• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.08a
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• pp.81-81
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• 2013

반도체, LCD, MEMs 등 미세 전자소자의 제작과 깊은 관련이 있는 IT 산업은 자동차 산업과 함께 세계 경제를 이끌고 있는 핵심 산업이며, 그 발전 가능성이 크다고 할 수 있다. 이 중 반도체, LCD 공정 기술에 관해서 대한민국은 세계를 선도하여 시장을 이끌어 나가고 있는 실정이다. 이들의 공정기술은 주로 높은 수율(yield)을 기반으로 한 대량 생산 기술에 초점이 맞추어져 있기 때문에, 현재와 같은 첨예한 가격 경쟁력이 요구되는 시대에서 공정 기술 개발을 통해 수율을 최대한으로 이끌어 내는 것이 현재 반도체를 비롯한 미세소자 산업이 직면하고 있는 하나의 중대한 과제라 할 수 있다. 특히 반도체공정에 있어 발전을 거듭하여 현재 20 nm 수준의 선폭을 갖는 소자들의 양산이 계획 있는데 이와 같은 나노미터급 선폭을 갖는 소자 양산과 관련된 CD (critical dimension)의 감소는 공차의 감소를 유발시키고 있으며, 패널의 양산에 있어서 생산 효율 증가를 위한 기판 크기의 대형화가 이루어지고 있다. 또한, 소자의 집적도를 높이기 위하여 높은 종횡비(aspect ratio)를 요구하는 공정이 일반화됨에 따라 단일 웨이퍼 내에서의 공정의 균일도(With in wafer uniformity, WIWU) 및 공정이 진행되는 시간에 따른 균일도(Wafer to wafer uniformity)의 변화 양상에 대한 파악을 통한 공정 진단에 대한 요구가 급증하고 있는 현실이다. 반도체 및 LCD 공정에 있어서 공정 균일도의 감시 및 향상을 위하여 박막, 증착, 식각의 주요 공정에 널리 사용되고 있는 플라즈마의 균일도(uniformity)를 파악하고 실시간으로 감시하는 것이 반드시 필요하며, 플라즈마의 균일도를 파악한다는 것은 플라즈마의 기판 상의 공간적 분포(radial direction)를 확인하여 보는 것을 의미한다. 현재까지 플라즈마의 공간적 분포를 진단하는 대표적인 방법으로는 랭뮤어 탐침(Langmuir Probe), 레이저 유도 형광법(Laser Induced Fluorescence, LIF) 그리고 광섬유를 이용한 발광분광법(Optical Emission Spectroscopy, OES)등이 있으나 랭뮤어 탐침은 플라즈마 본연의 상태에서 섭동(pertubation) 현상에 의한 교란, 이온에너지 측정의 한계로 인하여 공정의 실시간 감시에 적합하지 않으며, 레이저 유도 형광법은 측정 물질의 제한성 때문에 플라즈마 내부에 존재하는 다양한 종의 거동을 살필 수 없다는 단점 및 장치의 설치와 정렬(alignment)이 상대적으로 어려워 산업 현장에서 사용하기에 한계가 있다. 본 연구에서는 최소 50 cm에서 최대 400 cm까지 플라즈마 내 측정 거리에서 최대 20 mm 공간 분해가 가능한 광 수광 시스템 및 플라즈마 공정에서의 라디칼의 상태 변화를 분광학적 비접촉 방법으로 계측할 수 있는 발광 분광 분석기를 접목하여 플라즈마 챔버 내의 라디칼 공간 분포를 계측할 수 있는 진단 센서를 고안하고 이를 실 공정에 적용하여 보았다. 플라즈마 증착 및 식각 공정에서 형성된 박막의 두께 및 식각률과 공간 분해발광 분석법을 통하여 계측된 결과와의 매우 높은 상관관계를 확인하였다.

• Korean Journal of Mineralogy and Petrology
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• v.35 no.4
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• pp.409-421
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• 2022

Achieving a highly resolved spatial distribution of Mn-bearing minerals and elements in the natural ferromanganese nodules can provide detailed knowledge of the temporal variations of geochemical conditions affecting the formation processes of nodules. While a recent study utilizing Raman spectroscopy has reported the changes in the manganate mineral phases with growth for spherical nodules from the Arctic Sea, the distributions of minerals and elements in the nodules from the shallow Arctic Sea with non-spherical forms have not yet fully elucidated. Here, we reported the micro-laser Raman spectra with varying data acquisition points along three different profiles from the center to the outermost rim of the non-spherical ferromanganese nodules collected from the East Siberian Sea (~73 m). The elemental distributions in the nodule (such as Mn, Fe, etc.) were also investigated by energy dispersive X-ray spectroscopy (EDS) analysis to observe the internal structure and mineralogical details. Based on the microscopic observation, the internal structures of a non-spherical nodule can be divided into three different regions, which are sediment-rich core, iron-rich substrate, and Mn-Fe layers. The Raman results show that the Mn-bearing mineral phases vary with the data acquisition points in the Mn-Fe layer, suggesting the changes in the geochemical conditions during nodule formation. In addition, we also observe that the mineral composition and structural characteristics depend on the profile direction from the core to the rim. Particularly, the Raman spectra obtained along one profile show the lack of Fe-(oxy)hydroxides and the noticeably high crystallinity of Mn-bearing minerals such as birnessite and todorokite. On the other hand, the spectra obtained along the other two profiles present the presence of significant amount of amorphous or poorly-ordered Fe-bearing minerals and the low crystallinity of Mn-bearing minerals. These results suggest that the diagenetic conditions varied with the different growth directions. We also observed the presence of halite in several layers in the nodule, which can be evidence of the alteration of seawater after nodule formation. The current results can provide the opportunity to obtain detailed knowledge of the formation process and geochemical environments recorded in the natural non-spherical ferromanganese nodule.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.4 no.4
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• pp.373-379
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• 1995

200keV의 에너지로 산소 이온들을 주입한 후 열처리하여 만든 SIMOX의 층구조를 분광 타원해석법을 이용하여 비파괴적으로 분석하여, 약 $300AA$의 계면층과 $800\AA$의 매몰산화층이 $3360\AA$ 정도의 결정성 실리콘층 아래에 존재하는 것을 알 수 있었다. 이러한 매몰산화층의 분포와 TRIM 전산시늉 결과의 비교로부터 매몰산화층의 형성은 산소 이온들이 열처리에 따라 이온 주입시 실리콘의 비정질화가 최대인 곳 주변으로 이동하여 이루어짐을 알 수 있었다. 또한 측정 위치에 따른 분광 타원해석 상수들의 변화로부터 이온주입시의 이온빔의 형태와 주사 방향의 영향으로 생긴 SIMOX층구조의 비균일성을 알 수 있었다.

• Proceedings of the Korean Association of Geographic Inforamtion Studies Conference
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• 2003.04a
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• pp.94-99
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• 2003

다중분광 영상의 정확한 지형지물 분류를 수행하기 위하여 분류 클래스의 훈련지역 선정과 선정된 클래스의 분리도 분포가 중요하다. 최근에 이용되고 있는 위성탑재 초다중분광 영상은 많은 밴드를 포함하고 있기 때문에 데이터 처리가 어렵고, 노이즈로 인하여 다중분광 영상보다 분류 결과가 나쁜 경우도 나타난다. 특히 대상지역의 클래스에 따른 훈련지역의 선정시 밴드수에 비해 상대적으로 제한된 훈련화소 크기로 인하여 공분산 행렬의 계산에 어려움이 따른다. 따라서 본 연구에서는 Hyperion 데이터를 이용한 분류를 수행하기 위하여 필요한 유효 밴드 추출 방식을 알아보고, 분류영상의 정확도 평가를 통하여 추출된 밴드와 분류 클래스의 적합성 관계를 확인하고자 한다 이 과정에서 클래스 분리도를 이용하여 정확도 평가 이전에 밴드와 클래스 선정의 타당성을 확인할 수 있다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 1999.07e
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• pp.2414-2416
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• 1999

기존 무전극 황전등의 방전광은 500 nm 보다 짧은 파장에서 최대 세기를 가지기 때문에 푸른색을 띤다. 본 연구에서는 각각 588 nm, 671 nm. 767 nm에서 방전광을 발생하는 Na, Li, K를 메탈할라이드의 형태로 황 방전구에 첨가하여 황과 같이 방전시킴으로써 전체 방전광의 분광분포를 장파장으로 이동시켜 방전광을 좀더 온화한 색으로 조절코자 한다. 첨가한 세가지 종류 모두 무전극 황전등의 방전광을 온화한 색으로 바꿀 수 있었다.

• Journal of the Korean Chemical Society
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• v.25 no.1
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• pp.13-20
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• 1981

Iminoxyl biradical may be useful biradical spin probe for the investigation of the dynamic distribution of the directors in some liquid crystal. The iminoxyl biradical has been synthesized by a new convenient method and the intermediate products of each step were identified by the measurement of melting point and spectroscopic methods such as IR, UV, NMR and Mass spectrometry. The final product, iminoxyl biradical, was identified by the electron paramagnetic resonance spectroscopy and the interaction between two spins of the radical was discussed based on the EPR peaks.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.211-211
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• 2013

나노 크기의 공간에서의 물질의 이동은 표면의 환경에 의해 영향을 받을 수 있다. 소수성그래핀과 친수성 실리콘 기판 사이의 계면에서의 물의 확산은 호기심을 자극할 뿐만 아니라 그래핀 소자의 특성을 좌우하는 전하도핑(charge doping) 현상을 이해하는데 중요한 모델이 된다. 본 연구에서는 라만 분광법과 원자 힘 현미경을 사용하여 그래핀/SiO2 계면 사이의 물의 확산 현상과 그에 따른 정공 밀도 변화를 탐구하였다. 열처리 된 그래핀은 기판과의 상호 작용에 의해 높은 밀도의 정공(electron hole)으로 도핑 되어 있으며, 이를 물에 담지 하였다. 본 실험에서는 이차원 라만 분광법을 통해 물 속에 담겨진 그래핀의 정공 밀도의 공간적인 분포를 확산 시간에 따라 조사하였다. 물의 확산은 시료에 따라 수 시간에서 수 일의 시간대에 걸쳐 그래핀 가장자리에서 중앙으로 이루어진다는 사실을 확인하였다. 또한 물의 계면 확산으로 인하여 전하 밀도가 감소한다는 사실은 열처리 된 그래핀의 정공 도핑을 유발하는 산소가 계면에 존재한다는 것을 증명한다.

• Proceedings of the Korean Institute of IIIuminating and Electrical Installation Engineers Conference
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• 2009.05a
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• pp.204-207
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• 2009

LED 광원의 광학적 성능이 발전함에 따라 광원으로서의 광학효율이 기존 광원을 대체할 정도의 수준을 만족하고 있으며, 이에 의해 실내 조명광원으로서 활용도가 점차 증가하고 있다. 하지만, LED 광원의 경우 기존 광원과는 판이한 분광분포를 가지고 있으며, 소형 광원의 군집체로서 조명기구를 형성하기 때문에 이를 이용하는 사용자들에게 이전의 조명기구와는 크게 다른 느낌, 분위기 등을 가질 수가 있다. 본 연구에서는 기존광원과 LED 광원과의 차이점을 분석하고 이러한 차이점 즉, 분광분포 및 조명기구의 구성 형태 등에 따른 피험자들이 느끼는 색 편차, 조명 분위기의 변화 등을 평가 시험할 수 있는 실험실의 구성안을 제시하였다.

• Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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• 2020.06a
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• pp.48-48
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• 2020

최근 이상기후변화로 인해 수환경 변화가 일어나고 있다. 그로 인해 국내에서 조류의 과대성장이 빈번히 발생되고 있으다. 이로 인해 유해남조류 등 조류가 생산하는 독성물질, 이취미 물질은 수질을 악화시키고 있으며, 생태계에 큰영향을 미친다. 조류는 하천에서 넓은 분포로 발생하게 되는데 이러한 조류 모니터링에는 많은 인력과 시간이 소요된다. 국내에선 인력과 시간을 줄이기 위해 최근 원격탐사 기법을 이용한 조류 모니터링에 대한 연구가 많이 진행되고 있다. 본 연구에서는 녹조류, 남조류 5종을 이용해 실험을 진행하였다. 사용된 초분광 센서는 CORNING사의 microHSI^TM 410 SHARK를 이용하였으며 파장 400-1000 nm에서 NIR(visNIR)파장을 분석할 수 있으며, 초분광 센서를 정사로 영상을 촬영하기 위해 짐벌을 이용하여 영상을 수집하였다. 영상을 촬영 전 방사보정을 하기 위해 시료와 동일 선상에 99% 반사율을 갖는 백색반사판을 같이 촬영하여 방사보정을 진행하였다. 본 연구에서는 시기와 상관없이 조류에 대한 연구를 하기위해 조류배양액을 이용하였으며, 남조의 경우 470 nm에서 분광 특성을 나타내었으며, 녹조의 경우 477-510 nm에서 분광 특성을 나타났다. 초분광영상을 통해 기초라이브러리를 구축하고 구축된 라이브러리를 통해 조류의 분광특성을 분석하고 제시하여 하천에 적용하고자 한다.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.12 no.7
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• pp.3207-3213
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• 2011

Most methods of color constancy, which is the ability to determine the object color regardless of the scene illuminant, have failed to meet our expectation of their performance especially about low-illuminated scenes. Some methods with high performance need to be developed, but we must, above all else, obtain experimental images for analyzing the required circumstances or evaluating the methods. Therefore, the paper produces new sets of images so that they can be used in the development of color constancy methods suitable for low-illuminated scenes. These sets are composed of two parts: one part of images which are synthesized with spectral power distribution(SPD) of illuminants, spectral reflectance curve of reflectances, and sensor response functions of camera; the other part of images where the intensity of each image is adjusted at the uniform rate. In an experiment, the use of the sets takes an advantage that its result images are analyzed and evaluated quantitatively as their ground truth data are known in advance.