• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.08a
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• pp.92-92
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• 2011

지식경제부의 청정제조기반 산업원천개발사업의 일환으로 진행 중인 "초고진공펌프 개발" 과제 중 제 3 세부 과제인 "고진공펌프종합특성평가시스템 설계, 진단기술 개발" 과제에서 추진된 연구결과를 소개한다. 국내 초고진공펌프 개발 수준의 선진화를 위한 기본적인 초석 확립은 현존하는 모든 진공 발생 장치의 국제적 신뢰성이 있는 완벽한 성능평가의 구현에 있다고 할 수 있다. 크라이오펌프 및 복합분자펌프의 최종 상용화 단계에 진입하기 위한 목적으로 핵심부품의 진공, 기계적 특성평가, 운전상태 및 진공특성평가, 신뢰성 확보/공정대응성 평가를 위한 관련 기술 및 장치가 개발되었으며, 시작품 단계의 기 개발품을 평가 진단하는 사업 추진단계에 진입하고 있다. 현재 구축되고 있는 저진공/고진공펌프의 성능평가장치의 개요를 소개하면서 향후 크라이오 펌프 및 터보분자펌프의 개발 및 상용화 단계에서 필요한 국제적 규격 및 내부적 가이드라인을 기 수행되고 있는 측정 데이터베이스에 근거하여 제시하고자 한다. 또한 향후 2년간의 최종 상용화에 필요한 국제 신뢰성, 공정대응성 확보 등 핵심사업 추진내용 및 infra 구축의 상세설계 로드맵 초안을 고찰하고자 한다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.235-235
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• 2012

반도체/디스플레이 공정의 설치 layout의 단순화와 전체 공정 cost의 저감을 위하여 대용량, 고진공 성능의 진공시스템 수요가 증대되고 있다. 이로써 고진공 펌프 국산화의 일환으로 터보분자 펌프와 크라이오 펌프 개발이 진행 중이다. 개발 시제품의 최종 상용화 단계에 진입하기 위한 목적으로 핵심부품의 진공, 기계적 특성평가, 운전상태 및 진공 특성평가, 신뢰성 확보/공정대응성 평가를 위한 관련 기술 및 장치가 개발되었다. 본 연구에서는 터보분자펌프의 공정별 gas load 다변화에 따른 기계적 안정성과 작동 신뢰성의 확인을 위해 내구성 평가 장치를 설계/제작하였다. 상용화 제품의 성능 테스트를 통한 RPM, 소비전력, 압력 그리고 온도 등의 패턴을 확인하여 내구성 평가시스템의 신뢰성을 확인하고 터보분자펌프의 성능 특성 변화를 고찰하고자 한다. 본 연구는 지경부 산업원천기술개발사업 중 "초고진공펌프 개발" 사업의 제 3 세부과제인 "고진공펌프 종합특성평가시스템 개발(과제번호: 11201044)" 및 "스마트형 진공 배기 진단 제어 시스템 개발(과제번호: 11201038)" 과제에서 수행된 연구결과의 일부임.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.237-237
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• 2012

반도체 소자를 취급하는 반도체 산업은 여러 산업 중에서도 부가가치율이 높은 것의 하나이다. 반도체 공정은 산화막과 질화막은 각각 다양한 두께와 방법으로 제조되고 있으며 CVD, PEALD 이용한 증착 공정을 기반으로 하고 있다. 하지만 양산에서의 많은 문제 요소를 가지고 있다. 첫째, 양적인 실시간과 전구체의 정상상태를 확인 할 수 없으므로 인한 질 적인 저하등을 요소를 가지고 있으며 둘째, 양산 후 남은 전구체를 외관상의 변색, 점도 변화를 통해 변질을 확인하고 전구체를 교체함으로써 엄청난 경제적인 손실과 안정적인 공급에 어려움이 있다. 그러므로 본 연구에서는 reference 전구체와 공정에서 사용된 전구체를 이용하여 Vapor Pressure 측정과 FT-IR (Fourier transform-infrared), QMS을 이용하여 개발된 전구체의 기상 안정성 및 반응성을 실시간으로 진단하여 기존의 전구체와의 차별성을 확인하고 우수한 전구체를 선별하기 위한 연구를 진행하였다. 또한 변화에서의 분자 상태 변형을 진담함으로 인해 기업의 양산의 경제적인 손실을 줄일 수 있을 뿐만 아니라 성장 조건에 따라 전구체 박막 특성을 논의 할 수 있을 것이다.

• Journal of Korean Society of Occupational and Environmental Hygiene
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• v.19 no.1
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• pp.63-72
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• 2009

고령 근로자의 작업환경 실태와 건강검진 자료를 분석하여 그들의 건강한 생활과 삶의 질을 향상시킬 수 있는 정책의 기초자료를 마련하고자 시도되었다. 대상자는 부산, 경남지역에 소재하는 41개 사업장에서 유해인자에 노출되어 작업하는 공정에 있는 50세 이상 근로자 112명(남성 91명, 여성 21명)을 대상으로 소음, 분진, 유기용제, 중금속, 작업형태 및 작업강도 등을 측정, 분석하였으며, 건강검진 자료는 일반건강진단표를 이용하여 다음과 같은 결과를 얻었다. 1. 대상자의 평균연령은 54.9(남성 55세, 여성 54.7세) 세였으며, 평균근무기간은 8.7년이 였으며, 조사대상 사업장중 71.5%가 50인 이하의 근로자를 고용하고 있는 사업장이 였다. 2. 소음에 폭로 대상자 중 31.3%가 90dB(A)인 노출기준치을 초과하였으며, 그 외의 분진, 유기용제, 중금속 등의 노출기준치를 초과한 대상자는 없었다. 3. 조사대상자 중 9%는 청력이 비정상이였으며, 78.6%의 대상자는 경작업과 중등작업을 하였으며, 52.7%는 전신을 이용하여 작업하는 형태였다.

• Proceedings of the Korean Information Science Society Conference
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• 2007.10c
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• pp.480-484
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• 2007

일반적으로 x선 CT는 물체 투과율이 짧기 때문에 대형 산업공정 내부의 영상진단 시 대상체는 금속으로 구성되어 있으며 내부는 액체, 고체, 기체 등 고밀도 물질이 포함되어 있어 계측이 어렵다. 따라서 본 논문에서는 물체 투과율이 x선에 비해 긴 감마선을 사용하였다. 대형 산업공정 내부의 단면영상을 재구성하기 위하여 반복적인 영상재구성 방법의 가중치 함수를 비교하였다. 실험 결과를 통하여 감마 CT 영상에서 빔 통과 여부에 따른 가중치 함수보다 빔 길이나 면적에 의한 가중치 함수로 복원할 경우, 원 영상과 유사함을 확인하였다.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.14 no.11
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• pp.147-153
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• 1997

Fault diagnosis technique in machining system which is one of engineering techniques absolutely necessary to automation of manufacturing system has been proposed. As a whole, diagnosis process is explained by two steps: sensor data acquisition and reasoning current state of system with the given sensor data. Flexible disk grinding process implemented in milling machine was employed in order to obtain empirical manufacturing process information. Resistance force data during machining were acquired using tool dynamometer known as sensor which is comparably accurate and reliable in operation. Tool status during the process was analyzed using influnece diagram assigning probability from the statistical analysis procedure.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.12 no.7
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• pp.3302-3309
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• 2011

This study showed the reduced greenhouse gas(GHG) emission through GHG inventory establishment and process diagnosis for a response to climatic change. Also, it presented a direction for company's response to climatic change. Ulsan from its industrial complex has many energy-intensive companies such as petrochemistry, automobile and shipbuilding, and as we judged that the systematic reduction of GHG emission would make a considerable reduction of GHG emission in national dimension we executed this study from 10 companies. It showed the high rate of direction GHG emissions by its process that 5 of 10 companies calculated GHG emission and built its inventory. Also, in order to reduce energy and GHG, it produced about 227,554 million won of its economic effect and 50,740 ton/yr of its sparing effect.

• Proceedings of the KWS Conference
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• 2001.05a
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• pp.318-321
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• 2001

클래딩은 주요 산업분야에 내마모성, 내부식성의 향상을 위해 사용되고 있다. 그러나 클래딩 공정에서는 모재와 클래딩 재료의 물리적, 화학적 특성의 차이와 여러 가지 공정 변수의 영향으로 제품의 사용에 치명적인 손상을 줄 수 있는 균열, 슬래그 개재물, 기공등의 불연속이 발생하기 쉽다. 본 연구에서는 클래딩 시에 발생되는 불연속을 실시간으로 검출하는데 아주 우수한 검출능력을 갖고 있는 비파괴 검사 방법인 음향방출시험을 적용하고 검출된 신호에 대한 주파수 분석과 2차원 위치표정을 실시하여 균열, 기공 등의 불연속을 검출하였고 이를 주사전자현미경을 통하여 확인하였다. 음향방출법에 의해 클래딩부에서 발생하는 결함에 대한 실시간 평가가 가능함을 입증하였으며, 특히 다층 클래딩이나 넓은 면적의 클래딩시에 불연속을 가장 신속하게 감지할 수 있으므로 이를 생산공정에 활용한다면 클래딩 또는 용접부 품질감시를 위한 효과적인 방법이 될 것이다.

• Journal of the Korea Society of Computer and Information
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• v.18 no.3
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• pp.107-118
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• 2013

In this paper, we developed the semiconductor monitoring system for the etching process. Around the world, expert companies are competing fiercely since the semiconductor industry is a leading value-added industry that produces the essential components of electronic products. As a result, many researches have been conducted in order to improve the quality, productivity, and characteristics of semiconductor products. Process monitoring techniques has an important role to give an equivalent quality and productivity to produce semiconductor. In fact, since the etching process to form a semiconductor circuit causes great damage to the semiconductors, it is very necessary to develop a system for monitoring the process. The proposed monitoring system is mainly focused on the dry etching process using plasma and it provides the detailed observation, analysis and feedback to managers. It has the functionality of setting scenarios to match the process control automatically. In addition, it maximizes the efficiency of process automation. The result can be immediately reflected to the system since it performs real-time monitoring. UI (User Interface) provides managers with diagnosis of the current state in the process. The monitoring system has diverse functionalities to control the process according to the scenario written in advance, to stop the process efficiently and finally to increase production efficiency.

• Journal of Radiation Protection and Research
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• v.33 no.1
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• pp.35-40
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• 2008

A distillation tower is one of the important facilities which separates and refines a crude oil stream according to certain boiling points. Its operation efficiency can affect the productivity of a refinery substantially. The objective of this study is to elucidate some operational information on the internal conditions of a distillation tower from a measurement of density profile by using a sealed gamma-ray source and a radiation detector. Gamma radiation counts were measured by a BGO detector positioned diametrically outside the tower-wall, opposite to the gamma source(Co-60) as the detector and the source were lowered concurrently. From the results, structural abnormality of the trays was not found inside the tower. Considering the flow distribution patterns, however, a vapor phase was dominantly formed at the upper part of the tower and a liquid phase at the lower part. From the gamma scanning of the distillation tower, it is anticipated that the gamma absorption technique can be used as an important tool for confirming the structural soundness of trays and investigating flow distribution in refinery facilities.