Flexible FPD의 확산방지막으로 적용키 위한 상압 플라즈마 화학기상증착법을 이용한 $SiO_2$ 박막 증착에 관한 연구
-
- Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
- /
- 2007.08a
- /
- pp.92-92
- /
- 2007