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The Evaluation of Ceria Slurry for Blank Mask Polishing for Photo-lithography Process

  • Kim, Hyeok-Min;Gwon, Tae-Yeong;Jo, Byeong-Jun;Park, Jin-Gu
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2011.05a
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    • pp.37.2-37.2
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    • 2011
  • 반도체공정에서 Photo-lithography는 특정 광원을 사용하여 구현하고자 하는 패턴을 기판상에 형성하는 기술이다. 이러한 Photo-lithography 공정에서는 패턴이 형성되어 있는 마스크가 핵심적인 역할을 하며 반도체소자의 전체적인 성능을 결정한다. 이에 따라 Photo-lithography용 마스크에 사용되는 Blank 마스크는 Defect의 최소화 및 우수한 평탄도 등의 조건들이 요구되고 있다. 이러한 Blank 마스크 재료로 광원을 효율적으로 투과시키는 성질이 우수하고 다른 재료에 비해 열팽창계수가 작은 석영기판이 사용되고 있다. 석영 기반의 마스크는 UV Lithography에서 주로 사용되고 있으며 그 밖에 UV-NIL (Nano Imrpint Lithography), EUVL (Extreme Ultra Violet Lithography) 등에도 이용되고 있다. 석영기판을 가공하여 Blank 마스크로 제작하기 위해 석영기판의 Lapping/Polishing 등이 핵심기술이며 현재 일본에서 전량 수입에 의존하고 있어, 이에 대한 연구의 필요성이 절실한 상황이다. 본 연구에서는 Blank 마스크제작을 위한 석영기판의 Polishing 공정에 사용되는 Ceria Slurry의 특성 연구 및 이에 따른 연마평가를 실시하였으며 첨가제의 조건에 따른 pH/Viscosity/Stability 등의 물리적인 특성을 관찰하여 석영기판 Polishing에 효율적인 Ceria slurry의 최적조건을 도출했다. 또한, 조건에 따른 Slurry의 정확한 분석을 위해 Zeta Potential Analyzer를 이용하여 연마입자의 크기 및 Zeta Potential에 대한 평가를 실시한 후 연마제와 석영기판의 Interaction force를 측정하였다. 상기 실험에 의해 얻어진 최적화된 연마 공정 조건하에서 Ceria slurry를 사용하여 연마평가를 실시함으로써 Removal Rate/Roughness 등의 결과를 관찰하였다. 본 연구를 통해 반도체 photo mask 제작을 위한 Ceria slurry의 주요특성을 파악하고 석영기판의 Polishing에 효율적인 조건을 도출함으로써 Lithography 마스크를 효율적으로 제작할 수 있을 것으로 예상된다.

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Nanofabrication of InP/InGaAsP 2D photonic crystals using maskless laser holographic method (레이저 홀로그래피 방법과 반응성 이온식각 방법을 이용한 InP/InGaAsP 광자 결정 구조 제작)

  • 이지면;이민수;이철욱;오수환;고현성;박상기;박문호
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.15 no.4
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    • pp.309-312
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    • 2004
  • Two-dimensionally arrayed nanocolumn lattices were fabricated by using double-exposure laser holographic method. The hexagonal lattice was formed by rotating the sample with 60 degree while the square lattice by 90 degree before the second laser-exposure. The size and period of nanocolumns could be controlled accurately from 125 to 145 nm in diameter and 220 to 290 nm in period for square lattice by changing the incident angle of laser beam. The reactive ion etching for a typical time of 30 min using CH$_4$/H$_2$ plasma enhanced the aspect-ratio by more than 1.5 with a slight increase of the bottom width of columns.

The Cause of Secondary Explosion after Blasting (발파 후 2차 연소의 원인)

  • 이영호;이응소;정천재;윤종화
    • Explosives and Blasting
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    • v.21 no.1
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    • pp.85-94
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    • 2003
  • 발파후에 2차연소 또는 폭발(이하, 2차연소라 한다. )이 일어났다는 사실은 폭약이 폭발후에 어떤 가연성가스가 발생하고 그 가연성가스가 잔존하는 폭발열 또는 기타의 점화원에 의해 연소되었음을 의미한다. 폭약이 폭발하였을 때, 발생 가능한 가연성물질은 유리탄소, 일산화탄소, 수소 등으로 추정할 수 있는데 실험결과에서는 가연성물질의 주성분이 수소인 것으로 나타났다. 본 연구에서는 에멀존계 함수폭약이 산소평형, 알루미늄함량, 알루미늄형태와 크기 그리고 포장지의 두께에 따라 수소가 발생되는 양을 가스크로마토그라피를 이용하여 측정하였다. 상기의 열거한 요인들은 모두 수소발생량과 관계가 있는데, 이중에서도 가장 중요한 요인은 산소평형과 알루미늄의 함량인 것으로 나타났다. 한 예로 알루미늄이 15%가 포함되고 산소평형이 -10인 에멀존계 함수폭약은 폭발후에 19.4%의 수소를 함유하고 있는 후가스를 발생시켰으며 이 가스를 포집하여 공기중에 방출시키면서 성냥불을 가까이 하였더니 연소가 되었다. 따라서 에너지를 높이기 위하여 알루미늄의 함량을 높이고 산소평형을 지나치게 마이너스로 설계한다면, 2차연소는 언제든지 발생할 가능성이 있다고 판단된다. 알루미늄의 함량을 가능한 적게, 산소평형을 가능한 0에 가깝게 설계해야 만이 2차연소 현상을 방지할 수 있을 것이며 ㄸ한 최적의 설계뿐만이 아니라 정확한 제조와 품질검사도 2차연소 현상을 방지하는데 중요한 몫을 할 것으로 판단된다.

The Design of the Linear Power Amplifier using Analog Feedforward Linearizer for IMT-2000 Band (아날로그 Feedforward 선형화기를 이용한 IMT-2000대역 선형증폭기 설계)

  • Park, Ung-Hui;Lee, Gyeong-Hui;Gang, Sang-Gi
    • Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea TC
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    • v.39 no.6
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    • pp.285-291
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    • 2002
  • In this paper, the LPA(Linear Power Amplifier) using new analog feedforward linearizer for IMT-2000 frequency band(2110MHz∼2170MHz) is proposed and fabricated. The designed analog feedforward linearizer system possessing the characteristics of stable operation for input power variation is simple structure and small size. When two-tones in IMT-2000 frequency band are applied to an amplifier, this LPA have the average output power is about 30W and the IMD value is below about 60dBc without correcting the circuit. In camparision with an amplifier without feedforward system at the same output power, the supposed analog feedforward linear amplifier posseses improved the IMD characteristics of over 23dB.

Polymer Electrolyte Membranes for Flexible Electrochromic Device (플렉시블 전기변색 소자를 위한 고분자 전해질 멤브레인)

  • Lee, Ji-Hyeon;Kang, Moon-Sung
    • Membrane Journal
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    • v.30 no.5
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    • pp.333-341
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    • 2020
  • In this study, the optimum design conditions of a polymer electrolyte membrane for application to a flexible electrochromic device (ECD) were tried to be derived. Polyvinyl butyral (PVB) with excellent adhesive property and transparency was selected as the base polymer for the preparation of the electrolyte membrane, and adipate-based polymer was used as the plasticizer. As a result, it was confirmed that the most influential factors on the ECD performance were the ionic conductivity and permeability of the electrolyte membrane. In addition, it was found that the factor has a close relationship with the dissociation property of the lithium salt. Overall, the optimal ECD performance was achieved when LiTFSI salt having a large anion size among various lithium salts was dissolved in a content of about 25 wt.%.

Density Variation within Specimen as Affected by Vibration (진동으로 인한 모래 공시체내의 밀도변화에 관한 연구)

  • 장병욱
    • Geotechnical Engineering
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    • v.3 no.3
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    • pp.7-20
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    • 1987
  • To obtain meaningful data of the tests for cyclic loading triaxial test, cyclic loading simple shear test ; and Shake table studies, it is necessary to test uniformly densified specimens. However, there is still some question about the assumed uniform density within a specimen when subjected to the process of densification. A study is conducted to investigate the density variation It within the specimen and analyze the effect of various parameters during the process of vibratory densification. It is found that variation of the ideally graded sand having a homogeneous initial density results in large inhomogeneities within the specimen after vibration. The degree of density variation within the speimen becomes more pronounced by the gradation of sand, surcharge and the intensity of acceleration.

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Prediction of visual performance using contrast sensitivity function and modulation transfer function (대비감도함수와 변조전달함수를 이용한 시기능 예측)

  • Kim Sang Gee;Park Sung Chan
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.15 no.5
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    • pp.461-468
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    • 2004
  • A finite model eye of visual acuity 24/20 in emmertropia was presented. We determined the image intensity profile on retina using optical transfer function of model eye, and compared with clinical data. The retinal contrast sensitivity function based on the Stiles-Crawford effect, photopic response, diffraction, aberration, retinal contrast sensitivity, and pupil size is calculated. Visual acuity for human eye could be predicted by examining the modulation transfer function of a bar target and retinal contrast sensitivity function. This visual acuity was evaluated for pupil diameters ranging from 1 to 8 mm.

BRAINSTEM EVOKED RESPONSE AUDIOMETRY: LATENCY AND THRESHOLD IN NORMAL NEONATES (정상 신생아의 뇌간전위유발청각검사-전달 시간 및 역치)

  • 심윤주;김희남;김영명;차몽철;현승재;김경수
    • Proceedings of the KOR-BRONCHOESO Conference
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    • 1987.05a
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    • pp.9.1-9
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    • 1987
  • 뇌간유발청력검사는 최근 들어 신생아 및 영유아에 있어 청력 및 청신경로의 성숙(auditory maturation)정도를 파악할 수 있는 객관적인 진단 방법으로 평가되고 있다. 그러나 상기 검사결과는 측정계기의 종류 및 측정방법에 따라 다소 차이를 보일 수 있다. 우리나라에서는 아직 정상 신생아를 대상으로 뇌간유발청력검사에 대한 보고가 없는 실정이다. 이에 본 교실에서는 87년 3~4월에 Severance병원에서 출생한 정상 신생아 20명을 대상으로, 출생 후 16내지 69 시간내 두 차례에 걸쳐 뇌간유발 전달시간 및 뇌간유발 역치를 측정, 다음과 같은 결과를 얻었기에 보고하는 바이다. 1) 72.5 ㏈, 4KHz click에 대한 평균 절대적 latency는 각각 I(1.68), II(2.74), III(4.33), IV(5.71), V(6.77), Ⅵ(8.16), Ⅶ(9.85)였고 tone pip은 각각 I(2.04), II(3.04), III(4.60), IV(5.75), V(7.14), Ⅵ(8.54), Ⅶ(10.60) 이었다. 2) 평균 뇌간전위 유발역치는 29.5㏈ SPL 이었다. 3) 파형은 A형이 1.7%, 3형이 30.2%, C형이 45.7%, D형이 5.2%, E형이 1.7%, F형이 15.5%이었고, click과 tone pip, 자극음의 강도, ISI에 따른 차이가 없었다. 4) 제1소파에서 제5소파까지의 절대적 latency와 I- III, III-V,및 I-V의 상대적 latency에 있어서, 반복율, 자극음 종류 및 첫째날과 둘째날의 비교치에 있어서만이 선택적으로 유의한 차이가 발생하였으며, 자극음의 크기에는 차이가 나타나지 않았다.

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Join processing using Hash Index based on Ring Queue Buffer in DSMS (DSMS 에서 환형 큐 버퍼 기반의 해시 색인을 이용한 조인 기법)

  • Sang-Ki Kim;Yan Li;Sung-Ha Baek;Dong-Wook Lee;Gyoung-Bae Kim;Hae-Young Bae
    • Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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    • 2008.11a
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    • pp.389-392
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    • 2008
  • 유비쿼터스 환경에서 센서 데이터는 빠르고 연속적인 데이터 스트림 형태로 전송된다. 이러한 개별적인 데이터 스트림 정보를 연관되어 처리하기 위해 조인 연산이 필요하다. LWO, SWF 와 같은 기존 기법들은 Nested Loop Join 을 이용해 데이터 스트림 환경에서 조인 알고리즘을 제시하였다. 하지만 Nested Loop Join 을 사용하기 때문에 슬라이딩 윈도우의 크기에 따라 처리 속도가 영향을 많이 받고 XJoin 은 디스크 I/O 추가 비용이 필요하다. 제안 기법은 환형 큐 버퍼 기반의 해시 색인을 이용한 조인 기법은 환형 큐를 이용하여 데이터의 삽입, 삭제를 관리하고 해시 색인을 이용해 조인 연산을 처리 하여 제안 기법은 기존의 기법 보다 조인 연산을 보다 효율적으로 처리 할 수 있다.

Evaluation for Rock Cleavage Using Distribution of Microcrack Spacings (III) (미세균열의 간격 분포를 이용한 결의 평가 (III))

  • Park, Deok-Won
    • The Journal of the Petrological Society of Korea
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    • v.25 no.4
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    • pp.311-324
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    • 2016
  • The characteristics of the rock cleavage in Jurassic granite from Geochang were analysed. The evaluation for three quarrying planes and three rock cleavages was performed using the parameters such as (1) reduction ratio between the value of spacing and the value of length, (2) microcrack spacing frequency(N), (3) total spacing($1mm{\geq}$), (4) exponential constant(a), (5) magnitude of exponent(${\lambda}$), (6) mean spacing($S_{mean}$), (7) difference value($S_{mean}-S_{median}$) between mean spacing and median spacing($S_{median}$) and (8) density of spacing. Especially the close dependence between the above spacing parameters and the parameters from the spacing-cumulative frequency diagrams was derived. The discrimination factors representing three quarrying planes and three rock cleavages were acquired through these mutual contrast. The analysis results of the research are summarized as follows. First, the reduction ratios of frequency(N), mean value, median value, the above difference value($S_{mean}-S_{median}$) and density for three rock cleavages are in orders of G(grain, (G1 + G2)/2) < H(hardway, (H1 + H2)/2) < R(rift, (R1 + R2)/2), H < G $\ll$ R, H < G $\ll$ R, H < G < R and H < G $\ll$ R. The values of the above five parameters for three planes show the various orders of R'(rift plane) $\ll$ H'(hardway plane) < G'(grain plane), R' $\ll$ G' < H', R' < H' < G', R' < G' < H' and R' $\ll$ H' < G', respectively. Second, the values of (I) parameters(2, 3, 4 and 5) and (II) parameters(6, 7 and 8) are in orders of (I) H < G < R and (II) R < G < H. On the contrary, the values of the above two groups(I~II) of parameters for three planes show reverse orders. Third, to review the overall characteristics of the arrangement among the six diagrams, these diagrams show an order of R2 < R1 < G2 < G1 < H2 < H1 from the related chart. In other words, above six diagrams can be summarized in order of rift(R1 + R2) < grain(G1 + G2) < hardway(H1 + H2). These results indicate a relative magnitude of rock cleavage related to microcrack spacing. Especially, two parameters for each diagram, the above difference value($S_{mean}-S_{median}$) and mean spacing, could provide advanced information for prediction the order of arrangement among the diagrams. Finally, the general chart for three planes and three rock cleavages were made. From the related chart, three exponential straight lines for three rock cleavages show an order of R(R1 + R2) < G(G1 + G2) < H(H1 + H2). On the contrary, three lines for three planes show an order of H'(R2 + G2) < G'(R1 + H2) < R'(G1 + H1). Consequently, correlation of the mutually reverse order between three planes and three rock cleavages can be drawn from the related chart.