• 제목/요약/키워드: 불산

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실리콘 웨이퍼 에칭공정으로부터 발생(發生)된 폐산(廢酸)을 이용(利用)한 스테인리스 스틸의 산세거동(酸洗擧動) 연구(硏究) (Pickling of oxidized 304 Stainless Steel using Waste Acids from Etching Process of Silicon Wafer)

  • 김민석;안종관;김홍인;김주엽;안재우
    • 자원리싸이클링
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    • 제17권2호
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    • pp.36-45
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    • 2008
  • 실리콘 웨이퍼 에칭공정에서 발생하는 폐산을 스테인리스 스틸 산세공정에서 재활용하고자 이를 이용한 산세 거동을 조사하였다. 폐산 원액은 $19.6g/L^{-1}$ 실리콘을 함유한 불산, 질산 및 초산의 혼산이었으며 침전법에 의한 실리콘 제거 전후 폐산들을 이용하여 304 스테인레스 스틸 표면 산화막의 제거 시 측정된 open circuit potential(OCP) 변화 거동은 매우 상이하였다. 폐산 원액을 사용한 경우에는 OCP가 높고 연속적인 변화를 보이는데 비하여 실리콘 제거 공정에서 얻어진 용액의 경우에는 불연속적인 OCP변화와 전위요동현상이 나타났다. 이러한 거동의 차이는 표면 부동태막의 형성 및 제거와 공식이 발생하는 정도의 차이에 기인하는 것으로 생각되며, 실리콘 제거 공정에서 산도가 낮아진 폐산에서 산화막 제거속도가 높고 공식발생이 현저하였다. 산세 후 시료의 표면 광택도에 가장 큰 영향을 주는 것은 산세 온도였으며, 산세온도가 높아질수록 표면 광택도는 감소하였다. 동일 산세 조건에서는 폐산 원액을 사용한 경우가 실리콘을 제거공정으로부터 얻어진 용액을 사용한 경우보다 광택도가 높았다.

마이크로웨이브로 증폭된 습식 에칭에 의한 표면 개질 마이카의 제조와 특성 (Preparation and Characterization of Surface Modified Mica by Microwave-enhanced Wet Etching)

  • 전상훈;권순상;김덕희;심민경;최영진;한상훈
    • 대한화장품학회지
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    • 제34권4호
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    • pp.269-274
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    • 2008
  • 본 연구를 통해 반도체 산업에서 유래된 마이크로웨이브 증폭 에칭기술(MEE)을 이용하여, 마이카의 표면 구조를 변화시키고 오일 흡유량을 조절할 수 있었다. 마이크로웨이브 에너지가 마이카에 조사되면, 마이카 표면이 몇 분 이내에 에칭이 된다. 에칭의 결과로 마이카의 오일 흡유량이 증가되고, 마이카 $SiO_2$층의 표면 변화에 의해 백색도가 증가한다. 추가적으로, 땀을 흡수한 이후에도 높은 백색도가 유지된다. 마이카의 표면구조의 변화는 불산에 슬러리화된 마이카에 마이크로웨이브 조사를 통해서 이루어졌다. 에칭의 정도는 산의 농도, 조사 시간, 조사 에너지의 양, 슬러리의 농도에 의해 조절되었다. 에칭된 마이카의 표면 구조는 '달' 표면 모양과 유사하게 보인다. 표면적과 거칠기 등의 특성은 Brunauer-Emmett-Teller (BET), atomic force microscopy (AFM), scanning electron microscopy (SEM), Spectrophotometer, goniophometer로 측정되었다.

블록 공중합체와 반응성 이온식각을 이용한 GaAs 기판상의 나노패터닝된 산화막 형성 (Fabrication of Nanopatterned Oxide Layer on GaAs Substrate by using Block Copolymer and Reactive Ion Etching)

  • 강길범;권순묵;김성일;김용태;박정호
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제16권4호
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    • pp.29-32
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    • 2009
  • 기공의 밀도가 높은 다공성 실리콘 산화물 박막이 GaAs 기판 상에 형성이 되었다. 다공성 실리콘 산화막을 형성하기 위해서 자기조립 형태로 배열하는 블록공중합체를 사용하였다. GaAs 기판 상에 화학기상증착 (CVD)을 이용하여 실리콘 산화막을 형성하였다. 폴리스티렌 (PS) 바탕에 벌집 형태로 배열된 폴리메틸메타아크릴레이트 (PMMA)가 주기적으로 배열되어 있는 나노패턴 박막을 형성하였고 PMMA를 아세트 산으로 제거하여 PS만 남아있는 나노크기의 마스크를 형성하였다. 형성된 PS 나노패턴의 지름은 15 nm, 박막의 두께는 40 nm 였으며 이를 건식 식각용 마스크로 사용하여 화학반응성식각 (RIE) 을 진행하였고 PS의 나노패턴이 산화막 기판상에 전사되도록 하였다. 식각 시간을 조절하여 산화막에 형성된 기공이 GaAs 표면까지 연결되도록 하였고 이는 불산으로 산화막을 제거하여 확인하였다. 식각시간은 90초에서 110초였으며 산화막 상에 나노패터닝된 기공이 형성되는 식각 시간은 90초에서 100초 사이였다. 형성된 나노 패터닝된 산화막 기공의 지름은 20~22 nm였고 식각 시간에 따라서 조절이 가능함을 확인할 수 있었다.

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Si(111)-H 표면의 전기화학적 제조에 관한 전기화학적 주사터널링현미경법 연구 (EC-STM Studies on Electrochemical Preparation of Si(111)-H Surfaces)

  • 배상은;이치우
    • 전기화학회지
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    • 제5권3호
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    • pp.111-116
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    • 2002
  • 묽은 불산용액에서 Si(111) 산화막 (SiOx) 표면을 전기화학적으로 에칭할 때 생성되는 Si(111)-H 표면변화를 전기화학적 주사터널링현미경을 사용하여 조사하였다. pH가 4.7인 0.2M $NH_4F$ 용액에서 순환전압전류곡선은 순환 횟수가 증가할수록 양극 암전류가 감소하였고 두 번 이상 순환한 시료의 암전류는 일정한 형태의 전압전류곡선을 나타냈다. 이때 표면은 모든 SiOx층이 벗겨져 수소말단화된 구조를 가졌으며, 그 이후 순환에서는 생성된 Si(111)-H 표면의 이중 수소결합이 없어지는 step-flow반응이 일어나, 표면이 단일수소결합을 가지는 [112]모서리의 안정한 삼각형 모양을 나타냈으며 또한 생성된 삼각형 흠의 깊이가 점차 깊어졌다. 일정전압법에서는 초기에 큰 양극 암전류 최고 값을 나타낸 후, 시간에 따라 양극 암전류가 감소하였다. 양극 암전류 최고 값 후. 표면의 모든 SiOx가 벗겨졌으며 이후 양극 암전류는 작은 값을 띠면 조금씩 더 낮아졌다. 이 낮아지는 양극 암전류 역시 이중수소 결합의 step-How반응에 안정한 단일수소결합의 [112]모서리 생성에 의해 나타난다. pH 4.7인 0.2M $NH_4F$용액중의 Si(111)-H표면에 +0.4V를 가할 때 진행되는 에칭반응의 메커니즘에 관해서 논하였다.

c-BN 박막의 박리현상에 미치는 공정인자의 영향

  • 이성훈;변응선;이건환;이구현;이응직;이상로
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.148-148
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    • 1999
  • 다이아몬드에 버금가는 높은 경도뿐만 아니라 높은 화학적 안정성 및 열전도성 등 우수한 물리화학적 특성을 가진 입방정 질화붕소(cubic Boron Nitride)는 마찰.마모, 전자, 광학 등의 여러 분야에서의 산업적 응용이 크게 기대되는 자료이다. 특히 탄화물형성원소에 대해 안정하여 철계금속의 가공을 위한 공구재료로의 응용 또한 기대되는 재료이다. 특히 탄화물형성원소에 대해 안정하여 철계금속의 가공을 위한 공구재료로의 응용 또한 크게 기대된다. 이 때문에 각종의 PVD, CVD 공정을 이용하여 c-BN 박막의 합성에 대한 연구가 광범위하게 진행되어 많은 성공사례들이 보고되고 있다. 그러나 이러한 c-BN 박막의 유용성에도 불구하고 아직 실제적인 응용이 이루어지지 못한 것은 증착직후 급격한 박리현상을 보이는 c-BN 박막의 밀착력문제때문이다. 본 연구에서는 평행자기장을 부가한 ME-ARE(Magnetically Enhanced Activated Reactive Evaporation)법을 이용하여 c-BN 박막을 합성하고, 합성된 c-BN 박막의 밀착력에 미치는 공정인자의 영향을 규명하여, 급격한 박리현상을 보이는 c-BN 박막의 밀착력 향상을 위한 최적 공정을 도출하고자 하였다. BN 박막 합성은 전자총에 의해 증발된 보론과 (질소+아르곤) 플라즈마의 활성화반응증착(activated reactive evaporation)에 의해 이루어졌다. 기존의 ARE장치와 달리 열음극(hot cathode)과 양극(anode)사이에 평행자기장을 부여하여 플라즈마를 증대시켜 반응효율을 높혔다. 합성실험용 모재로는 p-type으로 도핑된 (100) Si웨이퍼를 30$\times$40 mm크기로 절단 후, 100%로 희석된 완충불산용액에 10분간 침적하여 표면의 산화층을 제거한후 사용하였다. c-BN 박막을 얻기 위한 주요공정변수는 기판바이어스 전압, discharge 전류, Ar/N가스유량비이었다. 증착공정 인자들을 변화시켜 다양한 조건에서 c-BN 박막의 합성하여 밀착력 변화를 조사하였다. 합성된 박막의 결정성 분석을 FTIR을 이용하였으며, Bn 박막의 상 및 미세구조관찰을 위해 투과전자현미경(TEM;Philips EM400T) 분석을 병행하였고, 박막의 기계적 물성 평가를 위해 미소경도를 측정하였다. 증착된 c-BN 박막은 3~10 GPa의 큰 잔류응력으로 인해 증착직후 급격한 박리현상을 보였다. 이의 개선을 위해 증착중 기판바이어스 제어 및 후열처리를 통해 밀착력을 수~수백배 향상시킬 수 있었다. c-BN 박막의 합성을 위해서는 증착중인 박막표면으로 큰 에너지를 갖는 이온의 충돌이 필요하기 때문에 기판 바이어스가 요구되는데, c-BN의 합성단계를 핵생성 단계와 성장 단계로 구분하여 인가한 기판바이어스를 달리하였다. 이 결과 그림 1에서 나타낸 것처럼 c-BN 박막의 핵생성에 필요한 기판바이어스의 50% 정도만을 인가하였을 때 잔류응력은 크게 경감되었으며, 밀착력이 크게 향상되었다.

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섬유포스트의 표면 처리방법이 복합레진 코어와의 결합력에 미치는 영향 (EFFECT OF SURFACE TREATMENTS OF FIBER POSTS ON BOND STRENGTH TO COMPOSITE RESIN CORES)

  • 금혜조;유현미
    • Restorative Dentistry and Endodontics
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    • 제35권3호
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    • pp.173-179
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    • 2010
  • 본 연구의 목적은 실란, 과산화수소, 불산, 샌드블라스팅을 이용한 섬유포스트의 표면 처리가 복합레진 코어와의 결합강도에 미치는 영향을 평가하기 위한 것이다. 32개의 FRC Postec Plus를 표면 처리를 하지 않은 대조군과 표면 처리 방법에 따라 7개의 실험군(S군, HP군, HP-S군, HF군, HF-S군, SB군, SB-S군)으로 분류하였다. S군은 실란을 적용하였고, HP군은 28%의 과산화수소로 부식하였으며, HP-S군은 과산화수소 처리 후 실란을 적용하였다. HF군은 4% 불화수소산 젤로 부식하였고, HF-S군은 불화수소산 젤 처리 후 실란으로 처리하였다. SB군은 산화 알루미늄으로 샌드블라스팅 하였고, SB-S군은 샌드블라스팅 후 실란을 적용하였다. 표면 처리한 포스트는 Tetric Flow를 사용하여 광중합 시키면서 주위에 원통형의 코어를 축조하였다. 형성된 포스트-코어 복합체를 막대 형태로 절단하여 미세인장결합강도를 측정하였다. One-way ANOVA와 LSD test로 결합강도 값을 분석한 결과, 샌드블라스팅은 섬유포스트와 복합레진 코어와의 결합력을 증가시켰으며 샌드블라스팅 후 실란으로 처리한 경우 다른 처리 방법들보다 유의하게 증가된 결합력을 나타냈다(p < 0.05).

불산 처리 시간이 강화형 전부도재관과 레진 시멘트의 전단 결합강도에 미치는 영향 (EFFECT OF ETCHING TIME ON SHEAR BOND STRENGTH OF RESIN CEMENTS TO REINFORCED ALL-CERAMIC CROWNS)

  • 김경일;최근배;안승근;박찬운
    • 대한치과보철학회지
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    • 제42권5호
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    • pp.501-513
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    • 2004
  • Purpose : The purpose of this study was to evaluate the effects of etching time on shear bond strength of four resin cements to IPS Empress 2 ceramic. Material and Methods: Forty rectangular shape ceramic specimens ($10{\times}15{\times}3.5mm$ size) were used for this study. The ceramic specimens divided into four groups and were etched with 10% hydrofluoric acid for 0, 10, 30, 60, 180, 300, 420, 600, and 900 seconds respectively. Etched surfaces of ceramic specimens were coated with ceramic adhesive system and bonded with four resin cement (Variolink II, Panavia F, Panavia 21, Super-Bond C&B) using acrylic glass tube. All cemented specimens were tested under shear loading untill fracture on universal testing machine at a crosshead speed 1mm/min: the maximum load at fracture (kg) was recored. Shear bond strengh data were analyzed with oneway analysis of variance and Tukey HSD tests (p<.05). Etched ceramic surfaces (0-, 60-, 300-, and 600-seconds etching period) and fracture surfaces after shear testing were examined mophologically using scanning electron microscopy. Results : Ceramic surface treatment with 10% hydrofluoric acid improved the bond strength of three resin cement except for Super-Bond C&B cement. Variolink II (41.0$\pm$2.4 MPa) resin cement at 300-seconds etching time showed statistically higher shear bond strength than the other resin cements (Panavia F: 28.3$\pm$2.3 MPa, Panavia 21: 21.5$\pm$2.2 MPa, Super-Bond C&B: 16.7$\pm$1.6 MPa). Ceramic surface etched with 10% hydrofluoric acid for 300 seconds showed more retentive surface texture. Conclusion: Within the limitation of this study, Variolink II resin cement are suitable for cementation of Empress 2 all-ceramic restorations and etching with 10% hydrofluoric acid for 180 to 300 seconds is required to enhance the bond strength.

경남 태화강에서 채집된 담수어에 있어서 흡충류 피낭유충 기생상의 변화 (Changing patterns of infection with digenetic larval trematodes from Iresh-water fish in River Taewha, Kyongnam Province)

  • 주종윤
    • Parasites, Hosts and Diseases
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    • 제26권4호
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    • pp.263-274
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    • 1988
  • 1988년 3월부터 동년 10월까지 경남 청주군의 서북부와 남서부 사이에 위치하고, 태백산맥의 남쪽 끝에 형성된 가지산, 신불산 등에서 기원하여, 청주군과 청주시를 외류한 후 충주호에 하구를 형성하고 있는 태화강에서 투망, 낚시 등으로 담수어와 반함수어를 채집하여 어체 부위별로 각종 흡충류 피낭유충의 기생상을 조사하였다. 한편 얻은 결과를 주(1980)의 조사성적과 비교하였다. 태화강에서 채집된 어류는 붕어, 꼬치동자개, 꺽지, 잉어, 몰개, 긴몰개, 파랑볼우럭, 버들치, 납지리, 모래 무지, 참붕어, 돌고기, 흰줄납줄개, 피래미, 갈겨니 및 은어의 16종이었다. 채집된 16종 어류에서 7종의 피낭유충(Clonorchis sinensis, Cyathocotyle orientalis, Echinochasmus species, Metacercaria hasegawai, Metagonimus yohogawai, Exorchis oviformis 및 Metorchis orientalis)과 4종의 소속미정 피낭유충을 검출할 수 있었다. 인체에 기생하는 간흡충의 피낭유충은 7종의 담수어에서 검출할 수 있었고, 그 기생률은 1980년 주의 조사성적에 비하여 높았으나, 기생정도에 있어서는 3종의 어류(꼬치동자개, 몰개, 돌고기)에서는 1980연에 비해 낮았으며, 납지리에서는 높았다. 요꼬가와흡충 피낭유충의 기생률은 5종의 담수어(붕어, 몰개, 납지리, 봉치동자개, 파랑볼우럭)에서는 낮았으나, 돌고기, 피래미, 갈겨니에서는 그 율이 높았고, 은어에서는 변동이 없었다. 요꼬가와흡충 피낭유충의 기생 정도는 1980연의 조사성적에 비하여 일반적으로 증가되었으나, 은어에서는 감소된 것으로 나타났다. Cythocotyle orientalis, Echinochtl'smus sp., Exorchis owiformis, 및 _Metacercaria hasegawai 피낭유충의 기생율은 어종에 따라 심한 차이를 나타내었으며, 1980연의 조사 성적에 비해 높았다. 비늘, 지느러미 및 꼬리에서의 피낭유충 기생율은 변동이 심하여, 비교할 수 없었으나, 요꼬가와흡충 피낭유충 기생율은 일반적으로 1980연의 조사 성적에 비하여 높았다. 이상의 성적으로 미루어 태화강에서 채집된 어류에 있어서 간흡충을 비롯한 흡충류 피낭유충 기생률은 아직도 높으나, 그 기생 정도는 1980연에 비해 어종별로 심한 변동을 나타내고 있음을 알 수 있었다.

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자장 세기 측정용 진공 센서의 제작 및 패키징 (Fabrication and packaging of the vacuum magnetic field sensor)

  • 박흥우;박윤권;이덕중;김철주;박정호;오명환;주병권
    • 센서학회지
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    • 제10권5호
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    • pp.292-303
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    • 2001
  • 본 연구에서는 수평형 전계 방출 소자를 제작하고 그 특성을 측정하였다. 이를 진공자장 센서에 이용하기 위하여 Lorentz 원리를 응용하여 센서를 설계하고 제작하였다. $POCl_3(10^{20}cm^{-3})$ 도핑된 다결정 실리콘을 전계 방출 소자의 음극 및 양극 재료로 이용하였으며 그 두께는 각각 $2\;{\mu}m$였다. PSG(두께 $2\;{\mu}m$)를 희생층으로 사용하여 최종 단계에서 불산을 이용하여 제거하고 승화건조법을 이용하여 소자의 기판 점착 현상을 방지하였다. 제작된 소자를 유리기판 #1 위에 silver paste로 고정시키고 Cr 전극 패드와 와이어본딩 한 뒤 진공내에서 양극접합공정을 이용하여 소자를 $1.0{\times}10^{-6}\;Torr$에서 진공 실장하였다. 실장 후 게터를 활성화하여 내부진공도를 향상시켰다. 이렇게 패키징된 소자는 두달여 기간 동안 특별한 특성저하 없이 잘 동작되었으며 그 이상의 기간에 대해서는 확인하지 못하였다. 패키징된 자장 센서는 패키징하기 전 진공챔버 내에서 보인 특성치와 별다른 차이 없이 잘 동작되었으며 단지 약간의 전류 감소 현상만이 관찰되었다. 측정된 센서의 감도는 약 3%/T로서 작은 값이었으나 그 가능성을 확인할 수는 있었다.

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Analytical Method of Silicon Dioxide in Health Functional Food Products using ICP-OES

  • Ka, Mi-Hyun;Lee, Kwang-Geun;Lim, Heung-Youl;Lee, Gunyoung;Yun, Sang Soon;Lim, Ho Soo;Kim, Yong-Suk
    • 한국식품위생안전성학회지
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    • 제32권5호
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    • pp.343-347
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    • 2017
  • 건강기능식품에서 이산화규소 분석 방법을 확립하기 위하여 산(불산과 붕산)분해를 이용한 ICP-OES 방법을 수행하였다. 이 방법의 검출한계와 정량한계는 각각 0.07 mg/L, 0.20 mg/L 이었다. 검량선은 0.2~20.0 mg/L의 농도범위에서 우수한 직선성($r^2$ 0.99)을 보였다. 글루코사민 제품에 이산화규소 0.4, 1.0, 2.0% (w/w)를 첨가하여 시험한 결과 90.22~94.14%의 회수율과 0.72~1.67%의 정밀성을 나타내었다. 확립된 방법으로 시중에 유통되는 건강기능식품 11품목의 이산화규소 함량을 분석한 결과 0.02~1.80% (w/w)로 나타났다. 이 결과는 건강기능식품에 이산화규소의 사용기준 2% (w/w) 이하를 만족하는 결과로 시험한 제품들은 규격에 적합하였다. 따라서 본 연구에서 확립된 이 방법은 건강기능식품 중 이산화규소를 쉽고, 빠르게 분석할 수 있으며, 건강기능식품 중 이산화규소 함량 분석에 효율적으로 사용될 수 있다.