mV로 측정되었다. 3축 방향에서 진동 에너지 수확이 가능하다는 것을 확인하기 위하여 제작된 소자를 길이 방향과 수평 방향으로 가진기에 장착한 후, 기본 공진 주파수에서의 출력 전압을 측정하였다. 진동이 길이방향으로 가해졌을 때에는 33 mV, 수평방향으로 진동이 인가되는 경우에는 10 mV의 최대 출력 전압을 갖는다. 제안하는 소자가 수 mV의 적은 전압은 출력해내더라도 소자는 진동이 인가되는 각도에 영향 받지 않고, 3축 방향에서 진동 에너지를 수확하여 전기에너지로 얻을 수 있다. 결론: 제안된 소자는 3축 방향에서 진동 에너지를 수확할 수 있는 에너지 수확 소자를 제안하였다. 외팔보의 구조를 헤어-셀 구조로 길고 휘어지게 제작함으로써 기본적인 길이 방향, 수직방향 그리고 수평방향에 더불어 추가적으로 뒤틀리는 방향에서 출력 전압을 얻을 수 있다. 미소 전력원으로 실용적인 사용을 위해서 무게추가 더 무거워지고, PZT 박막이 더 두꺼워진다면 소자의 성능이 향상되어 높은 출력 전압을 얻을 수 있을 것이라 기대한다.

  • PDF

Analyses of the Output Characteristics and the Internal Impedance of Dye-sensitized Solar Cell according to the Fabrication of the Blocking layer (Blocking layer 제작에 따른 염료감응형 태양전지 출력특성 및 내부 임피던스 분석)

  • Kim, Jin-Kyoung;Son, Min-Kyu;Choi, Jin-Ho;Kim, Soo-Kyoung;Hong, Na-Yeong;Kim, Hee-Jae
    • Proceedings of the KIEE Conference
    • /
    • 2011.07a
    • /
    • pp.1471-1472
    • /
    • 2011
  • 최근 경재적인 한계를 드러내고 있는 실리콘 태양전지의 대안으로 주목받고 있는 염료감응형 태양전지는 식물의 광합성 원리에 기초하여 빛이 입사하면 염료 분자가 포톤을 흡수해 여기하면서 전자를 방출함으로써 기전력을 발생시키는 원리로 동작한다. 염료에서 발생된 전자는 $TiO_2$의 conduction band로 주입되어 확산을 통해 TCO 기판으로 이동한다. 이때 다공성 나노구조의 $TiO_2$ 표면과 전해질의 접촉이 발생하게 되고 이로 인해 $TiO_2$ conduction band의 전자와 전해질의 $I_3{^-}$ 간의 재결합이 발생하게 되는데 이것은 DSC의 기능을 저하시키는 요인 중의 하나이다. 이러한 문제점은 $Al_2O_3$, ZnO, MgO, $BaTiO_2$ 등의 표면처리에 의한 core-shell 나노구조를 형성함으로써 해결할 수 있다. 본 연구에서는 aluminum isopropoxidee와 magnesium chloride 혼합 용액을 사용하여 core-shell 나노구조를 형성하여 셀을 제작하고, 완성된 셀의 출력특성과 내부 임피던스의 변화를 측정, 분석함으로써 단일 용액을 사용하였을 때에 비해 효과적인 재결합 감소와 광전압의 상승효과를 확인할 수 있었다.

  • PDF

Effects of Irradiation Crosslinking and Molecular Weight Properties on Crosslinked PP Foaming Process (전자선 조사량과 분자량 특성이 전자선 가교 PP 발포 가공에 미치는 영향)

  • 홍다윗;윤광중;백운선;정영헌;이준길
    • Polymer(Korea)
    • /
    • v.26 no.4
    • /
    • pp.508-515
    • /
    • 2002
  • The effects of the crosslinking caused by irradiation dose, molecular weights of the foaming materials, and various foaming processes on the foam structure of the polypropylene (PP) were investigated. The maximum gel content of the PP was 48% when the sheet was irradiated with 3.2 Mrad. This high gel content improved the cell structures by providing high thermal stability. The increase of both the gel content and structural development were stopped at the irradiation dose exceeding 3.2 Mrad. The increase of the molecular weights served to help produce a foam with particularly fine and even cell structures, along with improved thermal stability as well.

Orientation of Evaporated Pentacene Molecules on Rubbed Polyvinylcinnamate Film (러빙한 Polyvinylcinnamate 필름 위에 종착된 Pentacene 분자의 배향)

  • Park, Sun-Hee;Song, Ki-Gook
    • Polymer(Korea)
    • /
    • v.32 no.3
    • /
    • pp.290-294
    • /
    • 2008
  • Induction mechanism of molecular orientations for a rubbed polymer film as an alignment layer was investigated using polarized UV/Vis spectroscopic experiments for polyimide and polyvinylcinnamate whose conjugated electrons are located along main chain and side chain, respectively. By determining anisotropy formed in the rubbed film, LC director formed in the LC cell, and orientation direction of deposited pentacene molecules, it was found that LC orientation was induced mainly by molecular interactions whereas surface microgrooves formed by the rubbing process affect the orientation direction of deposited pentacene molecules.

Effect of Temperature on Electrochemical Degradation of Membrane in PEMFC (PEMFC 고분자 막의 전기화학적 열화에 미치는 온도의 영향)

  • Lee, Ho;Kim, Taehee;Son, Ik Jae;Lee, Jong Hyun;Lim, Tae Won;Park, Kwonpil
    • Korean Chemical Engineering Research
    • /
    • v.47 no.4
    • /
    • pp.441-445
    • /
    • 2009
  • Effect of temperature on membrane degradation in PEMFCs was studied. After cell operation at different temperatures($60{\sim}90^{\circ}C$) under accelerating degradation conditions(OCV, anode dry, cathode RH 65%) for 144 h, cell performance decreased from 12 to 35%. The results of FER in effluent water showed that this decrease in cell performance was caused by membrane degradation by the attack of $H_2O_2$ or oxygen radicals(${\cdot}OH$, $HO_2{\cdot}$) and that resulted in increase in gas crossover for radical formation. Radical formation on the electrode was confirmed by ESR. Activation energy of 66.2 kJ/mol was obtained by Arrhenius plot used to analyze the effect of temperature on membrane degradation. Increase of cell temperature enhanced gas crossover rate, radical formation rate and membrane degradation rate.

Sensing Properties of TiO2/ZnO Double-Layer Hollow Fibers Synthesized by Atomic Layer Deposition (원차층증착법으로 제작된 TiO2/ZnO 이중층 중공 나노섬유의 가스 감응 특성)

  • Kim, Jae-Hun;Park, Yu-Jeong;Kim, Jin-Yeong;Kim, Sang-Seop
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
    • /
    • 2016.11a
    • /
    • pp.133-133
    • /
    • 2016
  • 화학저항식(Chemiresistive) 가스센서의 저항변화를 향상시키기 위해서는 센서 소재의 비표면적을 향상시키는 방향 및 전자천이를 증가시키는 방향으로 연구가 진행되어야 하며, 그 중 센서의 비표면적을 향상시키는 예로써 중공 나노섬유가 있을 수 있다. 본 연구에서는 비표면적의 향상뿐만 아니라 중공 나노섬유의 전자천이를 증가시켜 센서의 검출 성능을 더욱 향상시키기 위한 목적으로 $TiO_2/ZnO$ 이중층 중공 나노섬유를 제안하었다. 제안된 $TiO_2/ZnO$ 이중층 중공 나노섬유는 템플레이트 합성법을 통해 제작되었으며, 그 공정은 다음과 같다; 전기방사(Electrospinning) 공정을 통해 폴리머 나노섬유를 제작한 후 $TiO_2$ 층과 ZnO 층을 ALD(Atomic Layer Deposition) 공정을 통해 차례대로 증착시킨다. 그 후 후열처리 공정을 통해 코어 폴리머를 제거함으로써 $TiO_2/ZnO$ 이중층 중공 나노섬유를 얻을 수 있다. 이 때, ZnO 층의 두께는 각각 달리하여 제작되었으며, 최종적으로 이들에 대한 가스 센싱 특성 및 메커니즘에 대한 체계적인 조사를 진행하였다. 단층 중공나노섬유는 셀 층의 두께가 Debye length와 유사할 때 셀 층 표면이 완전공핍층이 형성되고, 그 보다 크게 되면 부분적인 공핍층이 형성되게 되어 감응도가 감소하게 된다. 그러나 이중층 중공 나노섬유의 경우 셀 층의 두께가 Debye length 보다 더 크게 되더라도 TiO2와 ZnO의 헤테로접합으로 인해 ZnO에서 TiO2로 전자의 이동을 야기시키게 되어 환원성 가스에 대한 감응도가 단층 ZnO 중공 나노섬유에 비해 향상되게 된다.

  • PDF

Development of Tactile Display for the Blind in Japan (일본의 시각장애인을 위한 촉각디스플레이 개발)

  • Han, S.M.
    • Journal of rehabilitation welfare engineering & assistive technology
    • /
    • v.4 no.1
    • /
    • pp.63-70
    • /
    • 2010
  • Research and development of Assistive Technology (AT) for blind people is primarily focused on assisting mobility and improving access to information. Some particularly useful devices for aiding access to information and communication are DAISY players used with talking books, screen readers for reading screens, video magnifiers to aid low vision, Braille displays, and Braille PDAs. These essential devices have been successfully commercialized and have assisted many visually impaired people. Assistive technology devices for visually impaired people are called sensory substitution devices, because these devices substitute tactile or auditory functions for visual functions. The tactile interfaces of sensory substitution devices such as Braille displays and Braille PDAs have a bimorph type of piezoelectric actuator that forms a Braille (pin) of the Braille cells by moving up and down. KGS Corporation of Japan has more than 80% share of the worldwide market for these Braille cell actuators. Commercializing it for the first time in the world. This paper reviews the various endeavors in Japan in the research and development of tactile displays, such as Braille displays and Braille PDAs. Furthermore, it discusses sensory substitution devices that use tactile displays, focusing especially on the rotating Braille display we have developed.

A study on the Capacity Fading Mechanism of Sulfur Cathode Depending on Discharge Potential for Li Rechargeable Battery (Li 이차전지용 유황 양극의 방전 전위에 따른 퇴화거동에 관한 연구)

  • Kim, Hyun-Seok;Han, Sang-Cheol;Song, Min-Sang;Kim, Jin-Ho;Ahn, Hyo-Jun;Lee, Jai-Young
    • Transactions of the Korean hydrogen and new energy society
    • /
    • v.14 no.1
    • /
    • pp.46-52
    • /
    • 2003
  • 유황 양 전극과 액체 전해질, 리튬 금속을 음극으로 사용한 리튬 유황 전지를 제조하여 그 특성을 조사하였다. 유황 전극은 유황파우더와 carbon black 을 도전재로, 그리고 바인더로 PVdF를 사용하여 제조하였다. 이렇게 제조된 셀은 두개의 다른 전압 구간에서 충방전 실험을 행하였다. 첫 번째 셀은 $S_8+{\chi}Li{\leftrightarrow}Li_2S_x(X=4{\sim}12)$ 반응만을 일어나 게 하기 위하여 2.1V 와 2.5V 사이에서, 그리고 두 번째 셀은 $Li_2S_x+{\chi}Li{\leftrightarrow}Li_2S(x=2{\sim}4)$의 반응만을 일어나게 하기 위하여 1.5V 와 2.5V 에서 충방전 하였다. 그 결과 첫 번째 셀이 더 좋은 싸이클 특성을 가지는 것을 확인 탈 수 있었다. 각 전압구간에서 각 셀이 충방전 되는 동안, 전해질 내로 녹아난 유황의 양은 큰 차치가 없는 것을 확인하였다. 그리고, 전압에 따른 전극의 임피던스를 측정한 결과, 방전이 끝난 후 큰 저항성분이 새로 생긴 것을 확인 할 수 있었다. 이는 사이클이 진행된 후의 전극표면을 SEM 분석을 행한 결과로부터 사이클이 진행된 후 전극 표면에 최종 반응 산물인 $Li_2S$ 가 피막형태로 형성된것을 확인 할 수 있었다.

Experimental Study on Cellular Instabilities in Diluted Syngas-Air Premixed Flames (희석제가 첨가된 합성가스-공기 예혼합화염에 있어서 셀 불안정성에 관한 실험적 연구)

  • Vu, Tran Manh;Song, Won-Sik;Park, Jeong;Kim, Jeong-Soo;Yun, Jin-Han;Keel, Sang-In
    • Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
    • /
    • v.14 no.5
    • /
    • pp.72-83
    • /
    • 2010
  • Experiments were conducted to investigate the effects of added diluents (carbon dioxide, nitrogen, and helium) on cellular instabilities in outwardly propagating spherical syngas-air premixed flames. Laminar burning velocities and Markstein lengths were measured by analyzing high-speed schlieren images at various diluent concentrations and equivalence ratios. Experimental results showed substantial reduction of the laminar burning velocities and of the Markstein lengths with the diluent additions in the fuel blends. Effective Lewis numbers of helium-diluted syngas-air flames increased but those of carbon dioxide- and nitrogen-diluted syngas-air flames decreased in increase of diluents in the reactant mixtures. With helium diluent, the propensity for cells formation was significantly diminished, whereas the cellular instabilities for carbon dioxide- and nitrogen-diluted syngas-air flames were not suppressed.