• Title/Summary/Keyword: 부분제거법

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Two-zone 확산법을 이용한 다결정 실리콘 박막으로의 Phosphorus 도핑에 관한 연구

  • 황민욱;김윤해;이석규;엄명윤;박영욱;김형준
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2000.02a
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    • pp.81-81
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    • 2000
  • 본 연구는 고집적 반도체 소자의 제조 공정에 있어서 산화막을 형성하지 않고 굴곡진 표면을 균일하게 고농도로 도핑하기 위한 방안의 일환으로 기존의 PH3 대신 고체 P를 직접 이용한 2-zone 확산법으로 다결정 Si에 도핑하는 방법을 채택하고, 그 rksmdtjddmdf 검토하는데 목적이 있다. 도핑 시간에 따른 확산 경향을 살펴본 결과, 시간이 증가함에 따라 도핑이 증가하는 뚜렷한 경향을 나타내었으며, 온도가 증가할수록 시간에 따른 농도의 증가량이 커지는 것을 알 수 있었다. 따라서, 고온에 비해 저온에서 더 빨리 pile-up이 일어나며 표면 부근의 농도가 포화상태에 빨리도달하는 것을 알 수 있었다. 다결정 Si에서의 확산거동을 살펴본 결과, 결정립 크기가 적을수록 저항이 높게 나타났으며, 단결정 Si의 저항값보다 약 4~5배 가까이 높은 값을 나타내었다. 또한 동일한 온도에서 시간에 따라 표면 부근의 pile-up 현상이 증가하는 뚜렷한 경향을 보여 주었다. 온도가 감소할수록 pili-up 현상이 증가하는 경향을 나타내었으며, 입계를 통한 빠른 확산에 의해 단결정 Si에 비해 표면 pile-up의 포화가 늦게 일어나는 것을 알 수 있었다. 고체 P를 source로 사용한 경우와 PH3 (phosphine)을 source로 사용한 경우를 비교 분석한 결과, 75$0^{\circ}C$에서 PH3에 비해 고체 P를 사용한 경우의 표면농도가 약 50배 정도로 높게 도핑된 것을 알 수 있었다. 도핑된 P중에서 전기적으로 활성화되어 있는 성분을 알아본 결과, SIMS의 결과와 유사하게 고체 P의 경우가 약 50배 높은 값을 나타내었다. 실제 소자의 특성을 알아보기 위하여 커패시터를 제작하여 측정하여 본 결과, 추가의 도핑을 하지 않은 시편에 비해 고체 P를 도핑한 시편이 약 8%의 Cmin 값의 증가를 보였으며, PH3에 비해 약 3%의 증가된 값을 나타냈었다. 누설전류 특성은 2V에서 수 fA/$\mu\textrm{m}$2로 양호하게 나타났다. 실험 결과 고체 P를 이용한 경우 더 우수한 특성을 나타내었으나, 예상과는 달리 차이가 적게 나타났다. 그 원인은 소자 제조 공정에서 콘택 부분에 큰 저항 성분이 형성되어 생긴 문제로 생각된다. 또한 실험에 사용된 유전체의 두께가 두꺼워 HSG 사이의 갭 부분이 캐패시턴스 증가에 기여를 충분히 못한 것으로 사료된다. 따라서, 제조 공정 상의 문제점을 제거하고 고체 P를 사용할 경우 본 실험에 비해 보다 증진된 특성을 보여줄 것으로 기대된다. 이상의 결론을 토대로 볼 때, 2-zone 확산법을 이용한 P 도핑 방법은 저온에서 효과적으로 다결정 Si에 고농도의 도핑을 할 수 있다고 생각된다.

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Removal Methods of Paint Pollutants on the Stone Cultural Heritage using Poultices (습포제를 이용한 석조문화재의 페인트 오염물 제거기법 연구)

  • Lee, Joo-Wan;Ham, Chul-Hee;Kim, Sa-Dug;Lee, Chan-Hee
    • Journal of Conservation Science
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    • v.25 no.4
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    • pp.421-430
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    • 2009
  • This research was carried out focusing on the urgent treatment and related studies for paint scribbling on Samjeondobi Monument (Historic Sites No. 101) in 2007. Before the preliminary test, the paint lacquer used on the surface of Samjeondobi Monument was analyzed. The paint lacquer turned out to be the paint lacquer spray composed of $Pb_3O_4$ used for the red pigment in the market. It was proved that the poultice used with the organic solvent was the best way to remove the paint pollutants following the preliminary test for the removal of paint pollutants which was performed with various removal methods by the laser, etc. However, the removing the paint pollutants was found in difficulty in contrast to the preliminary tests because the paint on the spot was hardened so rapidly over time that there was difference from the situation of the laboratory. For that problem, the poultice method with ethylene dichloride of main component from Remover (goods in the market) was the most efficient, therefore the pollutants were removed with the solution of alkyds resin and nitrocellulose and the rest part was removed by the $Laponite^{(R)}$ RD.

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A Space Skew and Crosstalk Cancellation Scheme Based on Indoor Spacial Information Using Self-Generating Sounds (자체발성음을 이용한 실내공간정보 획득 및 공간뒤틀림/상호간섭 제거기법)

  • Kim, Yeong-Moon;Yoo, Seung-Soo;Lee, Ki-Seung;Kim, Sun-Yong
    • The Journal of Korean Institute of Communications and Information Sciences
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    • v.35 no.2C
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    • pp.246-253
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    • 2010
  • In this paper, a method of removing the space skew and cross-talk cancellation is proposed where the self-generated signals from the subject are used to obtain the subject's location. In the proposed method, the good spatial sound image is maintained even when the listener moves from the sweet spot. Two major parts of the proposed method are as follows: listener position tracking using the stimuli from the subject and removal of the space skew and cross-talk signals. Listener position tracking is achieved by estimation of the time difference of arrival (TDoA). The position of the listener is then computed using the Talyer-series estimation method. The head-related transfer functions (HRTF) are used to remove the space skew and cross-talk signals, where the direction of the HRTF is given by the one estimated from the listener position tracking. The performance evaluation is carried out on the signals from the 100 subjects that are composed of the 50 female and 50 male subjects. The positioning accuracy is achieved by 70%~90%, under the condition that the mean squared positioning error is less than $0.07m^2$. The subjective listening test is also conducted where the 27 out of the 30 subjects are participated. According to the results, 70% of the subjects indicates that the overall quality of the reproduced sound from the proposed method are improved, regardless of the subject's position.

화학기상증착법을 이용한 h-BN의 성장과 그 특성

  • Seo, Eun-Gyeong;Kim, Seong-Jin;Kim, Won-Dong;Bu, Du-Wan;Hwang, Chan-Yong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.08a
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    • pp.407-407
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    • 2012
  • 화학기상증착법(CVD; Chemical Vapor deposition)으로 h-BN을 증착하여 성장 시간에 따른 표면의 특성 및 결정성을 연구하였다. 암모니아 보레인(BH3NH3)을 보론 나이트라이드(Boron Nitride) 박막의 전구물질로 이용하였으며, $70{\sim}120^{\circ}C$로 열을 가하여 열분해하였다. $25{\mu}m$ 두께의 구리 기판을 챔버에 넣어서 Low pressure (~25 mTorr) 상태가 되도록 한다. 25 mTorr 이하의 압력에서 수소 가스 (0.2~1sccm)를 넣고 $20^{\circ}C$/min로 가열한 후 약 한 시간 후에 $990{\sim}1,000^{\circ}C$가 된다. 그 후 Cu foil의 표면을 부드럽게 하고, 산화막을 제거하기 위해 $990^{\circ}C$에서 40 분간 열처리(annealing)한다. 그 후 암모니아 보레인에서 분해된 보라진 가스(borazine; B3H6N3)로 h-BN을 합성한다. 성장 시간이 길수록 더 많은 부분이 보론 나이트라이드에 의해 덮인다는 것을 관찰하였고, 성장 시 주입하는 수소의 양(0.2~5 sccm)과 알곤(0~15 sccm)의 혼합 비율에 따라 보론 나이트라이드의 domain size가 변화함을 알 수 있었다. 그 각각의 차이를 주사 전자현미경(SEM; Scanning Electron Microscopy)을 통해 확인하고, 결정성을 라만 분광(Raman spectroscopy), 광전자 분광(XPS; X-ray photoelectron spectroscopy)으로 비교 분석하였다.

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Cancellation of Motion Artifact in MRI (MRI에 있어서 체동 아티팩트의 제거)

  • Kim, Eung-Kyeu
    • Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SP
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    • v.37 no.3
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    • pp.70-78
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    • 2000
  • In this study, a new method for canceling MRI artifacts through the motion translation of image plane is presented Breathing often makes problems in a clinical diagnosis. Assuming that the head moves up and down due to breathing, rigid translational motions in only y(phase encoding axis) direction are treated Unlike the conventional Iterative phase retrieval algorithm, this method is based on the MRI imaging process and analyzing of Image property A new constraint condition with which the motion component and the true image component in the MRI signal can be separated by a simple algebraic operation is extracted After the x(read out) directional Fourier transformation of MRI signal is done, the y(phase encoding) directional spectrum phasing value is Just an algebraic sum of the Image component and the motion component Meanwhile, as It is known that the density of subcutaneous fat area is almost uniform in the head tomographs, the density distribution along a y directional line on this fat area is regarded as symmetric shape If the density function is symmetric, then the phase of spectrum changes linearly with the position Hence, the departure component from the linear function can be separated as the motion component Based on this constrant condition, the new method of artifact cancellation is presented Finally, the effectiveness of this algorithm IS shown by using a phantom with simulated motions.

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Characteristics of Stacked Probe-Fed Sqare-Ring Microstrip Antenna (적층구조, 프로브 급전방식, 정사각형 링형태 마이크로스트립 안테나 특성에 관한 연구)

  • 이정연;이중근;김성철
    • The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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    • v.12 no.1
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    • pp.143-152
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    • 2001
  • A method for miniaturization of microstrip patch antenna without degrading its radiation characteristics is investigated in this paper. It involves perforating the patch to form a microstrip square-ring antenna, and it's BW enhancement is investigated numerically and experimentally. A ring geometry introduces additional parameters to the antenna, and those are used to control impedances, resonance frequencies, and bandwidths. For a single square ring antenna, an increase of the size of perforation increases its input impedance, decreases the resonance frequency, and bandwidths. But it affects little on directivity of the antenna. To match the antenna to a transmission line and also enhance its bandwidth, the ring is stacked by a square patch or another square ring. Also numerically simulated results by the IE3D, and experimental data are compared for proof.

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A Study on Modified Median Filter for Impulse Noise Removal (임펄스 잡음 제거를 위한 변형된 메디안 필터에 관한 연구)

  • Lee, Kyung-Hyo;Kim, Nam-Ho
    • Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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    • v.13 no.2
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    • pp.376-381
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    • 2009
  • The image data compression, recognition, restoration, etc. are parts of the digital image processing technology. In the process by various devices, noises would be made. Because the noise could damage the image, we use the image filter to preserve the original image from the noise. The image filter used in digital image process basically has a two-dimensional structure. There an two methods of creating the filter - One is reiterating one dimension and the other is using an indivisible two-dimension image filter. The image filter is being widely used along with one-dimension filter according to each noise, and various median filters are being used to remove the impulse noise. In this paper, I suggested a powerful modified median filter, and compared with conventional filters for objective verification.

Vessel skeletonization in X-ray angiogram for coronary artery roadmap generation (관상동맥의 로드맵 형성을 위한 X-ray angiogram 에서의 혈관골격추출)

  • Yun, Hyun-Joo;Song, Soo-Min;Kim, Myoung-Hee
    • Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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    • 2005.05a
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    • pp.1661-1664
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    • 2005
  • 본 논문에서는 computer-aided analysis 의 일환으로 X-ray 심혈관 조영도를 이용하여 관상동맥의 구조를 보여주는 방법에 대해 제시하고자 한다. 관상동맥 폐색증 환자들에게 시술되는 스텐트 삽입 시술이나 관상동맥 우회로 시술을 할 때에는 X-ray 의 조영 영상이 매우 중요한 시술의 기준이 되고 있으며, 조영 영상에서 혈관을 빠르고 정확하게 인식하는 것은 시술의 필수 조건이다. 이러한 시술중의 혈관구조 인식을 돕기 위하여 본 논문에서는 심혈관 조영 영상으로부터 관상동맥의 골격을 추출하기 위한 방법을 제안한다. 본 논문에서는 혈관 구조 추출을 위하여 3 단계 알고리즘을 제시한다. 첫번째 단계에서는 조영도에서 잡음을 제거하기 위하여 동질영역을 블러링할 수 있는 speckle reducing anisotropic diffusion 을 이용한 이미지 필터링을 수행한다. 이 필터링은 영상내 잡음을 제거하고 혈관의 경계선을 강화하여 정확한 영상인식을 가능하게 한다. 두번째 단계에서는 영상 내에서 보여지는 주요 혈관을 분할하는 것이다. 이 영상분할에는 canny edge detection 과 개선된 영역확장법(adaptive region growing)을 동시에 이용하는 복합적 분할기법이 수행된다. 세번째 단계에서는 형태학적 기법(Morphology)을 이용하여 분할결과의 부족한 부분을 보완하고 골격화를 수행하여 정확한 혈관 구조를 추출해낸다. 실험을 위해서는 정상인의 관상동맥 영상 뿐 아니라 혈관이 가늘어지는 폐색이 관찰되는 환자의 영상에 대해서도 실험하였다. 또한 논문에서 제시한 알고리즘에 대한 검증을 위하여 실험 결과들은 의료진의 감수를 거쳤다.

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Appendix Extraction from Ultrasound Image using ART2 (ART2 알고리즘을 이용한 초음파 영상에서의 충수 추출)

  • Kim, Kwang Baek
    • Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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    • v.19 no.11
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    • pp.2540-2545
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    • 2015
  • In this paper, we propose a novel method to extract appendix from ultrasound image automatically to avoid such subjectivity issue. In the process, we apply a series of image processing algorithms such as Ends_in search stretching for emphasizing brightness contrast and binarization, region labelling, and cubic spline interpolation for extracting lower bound fasicia line that is the base of extracting the appendix. Knowing that the appendix is located at the lower organ area below the bottom fascia line, we conduct a series of image processing techniques to find the fascia line correctly. And then we apply ART2 algorithm to the organ area in order to extract appendix accurately. Through experiment, the effectiveness of the proposed method is verified based on the field experts' evaluations.

Defect Extraction of Ceramic Image using Fuzzy Clustering Based Enhanced Fuzzy Binarization (퍼지 클러스터링 기반 개선된 Fuzzy Binarization 기법을 이용한 세라믹 영상에서의 결함 추출)

  • Choi, Cheol Ho;Lee, Jin Yu;Park, Heon Sung;Kim, Kwang Baek
    • Proceedings of the Korean Society of Computer Information Conference
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    • 2019.01a
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    • pp.23-26
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    • 2019
  • 본 논문에서는 X-Ray 영상에서 용접한 부분의 기공이나 균열 등의 결함 영역을 추출하는 새로운 방법을 제안한다. 제안된 방법은 세라믹 X-Ray 영상에서 비등방성 확산 필터를 적용하여 영상의 잡음을 제거하고, 수직 및 수평 히스토그램을 각각 적용하여 용접 영역을 추출한 후, 최소 자승법을 적용하여 배경 밝기를 제거하고, 사다리꼴 형태의 Fuzzy Stretching기법을 적용하여 명암 값을 강조하여 결함 영역과 그 외의 영역간의 명암 대비를 강조한다. 그리고 Fuzzy C_Means 알고리즘을 적용하여 결함 영역을 세분화한 후, Fuzzy C_Means을 적용하여 생성된 클러스터들의 중심 명암 값을 이용하여 ${\alpha}_-cut$을 설정한 후에 임계구간을 구하고 영상을 이진화하여 최종적으로 결함 영역을 추출한다. 제안된 방법의 결함 추출 성능을 확인하기 위하여 세라믹 X-Ray 영상을 대상으로 실험한 결과, 기존의 방법보다 결함 영역이 정확히 추출되는 것을 확인할 수 있었다.

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