Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2012.08a
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- Pages.241-241
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- 2012
SF6와 NF3를 이용한 SiNx의 건식식각특성과 관련된 변수에 대한 연구
- O, Seon-Geun ;
- Park, Gwang-Su ;
- Lee, Yeong-Jun ;
- Jeon, Jae-Hong ;
- Seo, Jong-Hyeon ;
- Lee, Ga-Ung ;
- Choe, Hui-Hwan
- 오선근 (한국항공대학교 전자 및 정보통신공 컴퓨터공학부) ;
- 박광수 (한국항공대학교 전자 및 정보통신공 컴퓨터공학부) ;
- 이영준 (한국항공대학교 전자 및 정보통신공 컴퓨터공학부) ;
- 전재홍 (한국항공대학교 전자 및 정보통신공 컴퓨터공학부) ;
- 서종현 (한국항공대학교 재료공학과) ;
- 이가웅 (한국항공대학교 전자 및 정보통신공 컴퓨터공학부) ;
- 최희환 (한국항공대학교 전자 및 정보통신공 컴퓨터공학부)
- Published : 2012.08.20
Abstract
Keywords