활성화 반응성 증착법에 의한 ${In_2}{O_3}$ 박막성장 및 특성
(The characterization of ${In_2}{O_3}$ thin films prepared by activated reactive evaporation method)
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- E2M - 전기 전자와 첨단 소재
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- 제5권4호
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- pp.400-405
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- 1992