• 한국자기학회:학술대회 개요집
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• 한국자기학회 2003년도 하계학술연구발표회 및 한.일 공동심포지엄
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• pp.74-75
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• 2003

• 한국진공학회지
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• 제5권4호
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• pp.315-326
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• 1996

광전자분광 실험방법을 이용하여 희토류(Sm, Eu, Gd, 및 Tb) 화합물 부도체들의 희토류 원소의 3d와 4d 전자의 내각준위의 스펙트럼들을 연구했다. $La_2O_3,\;Ce_2O_3$ 등과 같은 가벼운 희토류 화합물 부도체의 경우와는 달리 Sm 이상의 무거운 희토류 화합물들의 경우는 란탄족 수축(lantanide contraction) 현상에 의한 희토류 원소의 f 전자와 음이온의 p 전자사이의 혼성의 크기가 줄어들면서 이 혼성에 의한 위성구조가 존재하지 않는 것을 알 수 있었다. 또한 Eu 부도체의 안정된 +3가의 화합물들에서 보이는 위성구조는 표면의 전자구조가 덩어리와는 다른 +2가의 전자가를 갖기 때문이라는 것을 밝혔다. 그리고 Eu 3d 전자의 내각준위의 주요 피크에 대하여 대략 10eV보다 큰 결합에너지 영역에 존재하는 위성구조는 $\underline{3d}4f^6$ 전자구조의 여러겹 효과에 의한 것으로 추정된다. 이러한 여러겹 효과는 Gd 부도체 화합물에서도 역시 발견할 수 있는데, Gd 3d 전자의 내각준위의 스펙트럼에의 위성구조는 $\underline{3d}4f^6$ 전자구조의 여러겹 효과에 의한 것이다. 모든 희토류 부도체 화합물들의 3d 전자의 내각준위의 스펙트럼에서 주요 피크에 대하여 대략 15eV보다 큰 결합에너지 영역에서 보이는 위성구조는 플라즈몬을 생성해서 에너지를 잃는 과정에서 발생하는 것이다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.111.2-111.2
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• 2016

주사전자현미경은 시료표면에 전자빔을 주사하여 시료와 전자빔간의 상호작용으로 발생하는 이차전자(SE)와 후방산란전자(BSE)를 이용하여 시료표면을 관찰하는 장비이다. 일반적으로 텅스텐필라멘트를 사용하며, 10E-5 mbar이하 압력의 고진공에서 시료관찰이 이루어진다. 고진공 시료관찰시 도체 시료는 표면 코팅 없이 관찰이 가능하지만, 부도체 시료의 경우 전자빔에 의한 대전(Charging)현상이 발생하여 이미지가 왜곡되며, 이를 방지하기 위해 금, 백금 등의 금속을 표면에 코팅하여야 한다. 하지만 10E-1 mbar 이상 압력의 저진공에서는 부도체 시료도 전자빔에 의한 대전(Charging)현상이 발생하지 않아 생물시료 등의 부도체 시료를 표면코팅 없이 관찰할 수 있다. 본 발표에서는 현재 개발 중인 CeB6 필라멘트를 탑재한 저진공 주사전자현미경의 차동배기구조를 보여준다. 차동배기에 의해 가동 압력 10E-1 mbar이상의 저진공을 유지하는 시료실과 CeB6 필라멘트를 사용하기 위한 10E-6 mbar이하의 고진공을 유지하는 전자총실의 진공 배기특성을 보고한다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2015년도 제49회 하계 정기학술대회 초록집
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• pp.94.2-94.2
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• 2015

주사전자현미경은 나노 크기의 재료 및 바이오 물질의 이미지를 관찰하는 가장 일반적인 분석 장비이다. 주사전자현미경을 이용한 시료 관찰은 주로 10-5 Torr 이하의 고진공에서 이루어진다. 부도체 재료는 전자빔에 의해 대전(charging)이 발생하여 이미지가 왜곡되며, 이를 방지하기 위해 금 등의 금속을 코팅한다. 한편 10-1 Torr 이상 압력의 저진공에서는 부도체 재료도 charging이 발생하지 않아 생물시료등의 부도체 표면을 코팅없이 관찰할 수 있다. 본 발표에서는 현재 개발중인 저진공 관찰 주사전자현미경의 차동배기구조를 보여준다. 또한 차동배기에 의해 가동 압력 10-1 Torr 이상의 시료실과 10-5 Torr이하의 전자총실의 진공 배기특성을 보고하며, 저진공에서의 주사전자현미경 이미지를 보여준다.

• 한국자기학회:학술대회 개요집
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• 한국자기학회 2002년도 춘계연구발표회 논문개요집
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• pp.36-37
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• 2002

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 1992년도 제3회 학술발표회 논문개요집
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• pp.50-50
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• 1992

• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2001년도 춘계학술대회논문집C
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• pp.71-76
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• 2001

In general, it is known that the wear rate of the abrasive and the removal rate of the metal bond of the grinding wheel should be balanced to maintain the depth of the insulating surface layer to an appropriate level. In order to accomplish, the high quality ELID grinding, therefore, it is necessary to measure the depth of the insulating layer in real-time and then to control the electrolytic conditions to keep the depth to a certain level. In this study, an in-process measurement system of the insulated layer using two gap sensors - a capacitor type and an eddy current type - developed and the change of the status of the insulated layer during ELID grinding is detected. And from the experimental data, we have chosen the best mathematical model to predict the depth of the insulating layer.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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• pp.243-243
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• 2011

현재 식각이나 증착, 이온주입 등에 반도체 공정에 플라즈마를 이용하고 있다. 이런 반도체 공정용 플라즈마 용기의 경우 플라즈마에 의한 용기의 스퍼터 등에 의해 금속 입자가 생성되어 공정중인 반도체 웨이퍼에 오염을 줄 수 있기 때문에 대부분의 공정용 용기는 아노다이징 알루미늄이나 세라믹 등을 사용한 부도체 용기를 사용하게 된다. 단일탐침법은 플라즈마내 금속 도체를 삽입한 후 바이어스 전압을 인가하여 전류-전압 특성 곡선을 해석하여 측정하는 방법이다. 하지만 플라즈마와 측정 시스템의 공통된 기준전압이 있어야만 측정이 가능하다는 단점을 가지고 있다. 따라서 일반적으로 많이 사용하는 부도체 용기내의 플라즈마는 기존의 단일탐침법으로 측정이 어렵다. 또한 높은 플라즈마 전위를 가지고 있는 플라즈마의 경우 높은 전압에서 전류-전압특성의 측정시스템을 구축하기 매우 어려운 단점을 가지고 있다. 따라서 이런 경우에도 측정이 가능하도록 축전기의 과도현상을 이용하여 탐침이 전기적으로 부유된 단일탐침법을 연구하였다. 이 방법의 타당성 확인을 위하여 금속용기에서 플라즈마를 발생시켜 기존의 단일탐침법과 부유형 단일탐침법을 비교하였다. 기존의 단일탐침법과 비교 결과는 공정조건에 관계없이 상당히 유사하였다. 따라서 이 방법으로 기존 단일탐침법을 사용할 수 없는 높은 플라즈마 전위의 플라즈마나 부도체용기내의 플라즈마의 측정에 사용할 수 있을 것으로 기대된다.

• 한국지역지리학회지
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• 제23권1호
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• pp.213-226
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• 2017

지리교과서는 부도(atlas)와 함께 공인된 지리 교육 교재로서 교육현장에서 널리 사용되는 책자 형태의 인쇄자료이다. 특히 부도는 지리교과서의 내용을 이해하고 학습하는데 보조적인 역할을 하는 교재로 이해할 수 있다. 본 연구에서는 현행 교과서 검정체제하에서 발행되어 교육현장에서 사용하는 교과서와 부도의 상호보완성이 어떻게 구현되며 이와 관련된 문제점은 무엇인지 검토하였다. 지리 교과서와 사회과 부도는 교육과정에 근거하여 편찬되는데 저자들과 제작자들의 교육과정 해석, 교육적 신념과 관심 등에 따라 검정본을 완성하여 제출한다. 검정과정을 통과한 교재는 비로소 교육현장에 배포되어 지리 학습에 활용된다. 교과서와 부도 두 교재의 내용구성은 하나의 교육과정 진술에 대해 다양한 자료가 제시되고 두 교재에 제시된 자료는 상호보완적으로 구성되어 있지만, 때로는 각각의 교과서에 유사한 자료가 제시되거나 교과서에 제시된 자료와 사회과 부도 내용상 구성이 중복되거나 독립적일 수 있다. 현재와 같은 교과서 검정 제도하에서 두 교재가 효율적으로 지리 학습에 활용될 수 있는 방안이 모색되어야 할 것이다.

• 지구물리
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• 제1권1호
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• pp.51-58
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• 1998

단극배열을 사용하는 시추공-시추공 전기비저항 탐사법의 문제점을 파악하기 위하여 원통형 2차원 이상체에 대한 이론해로부터 겉보기 비저항 및 2차전위 분포양상을 계산하고 이를 분석하였다. 분석결과 시추공-시추공 전기비저항 탐사에서 2차원 이상체가 전도체일 경우는 물론이고 부도체일 경우에도 모두 모암의 비저항보다 낮은 겉보기 비저항을 나타낸다. 따라서 단극배열을 사용하여 획득한 시추공-시추공 전기비저항 탐사자료만으로 시추공 사이에 존재하는 이상체의 전도도에 관한 해석이 거의 불가능하다. 이러한 문제점의 해결을 위해서는 3차원 자료획득 및 해석이 필요하며, 이의 실현이 불가능할 경우에는 적어도 동일 시추공 자료를 이용해야만 이상체의 전도도에 관한 해석이 가능해 진다.