• Korean Journal of Materials Research
• /
• v.7 no.7
• /
• pp.576-581
• /
• 1997

TDEAT(TI[N(C$_{2}$H$_{5}$)$_{2}$]$_{4}$)와 NH$_{3}$반응기체를 이용하여 MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)TiN 박막을 형성하였다. 반응기체들은 chamber내에 주입하기 전에 적절한 기상반응을 유도시켜 주었으며, TiN박막 형성에 미치는 예비혼합 효과를 관찰하였다. 두 반응기체의 예비혼합을 이용하여 낮은 탄소의 함유와 함께 -800$\mu$Ωㆍcm의 비교적 낮은 비저항을 나타내었다. 또한 NH$_{3}$의 유량 증가에 따라 도포성이 상당히 증가되고 있는데 이같은 도포성 향상 효과는 기상반응에 의하여 형성되는 중간상의 낮은 흡\ulcorner계수에 기인하는 것으로 여겨진다. QMS(Quadruple Mass Spectrometer)분석을 이용하여 두가지 경쟁적 반응을 포함한 전체 반응식을 제시하였다. TDEAT/NH$_{3}$혼합증착원의 경우 particle이 관찰\ulcorner지 않았으며 이것은 기상반응의 정도를 효과적으로 조절한데 기인하는 것으로 여겨진다. 결과적으로 반응기체의 예비혼합은 막질 및 도포성 개선과 함께 particle생성억제에 매우 효율적인 방법임을 알 수 있었다.다.

• KOREAN JOURNAL OF CROP SCIENCE
• /
• v.52 no.2
• /
• pp.162-168
• /
• 2007

Compatible and incompatible interactions of near-isogenic lines containing one of Xa1, Xa3, and Xa7 resistance genes with Japanese bacterial blight isolates (T7174, T7147, and T7133) were examined in order to determine the variation of bacterial blight resistance and the stability of resistance gene. IRBB 101 line having a Xal gene was compatible (host susceptible) with T7147 and T7133 isolates but incompatible (host resistant) with T7174 isolate at all the tested rice growth stages. IRBB 103 line having a Xa3 gene was susceptible or moderately resistant to the three isolates at seedling and maximum tillering stage but resistant at heading stage. IRBB 101 line having a Xa7 gene was semi-compatible with the three isolates at seedling stage but incompatible at the other growth stages. Overall there were clear differences between compatible and incompatible interactions of rice with Xanthomonas oryzae pv. oryzae races. In the mixed inoculations of compatible and incompatible isolates, the lesion length from near-isogenic lines decreased as the ratios of incompatible races increased. When the distinction between compatible and incompatible isolates was unclear, there was almost no variation of lesion length regardless of mixed ratios. The pathogenicity of the mixed races in the incompatible Interactions increased rather than the individual inoculation whereas the lesion length of compatible interactions was similar to that of the individual inoculation. These data indicate the incompatible races inhibit the virulence of a compatible race but compatible races increase the disease occurrence due to incompatible races. Furthermore, IRBB 107 line that showed resistance to all the isolates at all the tested growth stages was considered as a good parent f3r breeding of resistant variety.

• Korean Chemical Engineering Research
• /
• v.51 no.4
• /
• pp.487-492
• /
• 2013

Transesterifications of waste oils mixed with animal tallows and vegetable oil by ultrasonic energy were examined over various catalysts for biodiesel production. Reaction activities of the transesterification were evaluated to the ultrasonic energy and thermal energy. The physicochemical properties of feedstock and products were also investigated to the biodiesels produced from the oils in the reaction using ultrasonic energy. The highest fatty acid methyl ester (FAME) yield was obtained on the potassium hydroxide catalyst in the transesterification by ultrasonic irradiation. The effective reaction conditions by ultrasonic energy were 0.5 wt% catalyst loading and 6:1 molar ratio of methanol to the mixed oils. The reaction rate of the transesterification by ultrasonic energy was faster than that by thermal energy. The highest yields of FAME were obtained as 80% in 5 min and the reaction equilibrium reached at that time.

• Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
• /
• v.23 no.5
• /
• pp.90-100
• /
• 2019

Hypergolic thrusters have been extensively researched and applied to spacecraft propulsion based on their simplicity and high reliability of ignition. Research on the impingement characteristics of $N_2O_4$/amine has been profoundly carried out since the 1960s in advanced countries, especially the United States. Recently, enhancements to advanced hypergolic thrusters using MON/MMH have been planned by NASA to improve compactness and high performance. In this work, technical studies were investigated on the mixing of hypergolic propellant and its combustion instabilities such as reactive separation flow and popping.

• Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
• /
• 2000.04a
• /
• pp.7-7
• /
• 2000

액체추진 로켓 분야에서 비연소 혼합시험(cold flow mixing test)은 로켓엔진의 성능을 예측하고 인젝터와 관련된 문제의 진단에 도움을 줄 수 있는 자료를 확보할 수 있는 수단이 된다. 비연소 혼합시험이 실제 연소시험을 대신할 수 있는 신뢰성 있는 자료를 제공할 수는 없지만, 인젝터의 최적형상을 설계하기 위해서 실시해야할 고 비용의 연소시험에 대한 횟수를 줄일 수 있는 보조시험으로서의 역할을 할 수 있다. 혼합시험 성능이 우수한 인젝터가 수력학적인 혼합성능을 능가하는 연소반응에 의해서 실제 연소시험에서는 성능이 저하되는 경우도 있을 수 있으나 대부분의 경우에는 비연소 혼합시험에서 좋은 성능을 나타내는 인젝터는 실제 연소시험에서도 좋은 성능을 나타낸다. 일반적으로 비연소시험과 연소시험 사이의 상관 관계를 정확히 정립하기 위해서는 많은 상관 관계 변수의 적용 및 충분한 혼합시험 자료가 요구된다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2011.02a
• /
• pp.238-239
• /
• 2011

최근 반도체 산업은 더 높은 성능의 회로 제작을 통해 초고집적화를 추구하고 있다. 이를 위해서 회로 설계의 최소 선폭과 소자 크기는 지속적으로 감소하고 있고 이를 위한 배선 기술들은 플라즈마 공정을 이용한 식각공정에 크게 의존하고 있다. 식각공정에 있어서 반응가스의 조성은 식각 속도와 선택도를 결정하는 중요한 요소이다. 본 연구에서는 CIS QMS (closed ion source quadrupole mass spectrometer)를 이용하여 CF4+Ar를 이용한 실리콘 산화막의 플라즈마 식각 공정 시 생성되는 라디칼과 이온 종들을 측정하였다. Ar 이온이 기판표면과 충돌하여 기판물질간의 결합을 깨놓으면, 반응성 기체 및 라디칼과의 반응성이 커져서 식각 속도를 향상 시키게 된다. 본 실험에서는 2 MHz의 RPS (remote plasma source)를 이용하여 플라즈마를 발생시키고 13.56 MHz의 rf 전력을 기판에 인가하여 식각할 웨이퍼에 바이어스 전압을 유도하였다. CF4/(CF4+Ar)의 가스 혼합비가 커질수록 식각 부산물인 SiF3의 양은 증가 하였으며, CF4 혼합비가 0일 때(Ar 100%) 비하여 1일 때(CF4 100%) SiF3의 QMS 이온 전류는 106배 증가하였다. 이때의 Si와 결합하여 SiF3를 형성하는 F라디칼의 소모는 0.5배로 감소하였다. 또한 RPS power가 800 W일 때 플라즈마에 의해서 CF4는 CF3, CF2, CF로 해리 되며 SiO2 식각 시 라디칼의 직접적인 식각과 Si_F2의 흡착에 관여되는 F라디칼의 양은 CF3 대비 7%로 검출되었고, 식각 부산물인 SiF3는 13%로 측정되었다. Ar의 혼합비를 0 %에서 100%까지 증가시켜 가면서 측정한 결과 F/CF3는 $1.0{\times}105$에서 $2.8{\times}102$로 변화하였다. SiF3/CF3는 1.8에서 6.3으로 증가하여 Ar을 25% 이상 혼합하는 것은 이온 충돌 효과에 의한 식각 속도의 증진 기대와는 반대로 작용하는 것으로 판단된다.

• Polymer(Korea)
• /
• v.35 no.5
• /
• pp.493-498
• /
• 2011

Reactive mesogens were used to prepare photo-cured liquid crystal films in which orientations of liquid crystal molecules were preserved by crosslinked networks of cured reactive mesogens. The molecular orientations of liquid crystal mixtures of photo-reative mesogens and non-reactive nematic liquid crystals were studied and compared before and after curing reactions. The effects of temperature and the amount of the non-reactive nematic liquid crystal in the mixture on birefringence of the liquid crystal films were investigated. It was found that optical compensation films with different birefringence could be prepared by controlling the amount of the nematic liquid crystals in the reactive mesogen mixtures.

• Applied Chemistry for Engineering
• /
• v.4 no.4
• /
• pp.807-813
• /
• 1993

Oxidative coupling of methane(OCM), one of the methods of direct methane conversion, was performed. Metal oxide catalysts used were Li/MgO and Pb/MgO. To investigate the reactivity of the catalysts with temperature, the reaction was carried out at 600, 700 and $800^{\circ}C$; and to investigate the effect of the feed ratio of the reactants($CH_4:O_2$) on reactivity, conversion, and selectivity the reaction was performed at $700^{\circ}C$ with the feed ratio of 2:1 and 1:1. The results indicate that 7wt% Li/MgO catalyst is a good catalyst for OCM reaction with 20% conversion and 65% selectivity at $700^{\circ}C$ with the feed ratio of 2:1. As feed ratio was 1:1, methane conversion was increased to 30% while $C_2$ selectivity decreased to 45% at $700^{\circ}C$ with 7wt% Li/MgO catalyst. The Pb/MgO catalyst showed less selectivity(25%) than Li/MgO did.

• Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
• /
• 1999.10a
• /
• pp.15-15
• /
• 1999

램 가속기에 대한 연구는 램 가속기의 작동 조건이 고온, 고압, 초고속이라는 점과 가속기 내부에서 급격한 화학반응이 수반된다는 특성으로 인하여 실험과 해석상의 상당한 어려움이 존재한다. 램 가속기는 작동 모드에 따라 탄체 후방의 열적 질식 조건을 이용한 열적 질식 모드(Thermally Choked Mode)와 탄체 표면에 형성되는 데토네이션파를 이용한 초폭굉모드(Superdetonative Mode)로 나뉘어진다. 본 연구는 초폭굉 모드로 작동하는 램 가속기의 작동 성능 향상을 위한 방법으로 수치 최적화 기법을 이용한 램 가속기 내부 예 혼합기의 조성비 최적화를 수행하였다. 설계 변수로는 수소와 질소의 조성비를 선정하였으며, 최적 설계 목표는 일정한 질량과 형상을 갖는 탄체를 초기속도 2500m/s에서 3000m/s로 가속시키기 위하여 필요한 최소 램 가속관의 길이로 정하였다. 본 연구에서는 구베법에 기반한 Simplex 방법 및 SLP(Sequential Linear Programming)등의 수치 최적화 기법을 적용하였고, 가속기 내부의 유동장은 해석의 효율성을 고려하여 이차원 비점성 유동으로 가정하였고, 비평형 화학반응 해석을 수행하였다.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
• /
• v.7 no.6
• /
• pp.1284-1291
• /
• 2006

This work examined improving the activity of photocatalyts by novel metal doping for the degradation of volatile organic compounds, such as formaldehyde and acetone. The activity was determined with type of dopant novel metal and volatile organic compounds. The palladium-doped $TiO_2$ was found to be improved the decomposition of acetone. The photocatalytic degradation rate for acetone was increased with decreasing temperature to $45^{\circ}C$. The optmum temperature of photocatalytic degradation rate for formaldehyde was $75^{\circ}C$. The enhancement of reaction rate with novel metal were 1.0 wt.% of palladium for acetone, 1.0 wt.% of plaitnum for formaldehyde.