• Title/Summary/Keyword: 빔 설계

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Design and Analysis of a Laser Lift-Off System using an Excimer Laser (엑시머 레이저를 사용한 LLO 시스템 설계 및 분석)

  • Kim, Bo Young;Kim, Joon Ha;Byeon, Jin A;Lee, Jun Ho;Seo, Jong Hyun;Lee, Jong Moo
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.24 no.5
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    • pp.224-230
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    • 2013
  • Laser Lift-Off (LLO) is a process that removes a GaN or AIN thin layer from a sapphire wafer to manufacture vertical-type LEDs. It consists of a light source, an attenuator, a mask, a projection lens and a beam homogenizer. In this paper, we design an attenuator and a projection lens. We use the 'ZEMAX' optical design software for analysis of depth of focus and for a projection lens design which makes $7{\times}7mm^2$ beam size by projecting a beam on a wafer. Using the 'LightTools' lighting design software, we analyze the size and uniformity of the beam projected by the projection lens on the wafer. The performance analysis found that the size of the square-shaped beam is $6.97{\times}6.96mm^2$, with 91.8 % uniformity and ${\pm}30{\mu}m$ focus depth. In addition, this study performs dielectric coating using the 'Essential Macleod' to increase the transmittance of an attenuator. As a result, for 23 layers of thin films, the transmittance total has 10-96% at angle of incidence $45-60^{\circ}$ in S-polarization.

Structural Optimization for LMTT-mover of a Crane (크레인 LMTT용 이동체의 구조최적설계)

  • Lee K.-H.;Min K. A.;PARK H. W.;Han D. S.;Han G. J.
    • Journal of Navigation and Port Research
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    • v.29 no.5 s.101
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    • pp.415-420
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    • 2005
  • LMTT (Linear Motor-based Transfer Technology) is the horizontal transfer system for yard automation, which has been proposed to take the place of AGV (Automated Guided Vehicle) in the maritime container terminal. The system is based on PMLSM (Permanent Magnetic Linear Synchronous Motor) that consists of stator modules on the rail and shuttle car. It is desirable to reduce the weight of LMTT in order to control the electronic devices with minimum energy. In this research, structural optimization for a mover of shuttle car is performed to minimize the weight satisfying design criteria. The objective function is set up as weight. On the contrary, the design variables are transverse, longitudinal and wheel beams' thicknesses and its height, and the constraints are considered as strength and stiffness.

A Study on the Reverse Link Beamforming for the WCDMA System (WCDMA역방향 링크에 대한 빔포밍 적용에 관한 연구)

  • 이재식;김종윤;장태규;김재화
    • Proceedings of the IEEK Conference
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    • 2001.06a
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    • pp.45-47
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    • 2001
  • 본 논문은 WCDMA 시스템의 역방향 링크에서의 빔포밍 적용에 관하여 기술하였다. 제안된 빔포밍 구조는 제어채널의 파일럿 심볼을 이용한 빔포밍 계수계산과 데이터 채널에 적용하는 분리구조를 가지고 있다. 적응 빔포밍의 대표적 방식인 LMS 알고리즘과steering 알고리즘을 적용하여 성능 분석과 시뮬레이션을 수행하였으며, 다양한 환경 변수에 따른 시뮬레이션 결과는 빔포밍 알고리즘의 구현과 설계에 있어 중요한 지침을 주리라 기대된다.

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전자빔을 이용한 미세형상 패턴성형용 S/W의 개발

  • 강재훈;송준엽;이승우;박화영
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 2004.05a
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    • pp.243-243
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    • 2004
  • 상용화된 주사식 전자현미경(SEM)을 기본 구조로 하는 가공 시스템을 구축하여 전자빔(Electron beam)을 이용한 초미세 패턴(Nano pattern) 등 형상의 직접 성형, 혹은 직접 묘화(Direct writing) 가공을 수행하기 위해서는 크게 분류하여 연속적으로 스캐닝되는 전자빔을 요구에 따라 적절하게 극히 짧은 시간 내에 개폐하는 빔 블랭커(Beam blanker)와 효율적으로 초미세 패턴 등의 형상을 설계ㆍ가공하기 위한 전용 S/W의 두 가지 요소가 반드시 적용되어야 한다.(중략)

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A Study on the Reverse Link Beamforming for the WCDMA System (WCDMA 역방향 링크에 대한 빔포밍 적용에 관한 연구)

  • Lee, Jae-Sik;Kim, Chong-Yun;Chang, Tae-Gyu
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2001.07d
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    • pp.2502-2504
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    • 2001
  • 본 논문은 WCDMA 시스템의 역방향 링크에서의 빔포밍 적용에 관하여 기술하였다. 제안된 빔포밍 구조는 제어채널의 파일럿 심볼을 이용한 빔포밍 계수 계산과 데이터 채널에 적용하는 분리구조를 가지고 있다. 적응 빔포밍의 대표적 방식인 LMS 알고리즘과 steering 알고리즘을 적용하여 성능 분석과 시뮬레이션을 수행하였으며, 다양한 환경 변수에 따른 시뮬레이션 결과는 빔포밍 알고리즘의 구현과 설계에 있어 중요한 지침을 주리라 기대된다.

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Closed Drift Ion Source 설계를 위한 전극 구조와 자장세기에 따른 방전 특성 연구

  • Kim, Gi-Taek;Lee, Seung-Hun;Gang, Yong-Jin;Kim, Jong-Guk
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2014.02a
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    • pp.216.1-216.1
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    • 2014
  • Closed drift ion source는 그 특성으로 인하여 강판 표면처리, 금속 표면 산화막 형성, 폴리머 혹은 기타 표면 개질 등 다양한 분야에서 사용이 되고 있다. 다양한 환경에서 사용 되는 소스의 특성으로 인하여 각기 다른 공정에 대한 최적의 특성이 요구 되며, 이러한 공정 환경에 맞춘 소스를 설계하기 위해서 ion source내 전극의 구조 및 자기장 세기 등 이온소스의 구조적 특성에 대한 연구가 필요하게 된다. 본 연구에서는 선형 이온소스의 구조 설계를 위한 실험을 소형(이온빔 인출 슬릿 직경: 60 mm) 이온빔 인출 장치를 제작하여 전극 구조에 따른 방전 특성을 우선적으로 평가를 실시하여 소형 이온빔 인출 장치에서 도출된 결과를 바탕으로 0.3 m급 linear closed drift ion source 설계에 대한 변수를 조사 하였다. 실험은 양극-음극(C-A) 간 간격 및 음극 슬릿(C-C) 간격 그리고 자기장 세기 조건에서 방전 전류 및 인출 이온빔 전류량 측정하였으며, 이 결과를 전산모사 결과와 비교 하였다. 방전전압 1~5 kV, 가스유량 10~50 sccm 조건에서 Ar 이온빔 방전 특성을 평가한 결과, 양극-음극(C-A) 간격이 넓을수록, 음극-음극(C-C) 간격이 좁을수록 방전 전류량이 증가함을 확인 하였다. 또한, 공정 가스 압력 및 자기장 세기 변화에 따른 1~5 kV의 방전 전압에 대한 방전 특성의 관찰 결과, 압력 및 자기장 변화에 따라서 방전 전류의 변화를 관찰 할 수 있었으며, 이에 대한 결과를 통하여 이온 소스 구조 내부에서의 방전 영역에 대한 압력과 자기장 세기에 대한 영향을 분석 할 수 있었다.

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Beam Steering Antenna Using Microstrip Patch with U-Slot for Wearable Fabric Applications (의복용 U-슬롯을 갖는 빔 조향 마이크로스트립 안테나)

  • Ha, Sang-Jun;Jung, Chang-Won
    • The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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    • v.22 no.8
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    • pp.754-760
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    • 2011
  • Reconfigurable beam steering using microstrippatch antenna with U-slot is proposed for wearable fabric applications. The proposed antenna is manufactured on a fabric substrate, and designed to steer the beam directions at the operation frequency of 6.0 GHz. The U-shaped slot and the indirect feeding-techniques are utilized in designing the proposed antenna. By the configuration of two artificial switches($S_0$, $S_1$, $S_2$) in between the indirect feed and the antenna patch, the antenna has three beam directions. The maximum beam directions are steerable in the yz-plane(${\theta}=0^{\circ}$, $30^{\circ}$, $331^{\circ}$), and the overall HPBW is $115^{\circ}$. The measured peak gains are 6.11~6.69 dBi.

Unified S/W Tool Implementation for the Optimized Beam Design and Matching Circuit formation (최적 빔 설계 및 정합회로 구성을 위한 S/W Tool 구현)

  • LEE Hyun-Sung;CHOI Nakjin;SONG Joon-il;LIM Jun-Seok;SUNG Koeng-Mo
    • Proceedings of the Acoustical Society of Korea Conference
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    • spring
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    • pp.417-420
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    • 2002
  • 수중 음향 탐지 시스템에서 빔 형성 기법 및 개별 센서에 대한 정합회로의 설계는 실제 시스템 설계 시 시스템의 성능을 결정하는 중요한 요소이다. 본 논문에서는 이 두 가지 기법을 통합하고 있으면서 일반 사용자들도 쉽게 최적 빔 설계를 통한 가중치를 구하고 또 개별 소자에 대한 센서 임피던스 정합회로를 설계할 수 있도록 해주는 통합 S/W를 구현하였다. 본 프로그램을 이용하여 최적의 가중치를 구하고 그 가중치를 가지는 개별 센서의 정합회로를 일괄적으로 설계할 수 있다. 앞으로도 실제 사용자로부터 의견을 수렴하여 계속 성능을 보완할 예정이며 교육용이나 실제 산업용으로 사용이 가능할 것으로 생각된다.

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An Analysis on the Properties of Beam Coupling by Using Gaussian Beam Propagation Theory (가우시언 빔 전송 이론을 이용한 빔 결합 특성 해석)

  • Han, Seog-Tae;Kang, Jin-Man;Lee, Jeong-Won;Je, Do-Hyung;Jung, Moon-Hee;Kim, Soo-Yeon;Wi, Seog-Oh
    • The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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    • v.21 no.11
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    • pp.1324-1333
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    • 2010
  • In this paper, three kinds of beam coupling losses which occur in a quasi-optics circuit for millimeter wave receiver system have been intensively investigated. First, the beam coupling losses which are caused by mismatch of beam waists radii and their positions between those of one and the other have been evaluated. It shows that beam coupling losses due to mismatch of beam waists radii and their positions between two quasi-optics circuits can be minimized if beam waist radius is chosen as larger than 3 times the operation wavelength. Second, the beam coupling losses have been studied when the axis of propagation of one beam is tilted with respect to that of the other beam. It is noted that smaller beam waist radius results in greater tolerance to tilts and angular misalignments. Third, the beam coupling cases in which two beams are offset if their axes of propagation are parallel but one is displaced relative to the other have been investigated. It is confirmed that beam waists radii with larger than 3 times operation wavelength are less sensitive to lateral offsets.

Fs-THz beam line electron accelerator of pulse modulator design and fabrication (펨토 초-테라헤르츠 빔 라인용 펄스 모듈레이터의 설계와 제작)

  • Son, Yoon-Kyoo;Kwon, Sei-Jin;Suh, Jae-Hak;Jang, Sung-Duck;Kang, Heung-Sik;Lee, Kyung-Tae;Ro, Sung-Chae
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2008.07a
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    • pp.1322-1323
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    • 2008
  • 기존의 펨토 초 레이저를 이용하여 발생시킨 테라 헤르츠 광원의 한계를 극복하기 위하여 대용량의 가속기를 이용한 테라 헤르츠 광원의 발생에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다. 포항방사광 가속기연구소에서도 펨토 초 테라 헤르츠 빔을 이용한 분광학적인 방법을 사용하여 단백질 접힘과 DNA-단백질 간 상호작용, 화학적, 생물학적인 반응 동력학 등에 관한 연구와 영상 기술개발 등을 할 계획을 가지고 펨토초 테라 헤르츠 빔 라인을 건설 중에 있다. 펨토 초-테라 헤르츠 빔 라인의 마이크로웨이브를 가속하는 장치에 사용되는 전원장치의 설계와 제작 및 시험과정을 외국기술에 의존하지 않고 순수 국내기술로 실현하였다. 본 논문에서는 펄스 모듈레이터의 설계와 실험결과를 보이고자 한다.

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