• Title/Summary/Keyword: 세정 공정

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Stripping of Ion-Implanted Photoresist Using Cosolvent-Modified Supercritical Carbon Dioxide (공용매로 변형된 초임계 이산화탄소를 이용한 이온 주입 포토레지스트 세정)

  • Jung, In-Il;Kim, Ju-Won;Lee, Sang-Yun;Kim, Woo-Sik;Ryu, Jong-Hoon;Lim, Gio-Bin
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • v.43 no.1
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    • pp.27-32
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    • 2005
  • We propose an effective and environmentally friendly dry stripping method using a supercritical carbon dioxide ($SCCO_2$) system modified by a single and multiple cosolvents to remove ion-implanted photoresist and residue from a wafer surface at three different temperatures (97, 148, $200^{\circ}C$) and pressures (200, 300, 400 bar). After high dose of ion implantation the photoresist was not easily removed by using pure $SCCO_2$, but swollen. The $SCCO_2$ system modified by single cosolvents and multiple cosolvents mixed with aprotic solvents could not effectively remove the heavy organics, but swell them. However, the $SCCO_2$ system modified with multiple cosolvent (5%, v/v) composed of DMSO and DIW showed high removal efficiency for ion-implanted photoresists at $97^{\circ}C$ and 200 bar for 30 min (about 80%). In this study it has been shown that the dry stripping method using $SCCO_2$ system modified with multiple cosolvents could replace either plasma ashing or acid and solvent wet bench method and dramatically reduce accompanied chemical usage and disposal.

Removal of Fe Impurities on Silicon Surfaces using Remote Hydrogen Plasma (리모트 수소 플라즈마를 이용한 Si 표면 위의 Fe 불순물 제거)

  • Lee, C.;Park, W.;Jeon, B.Y.;Jeon, H.T.;Ahn, T.H.;Back, J.T.;Shin, K.S.;Lee, D.H.
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.8 no.8
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    • pp.751-756
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    • 1998
  • Effects of remote hydrogen plasma cleaning process parameters on the removal of Fe impurities on Si surfaces and the Fe removal mechanism were investigated. Fe removal efficiency is enhanced with decreasing the plasma exposure time and increasing the rf-power. The optimum plasma exposure time and rf-power are 1 min and 100W. respectively, in the range below 10 min and 100W. Fe removal efficiency is better under lower pressures than higher pressures, and the optimum $\textrm{H}_2$ flow rate was found to be 20 and 60sccm, respectively, under a low and a high pressure. The post-RHP(remote hydrogen plasma) annealing enhanced metallic contaminants removal efficiency, and the highest efficiency was achieved at $600^{\circ}C$. According to the AFM analysis results Si surface roughness was improved by 30-50%, which seems to be due to the removal of particles by the plasma cleaning. Also. Fe impurities removal mechanisms by remote hydrogen plasma are discussed.

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플라즈마 임피던스를 이용한 RPS내 아노다이징 코팅진단 및 수명예측에 대한 연구

  • Kim, Dae-Uk;An, Yeong-O;Im, Eun-Seok;Lee, Han-Yong;Wi, Sun-Im;Choe, Dae-Gyu;Choe, Sang-Don
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2015.08a
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    • pp.141.2-141.2
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    • 2015
  • 교류임피던스 측정기법을 이용하여 전기화학적으로 외부환경에서 소재 금속까지 물질 및 전하이동에 관한 임피던스 측정이 가능하며 도막의 부식 및 노화정도 및 내식성의 평가가 가능하여 산업체에서 널리 이용되고 있다. RPCS(Remote Plasma Cleaning Source)는 패널 및 반도체 제조공정에서 CVD 증착공정 후 챔버 내부에 입혀지는 Si(실리콘)을 화학적으로 세정하기 위한 F(불소) Radical을 공급하는 원격 고밀도 플라즈마를 발생시키는 제품이다. RPCS의 바디는 알루미늄을 사용하고 절연 및 플라즈마에 대한 내구성을 확보하기 위해 아노다이징 코팅을 한다. 반응기 내벽의 표면이 공정 플라즈마에 노출될 때 소재는 화학적으로 매우 활성이 높은 라디칼과의 반응뿐만 아니라 이온의 충격을 동시에 받게 되며 이 과정에서 다량의 불소 (Fluorine) 라디칼과 전계에 반응한 이온의 운동에 노출되면서 아노다이징 코팅이 손상되는데 이는 기기의 수명 단축 및 파티클을 발생시키며, Arc의 원인이 되기도 한다. 실제 사용 환경에서는 기기의 분해 없이 아노다이징의 상태를 주기적으로 모니터링 하기가 대단히 어려워, 정기적으로 교체하고 있는 실정이다. 본 연구에서는 RPCS내 발생된 플라즈마 현상을 컨덕터로 활용하여 고주파 리액턴스를 임피던스로 환산하여 아노다이징 코팅의 손상 정도를 진단 및 모니터링하였다. 아노다이징이 손상된 내부 블럭과 정상상태인 내부 블럭의 임피던스를 비교하였고, 아노다이징 두께별 임피던스를 측정하였다. 그 결과 아노다이징 절연막이 손상된 블록의 임피던스가 정상 블록에 비해 낮았으며 두께별 임피던스도 비례함을 알 수 있었다. 향후에는 장기간 현장에서 축척되어진 시험데이터를 바탕으로 아노다이징 코팅의 수명예측진단 시스템을 구축하고자 한다.

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Comparison of PCB Surface Treatment Effect Using UV Equipment and Atmospheric Pressure Plasma Equipment (UV 장비 및 대기압 플라즈마 장비를 이용한 PCB 표면 처리 효과 비교)

  • Ryu, Sun-Joong
    • Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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    • v.16 no.3
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    • pp.53-59
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    • 2009
  • Low pressure mercury lamp type UV equipments have been widely used for cleaning and modification of PCB surfaces. To enhance the productivity of the process, we newly developed remote DBD type atmospheric pressure plasma equipment. The productivity of both equipments could be compared by measuring surface contact angle for various transferring speed. By the result of the measurement, we could verify that the productivity of the atmospheric pressure plasma be superior to the productivity of the UV equipment. XPS experiments confirmed that the surface effect of the UV and atmospheric pressure plasma processing are similar for each other. Organic contamination level was reduced after the processing and some surface elements were oxidized for both cases. Finally, the atmospheric pressure plasma equipment was adapted to flip chip BGA's flux printing process and it was concluded that the printing uniformity be enhanced by the atmospheric pressure plasma surface treatment.

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Introduction of Wastewater Reuse Project in Jeju Island (제주 하수처리장 재이용사업 소개(판포))

  • Lee, Kwang-Ya;Kim, Hae-Do;Joo, Jin-Hun;Kim, Young-Jin;Kang, Su-Man
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2012.05a
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    • pp.469-469
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    • 2012
  • 제주 지역은 대부분 지하수를 이용하고 있으며, 제주 서부지역의 경우, 지하수의 과다한 취수로 인해 지하수 하강은 물론 해수침투현상도 나타나고 있다.(제주미디어 2009.10) 제주지역의 지하수 적정 개발량은 약 97%에 이르고 있어 국지적으로는 지하수 개발이 한계에 이른 것으로 평가된다. 따라서, 농촌용수 공급을 위한 사업이 필요하며, 농업 환경 피해를 최소화할 수 있는 방안이 필요하다. 또한 농촌지역의 도시화에 따라 하수처리장의 농촌지역에도 늘어가고 있으며 이제는 농촌지역과 도시지역이 구분되지 않고 혼합되어 있는 형태로 발전하고 있기 때문에 과거의 농업활동도 변화되고 있으며, 하천에서 취수하는 용수중에서 농업용수로의 사용이 부적합한 용수가 취수되고 있다. 따라서 하수처리수의 농업용수 재이용시스템과 같이 수처리를 이용한 농업용수의 공급방안이 확대될 것으로 판단된다. 한국농어촌공사 농어촌연구원에서는 (주)필로스, (주)블루인바이로먼트엔텍과 함께 글로벌탑 환경기술개발사업의 과제를 수행하고 있으며, 본 연구를 통하여, 고내구성 고기능성의 복합막 기능이 부여된 UF/NF 분리막 소재 및 모듈을 개발하고 전기분해/오존조합에 의한 에너지 절약형 재이용수 공정기술을 개발하여, 판포하수처리장을 Test-bed로 선정하여 개발 기술을 적용하고자 한다. 제주도 한경면 판포리에 위치한 판포하수처리장은 하수재이용 사업을 통해 수처리 및 용수 공급 관로가 설치되어 있으며, 개발한 재이용수를 현지에서 공급 활용할 수 있어, 연구개발에 국한되지 않고 실증 플랜트에서 용수 사용자까지 연결이 가능하여 최적의 입지 연건을 가지고 있다. 개발될 시스템은, 유입조, ECR 반응조, AOPs, 나노버블을 이용한 막세정 시스템, UF/NF 시스템으로 공정이 설계되며, 제염처리는 물론 제주지역의 농업용수로써 안정적인 용수를 확보할 수 있는 시스템을 구축하고 있다. 본 연구개발을 통한 최종 목표는 하수처리장의 방류수 고도처리를 통해 도시, 농촌지역에 필요한 고품질 맞춤형 재이용수로 공급하고, 국내 외 하수 재이용시장으로 진출하는데 있다.

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A Study on Low Residue Flux for Improving Flip Chip Non-wet and Reliability (Flip Chip Non-wet 개선 및 신뢰성 향상을 위한 Low Residue Flux 구현 방안 연구)

  • Lee, Hyunsuk;Kim, Minseok;Kim, Taehoon;Moon, Kiill
    • Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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    • v.28 no.2
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    • pp.45-50
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    • 2021
  • As the difficulty of flip chip products increases, there is a growing interest in the material of flux, which is safe from the solder wetting and reliability. In the case of no clean flux, there is merit in terms of process efficiency because there is no cleaning process. But Cu migration and delamination can be occurred if the residue remains after the reflow process. In this study, major element materials, solvent and activator, are changed and confirmed effect of non-wet and reliability in the package environment. Stability of materials were secured through storage stability evaluation, and we found out non-wet zero materials through the application of two types of solvent and activator with different boiling point and the increase of activator content. After reliability test, no delamination was found in the plane analysis, which secured the final composition of low residue flux.

Study on Manufacturing Emulsion Oil Using Biodiesel Feedstock Oil Production By-product (바이오디젤 원료유 생산 부산물을 이용한 유화유 제조 연구)

  • Kim, Deogkeun;Jeon, Sanggoo;Yoon, Sangjun;Park, Soonchul
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 2010.11a
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    • pp.106.2-106.2
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    • 2010
  • 동식물성 기름과 메탄올의 전이에스테르화 반응에 의해 생산되는 바이오디젤은 환경친화성과 지속가능성이 인정됨에 따라 그 생산량이 급격히 증가하고 있어 대두유, 유채유, 팜유 등의 원료유 부족과 가격 상승, 수급 불안정 등의 문제가 대두되고 있다. 이를 해결하기 위한 방안으로 유리지방산 함량이 높은 저가유지 자원(폐식용유, 폐돈지, 폐우지, soapstock, trapped grease)과 새로운 오일 작물을 이용한 생산 기술 연구가 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 비활용 해외 열대작물 씨앗에서 착유한 식물성 오일을 정제하여 바이오디젤 원료유를 생산하는 과정에서 발생하는 폐기물(폐유, 폐수)의 경제적 처리 방안으로 유화유 제조 원료(벙커C유, 물)와 유화유 제조 첨가제(무기계, 유기계)로 활용 가능성을 검토하였다. 열대작물 오일의 물성 분석 결과 고형물, 수분, 인지질(phospholipid), 유리지방산(free fatty acid) 함량이 기존 원료유보다 매우 높게 나타났다. 인지질은 바이오디젤 제조 반응후 에스테르와 글리세린의 층분리를 방해하고 유리지방산은 염기촉매와 결합하여 지방산염을 생성해 생산 수율을 감소시킨다. 고형물과 수분 역시 촉매반응에 악영향을 가지나 여과와 감압증발에 의해 쉽게 제거가 가능하다. 유리지방산은 산촉매 에스테르화 반응에 의해 제거가 가능하다. 인지질은 탈검(degumming) 과정을 통해 제거하며 탈검은 수용성 탈검, 산 탈검, 세정 공정으로 구성된다. 착유한 원료유의 고형물을 제거 후 물과 수세하여 수용성 인지질을 수화하여 층 분리해 제거하고 상층의 오일은 추가적인 산 탈검을 수행한다. 그 뒤 세정을 통해 사용된 탈검제인 산과 추가적으로 수화된 인지질을 제거하게 된다. 이러한 3단계의 탈검 과정에서 하층으로 오일과 물이 폐기물로서 배출되며 본 연구에서는 배출 폐기물을 다시 층분리하여 오일층과 물 층으로 구분하여 유화유 제조에 사용되는 벙커C유, 물, 그리고 기존 유기계 및 무기계 유화제의 대체 가능성을 조사하였다. 유화 연료유는 기름과 물을 균일한 분산상으로 혼합한 연료유로 연소시 오일계 성분의 미연분을 감소시켜 연료 효율 제고와 배출가스 성상을 개선하기 위해 개발되어 왔다. 본 발표에서는 다양한 종류의 상용 첨가제 및 바이오디젤 원료유 생산 폐기물을 활용해 유화 연료유를 제조하였으며 각 유화유의 장시간의 상(phase) 안정성을 비교하였다. 바이오 폐기물 중에는 천연 계면활성제(surfactant)인 인지질이 다량 함유되어 있어 기존의 무기계 및 유기계 유화제보다 상 안정성이 우수하게 나타났으며 바이오디젤 원료유 생산 공정의 폐기물인 폐유과 폐수의 활용이 가능한 것으로 나타났다.

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Improvement of Fouling in Membrane Separation Process for Leachate Treatment using Ultrasound(II) : Analysis of Membrane Materials, Solutes and Multi-ultrasonic Effect (초음파를 이용한 침출수 처리를 위한 막분리 공정의 막힘현상 개선(II) : 막의 재질, 용질과 복합초음파의 효과 분석)

  • Kim, Seok-Wan;Lim, Jae-Lim;Lee, Jun-Geol
    • Journal of Korean Society of Environmental Engineers
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    • v.28 no.2
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    • pp.207-215
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    • 2006
  • This study evaluated the effect of ultrasonic irradiation on reducing membrane fouling for the treatment of chemically treated leachate and biologically treated leachate. The experiments on improvement of membrane flux according to the membrane types(MF and UF) and membrane materials were performed with changing frequency(40 kHz and 120 kHz) and intensity(200 W and 400 W) of ultrasound in ultrasonic membrane separation apparatus which ultrasound can be periodically irradiated. Additionally, the effect of dual frequency ultrasound which 40 kHz md 120 kHz are irradiated simultaneously was evaluated. The improvement of membrane flux by periodical ultrasound irradiation was higher in microfiltration(MF) membrane than in ultrafiltration(UF) membrane. It was sustained more in the MF membrane of polyvinylidene fluoride(PVDF) than in that of polysulfon(PS). Ultrasonic improvement of membrane flux was different depending on the characteristics of target wastewater. It was sustainably maintained without reclogging using dual frequency ultrasound although the improvement of membrane flux was lower.

A Study on the Efficient Improvement Way of Tax Investigation System (세무조사제도의 효율적 개선방안)

  • Kim, Ju-Taek;Jung, Eun-Chul
    • Korean Business Review
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    • v.16
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    • pp.23-42
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    • 2003
  • Most of the taxes in Korea are collected using a voluntary reporting payment system that meets most financial requirements. However, many people are unaware of their tax liability, and legal forces to ensure payment of taxes are weak within the Korean social structure. Therefore, the tax system cannot depend only on people's awareness of their tax liability, and for these reasons the Korean government has been investigating a system for fair taxation and the administrative punishment for tax evasion. In addition, an improvement to the taxation system is strongly 'demanded in order to protect taxpayers' rights, and improve the efficiency and rationality of the system. In this study, I compare and analyze the problems related to each nation's tax investigation system, and then propose an improved plan for a tax investigation system in Korea. It is necessary to prescribe in the bylaws of the Office of National Taxation that the investigator's performance rating or incentives are not affected in any way by the tax investigator's actual records on tax collection, as this type of evaluation can easily lead to conflicts with the primary goals of the law or written constitution.

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Separation of $CH_4/CO_2/N_2$ Mixture by Pressure Swing Adsorption (PSA법을 이용하여 $CH_4/CO_2/N_2$ 혼합가스 중에서 메탄의 분리)

  • Cho, Woo-Ram;Jeong, Gu-Hyun;Shin, Young-Hwan;Yoo, Hee-Chan;Na, Byung-Ki
    • Clean Technology
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    • v.17 no.4
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    • pp.389-394
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    • 2011
  • A compact adsorption-based process for removal of carbon dioxide and nitrogen from natural gas has been discussed. Among the adsorption-based processes, especially, the pressure swing adsorption (PSA) process has been a suitable unit operation for the purification and separation of gas because of low operation energy and cost. A step cycle is made up of pressurization, feed, equalization, blowdown and rinse. In this work, the PSA process is composed of zeolite 13X and carbon molecular sieve (CMS) for removal of carbon dioxide and nitrogen from mixed gas containing $CH_4/CO_2/N_2$ (75:21:4 vol%). A CMS selectively removes carbon dioxide and a zeolite 13X separates nitrogen from methane. CMS is investigated experimentally due to the high throughput of the faster diffusing component ($CO_2$). The gas composition of top, bottom and feed tank was measured with the gas chromatography (GC) using TCD detector, helium as carrier gas and packed column for analysis of methane, carbon dioxide, and nitrogen.