• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2012.08a
• /
• pp.241-241
• /
• 2012

$SF_6$와 $NF_3$는 디스플레이 장치의 제조공정 중 $SiN_x$박막을 건식식각공정에서 사용되고 있다. 이 논문에서는 이 두 가스에 대한 건식식각의 특성을 관찰하기 위해서 CCP-RIE를 이용하여 가스와 산소의 유량비($SF_6$/$O_2$>, $NF_3$/$O_2$), 압력, 전력 비(13.56 MHz/2 MHz)를 변화시키는 다양한 공정조건하에서 실험을 진행하였다. 이 실험에서 $NF_3$를 이용한 $SiN_x$ 박막 건식식각률이 $SF_6$를 이용한 건식식각률보다 모든 공정 조건하에서 높게 나타났다. 불소원자의 OES 강도와 V/I probe 를 이용하여 건식식각률과 비례하는 상관관계 변수를 발견하였고 이를 플라즈마 변수와 관련하여 해석하였다.

• Proceedings of the ESK Conference
• /
• 1998.04a
• /
• pp.124-130
• /
• 1998

본 연구의 목적은 트레드밀 운동시 신체에 가해지는 중량별 부하가 심박수, 환기량, 호흡수, 이산화탄 소배출량, 산소섭취량, 체중당산소섭취량, 호흡교환률 등에 어떠한 영향을 미치는 지를 측정하여 훈련이 나 운동처방에 도움이 될 수 있는 자료를 얻고자 하였다. 피검자들은 성인 남녀 각 5명씩을 대상으로 하였으며, 신체 중량별 부하는 남자에게 안정시, 무부하, 5kg부하, 10kg부하, 15kg무하로 하였으며, 여자 에게는 안정시, 무부하, 5kg부하, 10kg부하로 구분하여 측정하였다. 운동부하는 트레드밀(TC-1200, Technogym, Italy)을 이용하여 중량별로 4km/hr로 3분간 실시하였다. 단계별 운동부하에 의한 인체에 미치는 호흡순환계의 변화를 조사하기 위해 호흡순환계의 변인을 측정 분석한 결과, 다음과 같은 결론 을 얻었다. 남자그룹의 경우는 심박수, 환기량, 이산화탄소배출량, 산소섭취량, 체중당산소섭취량, 호흡 교환률에 대한 중량별 평균차의 검증에서 안정시와 무부하, 5kg부하와 10kg부하, 10kg부하와 15kg부하 사이 에는 유의한 차이가 나타났고, 무부하와 5kg부하 사이에서는 유의한 차이가 없었다. 호흡수에있어서는 10kg 부하와 15kg부하 사이에서만 유의한 변화가 나타났다. 여자그룹의 경우는 심박수, 환기량, 이산화탄소배출 량에 대한 중량별 평균차의 검증에서는 안정시와 무부하, 무부하와 5kg부하, 5kg부하와 10kg부하 사이에서 유의한 변화가 나타났으며, 산소섭취량과 제중당산소섭취량에 있어서는 안정시와 무부하, 무부하와 5kg부하 사이네서만 유의한 변화가 나타났다. 또한 호흡교환률과 호흡수에 있어서는 안정시와 무부하 사이에서만 유의한 변화가 나타났으며, 무부하와 5kg부하, 5kg부하와 10kg부하 사이에는 유의한 차이가 없었다. 이와 같은 결과를 종합해 보면 남자에게는 걷기시에 단계별 무게부하가 호흡순환계에 영향을 미친다고 볼 수 있 으나, 5kg까지의 부하는 호흡순환계에 영향을 미치지 않고 일을 수행할 수 있음을 알 수 있다. 그리고 여자에게는 걷기시에 단계별 무게부하가 운동시 심박수와 환기량, 이산화탄소 배출량에는 영향을 미치고 호흡 교환률과 호흡수에는 영향을 미치지 않음으로보아, 여자에게는 걷기시에 단계별 무게 부하가 호흡순환계에 영향을 받고있음을 알 수 있다.

• Economic and Environmental Geology
• /
• v.36 no.1
• /
• pp.9-15
• /
• 2003

Two piston cores, obtained from the southwestern Ulleung Basin in East Sea, were analyzed to study the geochemical characteristics of the late Quaternary sediments and to detect any changes in sedimentary environment. The results show that the capacity of Total Organic Carbon is remarkably higher (average 1.8%) than that known from general open-sea. According to tephrochronology from known eruption ages, the sedimentation rates are high, ranging from 12.1 to 14.9 cm/kyr. The ratios of nitrogen and TOC (average 6.18-7.42) imply that the organic matter in the study area would be of oceanic origin. The correlation between sedimentation rates and sulfur contents suggests that the study area may be on the whole anoxic and somewhat high in primary productivity. During the Termination 1, inflows of organic matters were high. The sedimentary environments are characterized by rapid rates of sedimentation, and high anoxic values were compatible with accumulation of organic matters.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2012.08a
• /
• pp.164-164
• /
• 2012

저진공 (＞100 mTorr)에서 냉음극 변압기 전원 소스를 이용하여 플라즈마를 발생시키는 시스템을 개발하였다. 또한 이 장치를 이용하여 Tetraethylorthosilicate (TEOS)를 기화시켜 이산화규소 ($SiO_2$) 박막 증착 기술을 연구하였다. 공정 압력은 400~1,000 mT이었다. 증착된 박막의 박막 두께, 굴절률 등의 측정을 실시하였다. 결과를 요약하면, 플라즈마 공정 압력이 증가함에 따라 박막 증착 속도는 약 200~300 A/min이었다. 또한 전압이 1,100에서 2,100 V로 증가함에 따라 산화막의 증착 속도는 약 300에서 40 nm/min으로 증가하였다. TEOS만을 사용하였을 때 굴절률은 약 1.5~1.6정도였다. 그러나 TEOS에 산소를 추가하면 자연 산화막의 굴절률인 1.46을 쉽게 얻을 수 있었다. 초기 연구 결과를 정리하면 냉음극 변압기 플라즈마 장치는 향후 실용적인 산화막 플라즈마 증착 연구 장치로 사용될 수 있을 것으로 생각된다.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
• /
• 2000.02a
• /
• pp.70-71
• /
• 2000

Ge이 도핑된 실리카 광도파로 코어는 GeO$_2$분자의 산소결핍에 의하여 248nm의 파장을 갖는 자외선에 대해서 광감응성을 가지게 된다. 따라서 248nm 파장의 레이저를 간섭시켜 조사할 경우, Ge가 도핑되지 않은 overcladding 부분은 투과하고 간섭 패턴의 에너지 분포에 따라 코어의 굴절률이 주기적으로 변화한다. 이 주기적인 굴절률 변화는 잘 알려진 광학적 브래그 격자(Bragg grating)의 역할을 하게된다. 자외선 레이저를 이용하여 영구적인 굴절률 변화를 코어 내부에 형성시키는 방법으로는 홀로그램법과 위상 마스크를 이용하는 방법, 그리고 단일 슬릿을 이용하는 방법등이 있다[1][2]. (중략)

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
• /
• v.37 no.9
• /
• pp.847-854
• /
• 2013

The objective of this study is to experimentally investigate the mixed flow and oxygen transfer characteristics of a horizontally injected aeration process using an annular nozzle ejector. The flow rate ratio, pressure ratio and ejector efficiency are calculated using the measured flow rate and pressure with the experimental parameters of the ejector pitch and primary flow rate. The visualization images of mixed flow issuing from the ejector are analyzed qualitatively, and the volumetric oxygen transfer coefficients are calculated using the measured dissolved oxygen concentration. The mixed flow behaves like a buoyancy jet or horizontal jet owing to the momentum of primary flow and air bubble size. The buoyancy force of the air bubble and the penetration of mixed flow are found to be important parameters for the oxygen transfer rate owing to the contact area and time of two phases.

• Journal of Korean Society of Environmental Engineers
• /
• v.33 no.12
• /
• pp.868-873
• /
• 2011

Oxygen transfer rate generally determines the performance of an aerobic wastewater treatment process that treats high strength wastewater such as food wastewater, animal wastewater and landfill leachate. In this paper, OUR and $K_L{\cdot}a$ were evaluated by using Jet Loop Reactor (JLR) according to the concentration of a mixed liquor volatile suspended solid (MLVSS), oxygen (air) flow rate and energy input as the variable of the operating conditions. Also, a nonlinear regression model was proposed by the statistical methods with the calculated $K_L{\cdot}a$. As a results, in case of applying the high strength wastewater which has to maintain high MLVSS, the energy input and the air flow rate are major parameters oxygen transfer rate in JLR. Finally, the final nonlinear regression model had been developed as a function of E/V, $Q_g$, and ${\mu}_c$.

• Proceedings of the Korea Society for Energy Engineering kosee Conference
• /
• 1994.11a
• /
• pp.17-22
• /
• 1994

오류역전파 신경망을 인산형 연료전지의 조업변수인 산소 및 수소 유량, 작동온도에 대하여 학습시켜 연료전지 모델을 구성하였다. 또한 구성된 모델을 이용하여 다양한 조업조건에서의 단위전지 성능을 예측하여 이를 실험결과와 비교하였으며, 학습된 신경망을 ASPEN PLUS의 단위공정으로 도입하여 50kW 출력의 연료전지 공정을 구성한 후 조업변수에 대한 영향을 살펴보았다. 3개의 층으로 구성된 오류역전파 신경망은 학습단계상수와 모멘텀이 각각 0.7 및 0.9인 경우 단위전지 성능곡선을 가장 정확히 학습하였으며, 이에 의하여 구성된 신경망 모델은 수소 및 산소의 유량, 온도의 변화에 따른 단위전지 성능곡선의 변화를 정확히 예측하였다. 연료전지 전체공정의 모사에서는 개질기의 경우 $600^{\circ}C$의 상압에서 수증기/탄화수소 비율이 2.6일 때, 연료전지의 경우 작동온도가 190~20$0^{\circ}C$일 때 연료전지의 출력이 최대값을 나타내었으며, 단위전지의 전기화학적 효율은 약 45%, 수소이용률은 약 61%, 발전시스템 전체의 효율은 18%이었다.

• Journal of Biomedical Engineering Research
• /
• v.24 no.4
• /
• pp.267-273
• /
• 2003

The present study attempted to observe what changes the supply of highly concentrated (30%) oxygen cause to people's ability of visuospatial cognition, compared to air of normal oxygen concentration (21%). This study sampled eight male university students (the average age : 23.5) as subjects for functional Magnetic Resonance Imaging (MRI) study It also developed equipment that supplies 21% and 30% oxygen) at a constant rate of 8L/min. Two questionnaires containing 20 questions were developed to measure the ability of visuospatial cognition, and accuracy was calculated from the result of task performance. The experiment paradigm consisted of the run conducting tasks at 30%'s concentration of oxygen and another run at 21%'s concentration of oxygen. Each run was composed of four blocks and each block included eight control tasks and five visuospatial taks. 3T MRI was used and fMRI was obtained through the single-shot EPI method. The activation in the occipital-associated area, bilateral superior parietal lobes, bilateral inferior parietal lobes. bilateral precuneus, bilateral postcentral gyri, bilateral middle frontal gyri, bilateral inferior frontal gyri, bilateral medial frontal gyri, bilateral superior frontal gyri, bilateral cingulate gyri was significantly increased at the 30%'s concentration of oxygen rather than 21%'s. Furthermore, the result of task performance showed the accuracy increased at 30%'s concentration of oxygen rather than 21%'s. From the result of this study, it is concluded that the supply of highly concentrated oxygen has a positive effect on the ability of visuospatial cognition.

• KSBB Journal
• /
• v.23 no.6
• /
• pp.525-528
• /
• 2008

In order to compare the germination and growth rate of the sprouts soaked in highly concentrated oxygen water, it with specific amounts of oxygen dissolved was produced in a high pressure reactor by pressuring oxygen. The sprouts were observed after being soaked in $20^{\circ}C$ oxygen water with 20, 30, 40, 50 ppm of oxygen dissolved each. Results of ten days later indicate that the final germination rate of the sprout soaked in 50 ppm oxygen water was $24.6{\sim}28.6%$ higher than that of the sprout soaked in distilled water. The final growth length also measured 6-7 mm higher than the sprout soaked in distilled water, demonstrating that enough supply of oxygen to the sprout induces stability and efficiency in its growth.