Effects of the Post-deposition Treatments of Annealing and Surface Sputter on the Surface Texture and Electricla Characteriscits of ZnO Thin Films (증착 후 열처리 및 표면스퍼터에 따른 ZnO 박막의 표면형상과 전기적 특성의 변화)
-
- Korean Journal of Crystallography
- /
- v.9 no.2
- /
- pp.85-91
- /
- 1998