TDEAT와 $\textrm{NH}_3$ 예비혼합 처리가 MOCVD TiN형성에 미치는 영향
(Effect of Premixing of TDEAT and $\textrm{NH}_3$ on TiN Formation)
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- 한국재료학회지
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- 제7권7호
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- pp.576-581
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- 1997