• Title/Summary/Keyword: 비상보호시스템

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Failure analysis of a turbo molecular pump in semiconductor equipments (반도체 장비에서 터보 분자 펌프의 파손 사례 연구)

  • Jeong, Jin-Yong;Ju, Jeong-Hun;O, Sam-Gyun
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2018.06a
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    • pp.120-120
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    • 2018
  • 반도체 소자나 디스플레이 패널 제조 공정에 가장 많이 사용되는 진공 펌프인 터보 분자 펌프는 오일을 사용하지 않고, 설치 방향이 자유로우며 넓은 작동 압력 영역을 가지고 있어서 고가임에도 불구하고 점점 더 사용 영역을 넓혀 가고 있다. 상하의 두 곳에 회전축을 지지하는 베어링이 필요한데, 기계식 금속 베어링을 채용하는 경우에는 반드시 윤활유를 공급해 주어야 하고, 고온, 부식성 또는 산화성 가스의 배기 시에는 퍼지 가스로 비활성인 질소나 알곤등을 이용하여 보호를 해주어야 한다. 반면, 자기 베어링을 채택한 모델은 윤활의 걱정에서 자유로울 수 있기 때문에 채용이 늘어나고 있다. 동일극의 반발력이나 반대극의 인상력을 이용한 구조를 갖게 되는데 갑작스러운 입구 쪽 압력의 증가 시에는 자석 끼리 부딪치는 일이 발생하고 이로 인해서 로터 모듈 전체에 큰 손상을 갖게 되므로 한 곳 정도에 비상용 터치 다운 베어링을 기계식으로 윤활제 없이 설치하기도 한다. 기본적으로 자기 베어링 방식은 로터 모듈의 부상과 제어를 위해서 3축 또는 5축 제어를 하게 되는데 여기에는 전자석의 전류를 미세하게 조정하여 피드백 하는 시스템을 활용하기 때문에 외부에서의 자기장이 일정값 이상 침투하게 되면 제어 회로의 기능에 문제를 일으키게 된다. 또한 축 방향에 수직인 자기장의 강도가 높아지면 고속으로 회전하는 금속 블레이드가 자속을 자르게 되므로 표면에 와전류가 발생하여 문제가 된다. 터보 분자 펌프는 회전자와 고정자 간격이 1 mm 이내로 작아서 약간의 진동이라도 발생하면 회전자와 고정자 간에 충돌이 일어나고 이는 곧 파손으로 이어진다. 그림 1에는 파손 원인 분석을 위한 회전자 모듈의 수치 해석용 모델의 일부를 나타내었고, 그림 2에는 실제로 외부 자기장에 의한 파손이 발생한 사례의 자기 베어링 모듈의 사진을 나타내었다. 본 발표에서는 외부 자기장의 형태에 따라 제어 자기장에 미치는 영향을 CFD-ACE+(ESI corp)를 활용하여 해석하였다.

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울진 3&4호기 CFMS 화면설계의 인간공학적 검토

  • 정광태;이용희
    • Proceedings of the ESK Conference
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    • 1996.10a
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    • pp.171-178
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    • 1996
  • CFMS(Critical Function Monitoring System)는 원자력발전소의 비상시에 운전원에게 보조장보를 제공하는 지원시스템이다. 본 연구에서는 원자력발전소 울진 3&4호기 CFMS의 화면설계에 대한 인간 공학적 검토를 수행하였다. CFMS에 대한 규제 및 법규를 만족시키는 것과 CFMS 화면설계가 운전원에게 편의성을 제공할 수 있는지에 대한 인간공학적 타당성 평가의 사례를 제시하고자 한다. 본 연구에서는 인간공학적 검토의 공식적인 체계를 설정하기 위하여, CFMS 설계에서 필요한 인간공학 업무를 규정하고 수행절차를 기술하는 인간공학 프로그램 계획 (Human Factors Engineering Program Plan; HFEPP)과 설계평가의 방법과 업무 내용을 기술하는 확인 및 검증 프로그램 계획(Human Factors Engineerign Verification and Validation Plan; HFE V&V Plan)을 개발하였다. CFMS 설계에 대한 인간공학적 확인 및 검증을 위하여 CFMS의 정보 가용성 (information availability)과 화면 적합성 (display suitability)을 확인하였다. 정보 가용성의 확인은 CFMS 설계 요건서에서 정의된 정보를 중심으로 한 필요정보의 목록과 CFMS 화면상에서 제공되는 정보의 목록을 비교함으로써 수행되었다. 화면 적합성의 확인은 검토항목 선정, 검토양식 개발, 전문가 검토, 실험검토 등의 과정을 통하여 수행되었다. 관련 규제 문건으로 부터 규제요건상 만족해야할 최소한의 검토항목을 선정하고 검토양식을 개발하였으며, 인간공학 전문가들의 주관적 평가를 통하 여 수행되었다. 또한 화면의 조작방식에 대한 상세검토를 수행하였다. 검토결과로부터 발견된 문제점들은 HED (Human Engineerign Discrepance) 목록으로 정리하여 설계에 반영하도록 하였다.로 마음의 안정감, 몸의 긴장 이완에 따른 건강 상태 유지, 수업 집중도 향상 등이 나타났다. 위와 같은 종합 적 분석 결과에 따라, 본 연구는 제조 현장의 생산성 향상 및 품질 향상과 연계하여 작업자의 작업 집중도 향상, 작업자의 육체적, 심리적 변화에 따른 생산성 및 품질 향상 변화 정도 등의 산업공학(인간공학) 제 분야의 여러 측면에서 연구 및 적용이 가능하리라 사료된다.l, 시험군:25.90$\pm$7.16mg/d1, 47% 감소)를 나타내었으며, 시험군의 AUC는 대조군에 비해 39% 감소하였고, 혈중 아세트알데히드의 농도는 투여 60분후 시험군(3.96$\pm$0.07nmo1/$m\ell$)이 대조군(6.45$\pm$0,64nmo1/$m\ell$)에 비해 유의성 있는 감소(39%)를 나타내었으며, 시험군의 AUC는 대조군에 비해 48% 감소하였다 한편, 시험관내 에탄올 대사 효소에 대한 바이오짐의 효과를 검색해본 결과 바이오짐(2.0 $\mu\textrm{g}$/assay)에 의해 Aldehyde dehydrogenase(1.5unit/assay)의 활성이 14% 증가되었다. 본 연구의 결과로 볼 때, 비지니스 및 바이오짐은 음주 후 상승된 혈중 에탄을 농도 및 아세트알데히드의 농도를 현저히 감소시키는 효과가 있었다.량 보호 관리, 도시 소공원 개발, 역사 문화 공원 조성, 하천 공간 복원, 공원 시설 기능 개선, 이용 프로그램 개발, 공원 관리 개선, 환경 피해 녹지의 회복, 도시 환경 림 조성, 녹지 기능 증진, 도시 자연 경관 보전, 공원 녹지체계 구성, 공원 녹지 공급 균형, 주변 환경 녹화, 가로 녹화의 17개 시책을 제안하였다. 이러한 정책사업의 원활한 추진을 위해서는 기존의 관주도의 일방적인 공원 녹지 행정이 아닌 시민의 참여를 통

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Development of the Protocol of the High-Visibility Smart Safety Vest Applying Optical Fiber and Energy Harvesting (광섬유와 압전 에너지 하베스팅을 적용한 고시인성 스마트 안전조끼의 개발)

  • Park, Soon-Ja;Jung, Jun-Young;Moon, Min-Jung
    • Science of Emotion and Sensibility
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    • v.24 no.2
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    • pp.25-38
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    • 2021
  • The aim of this study is to protect workers and pedestrians from accidents at night or bad weather by attaching optical fiber to existing safety clothing that is made only with fluorescent fabrics and retroreflective materials. A safety vest was designed and manufactured by applying optical fiber, and energy-harvesting technology was developed. The safety vest was designed to emit light using the automatic flashing of optical fibers attached to the film, and an energy harvester was manufactured and attached to drive the light emission of the optical fiber more continuously. As a result, first, the vest wearer' body was recognized from a distance through the optical fiber and retroreflection, which helped prevent accidents. Thus, this concept helps in saving lives by preventing accidents during night-time work on the roadside or activities of rescue crew and sports activities, or by quickly finding the point of an accident with a signal that changes the optical fiber light emission. Second, to use the wasted energy, a piezoelectric-element power generation system was developed and the piezoelectric-harvesting device was mounted. Potentially, energy was efficiently produced by activating the effective charging amount of the battery part and charging it auxiliary. In the existing safety vest, detecting the person wearing the vest is almost impossible in the absence of ambient light. However, in this study, the wearer could be found within 100 m by the light emission from the safety vest even with no ambient light. Therefore, in this study, we will help in preventing and reducing accidents by developing smart safety clothing using optical fiber and energy harvester attached to save lives.