• Title/Summary/Keyword: 부도체

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Study of electronic structures of insulating rare-earth compounds by x-ray photoelectron spectroscopy (광전자분광법을 이용한 희토류 부도체 화합물들의 전자구조 연구)

  • 조은진;오세정
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.5 no.4
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    • pp.315-326
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    • 1996
  • The electronic structures of 3d and 4d core-levels of rare-earth atoms in the insulating rare-earth (Sm, Eu, Gd, and Tb) compounds were studied with x-ray photoelectron spectroscopy(XPS). It is shown that the intrinsic satellite structure due to the hybridization disappears for chemically stable-earth trivalent heavy rare-earth insulating compounds as the hybridization between f electrons of rare-earth atoms and p electrons of anion atoms decreases due to the lanthanide contraction. Eu atoms at the surface of the stable insulating trivalent Eu compounds are found to be divalent. The satellite peak of Eu 3d core-level spectra at about 10eV higher binding energy side relative the main peak comes from the multiplet structures of $\underline{3d}4f^6$ configuration. The satellite structure appearing at about 15 eV higher binding energy side relative to the main peak in all insulating rare-earth compounds is due to an energy loss process of creating a plasmon.

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CeB6 필라멘트를 탑재한 저진공 주사전자현미경의 개발

  • Seol, In-Ho;Bae, Mun-Seop;Park, In-Yong;Jo, Bok-Rae
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2016.02a
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    • pp.111.2-111.2
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    • 2016
  • 주사전자현미경은 시료표면에 전자빔을 주사하여 시료와 전자빔간의 상호작용으로 발생하는 이차전자(SE)와 후방산란전자(BSE)를 이용하여 시료표면을 관찰하는 장비이다. 일반적으로 텅스텐필라멘트를 사용하며, 10E-5 mbar이하 압력의 고진공에서 시료관찰이 이루어진다. 고진공 시료관찰시 도체 시료는 표면 코팅 없이 관찰이 가능하지만, 부도체 시료의 경우 전자빔에 의한 대전(Charging)현상이 발생하여 이미지가 왜곡되며, 이를 방지하기 위해 금, 백금 등의 금속을 표면에 코팅하여야 한다. 하지만 10E-1 mbar 이상 압력의 저진공에서는 부도체 시료도 전자빔에 의한 대전(Charging)현상이 발생하지 않아 생물시료 등의 부도체 시료를 표면코팅 없이 관찰할 수 있다. 본 발표에서는 현재 개발 중인 CeB6 필라멘트를 탑재한 저진공 주사전자현미경의 차동배기구조를 보여준다. 차동배기에 의해 가동 압력 10E-1 mbar이상의 저진공을 유지하는 시료실과 CeB6 필라멘트를 사용하기 위한 10E-6 mbar이하의 고진공을 유지하는 전자총실의 진공 배기특성을 보고한다.

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저진공 주사전자현미경의 개발

  • Seol, In-Ho;Park, In-Yong;An, Sang-Jeong;Kim, Gwang-Il;Gang, Geun-Won;Jo, Bok-Rae
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2015.08a
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    • pp.94.2-94.2
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    • 2015
  • 주사전자현미경은 나노 크기의 재료 및 바이오 물질의 이미지를 관찰하는 가장 일반적인 분석 장비이다. 주사전자현미경을 이용한 시료 관찰은 주로 10-5 Torr 이하의 고진공에서 이루어진다. 부도체 재료는 전자빔에 의해 대전(charging)이 발생하여 이미지가 왜곡되며, 이를 방지하기 위해 금 등의 금속을 코팅한다. 한편 10-1 Torr 이상 압력의 저진공에서는 부도체 재료도 charging이 발생하지 않아 생물시료등의 부도체 표면을 코팅없이 관찰할 수 있다. 본 발표에서는 현재 개발중인 저진공 관찰 주사전자현미경의 차동배기구조를 보여준다. 또한 차동배기에 의해 가동 압력 10-1 Torr 이상의 시료실과 10-5 Torr이하의 전자총실의 진공 배기특성을 보고하며, 저진공에서의 주사전자현미경 이미지를 보여준다.

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In-Process Measurement of Insulating Layer in ELID-Grinding (ELID 연삭에서 부도체 피막의 실시간 계측)

  • Kim, Hwa-Young;Ahn, Jung-Hwan;Seo, Young-Ho
    • Proceedings of the KSME Conference
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    • 2001.06c
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    • pp.71-76
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    • 2001
  • In general, it is known that the wear rate of the abrasive and the removal rate of the metal bond of the grinding wheel should be balanced to maintain the depth of the insulating surface layer to an appropriate level. In order to accomplish, the high quality ELID grinding, therefore, it is necessary to measure the depth of the insulating layer in real-time and then to control the electrolytic conditions to keep the depth to a certain level. In this study, an in-process measurement system of the insulated layer using two gap sensors - a capacitor type and an eddy current type - developed and the change of the status of the insulated layer during ELID grinding is detected. And from the experimental data, we have chosen the best mathematical model to predict the depth of the insulating layer.

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축전기의 과도 현상을 이용한 부유형 단일탐침 플라즈마 진단법 연구

  • Choe, Ik-Jin;Jeong, Jin-Uk
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.243-243
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    • 2011
  • 현재 식각이나 증착, 이온주입 등에 반도체 공정에 플라즈마를 이용하고 있다. 이런 반도체 공정용 플라즈마 용기의 경우 플라즈마에 의한 용기의 스퍼터 등에 의해 금속 입자가 생성되어 공정중인 반도체 웨이퍼에 오염을 줄 수 있기 때문에 대부분의 공정용 용기는 아노다이징 알루미늄이나 세라믹 등을 사용한 부도체 용기를 사용하게 된다. 단일탐침법은 플라즈마내 금속 도체를 삽입한 후 바이어스 전압을 인가하여 전류-전압 특성 곡선을 해석하여 측정하는 방법이다. 하지만 플라즈마와 측정 시스템의 공통된 기준전압이 있어야만 측정이 가능하다는 단점을 가지고 있다. 따라서 일반적으로 많이 사용하는 부도체 용기내의 플라즈마는 기존의 단일탐침법으로 측정이 어렵다. 또한 높은 플라즈마 전위를 가지고 있는 플라즈마의 경우 높은 전압에서 전류-전압특성의 측정시스템을 구축하기 매우 어려운 단점을 가지고 있다. 따라서 이런 경우에도 측정이 가능하도록 축전기의 과도현상을 이용하여 탐침이 전기적으로 부유된 단일탐침법을 연구하였다. 이 방법의 타당성 확인을 위하여 금속용기에서 플라즈마를 발생시켜 기존의 단일탐침법과 부유형 단일탐침법을 비교하였다. 기존의 단일탐침법과 비교 결과는 공정조건에 관계없이 상당히 유사하였다. 따라서 이 방법으로 기존 단일탐침법을 사용할 수 없는 높은 플라즈마 전위의 플라즈마나 부도체용기내의 플라즈마의 측정에 사용할 수 있을 것으로 기대된다.

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A Study on the Mutual Complement between Geography Textbook and Students' Atlas as a Geographic Learning Material (지리 교육 교재로서 지리교과서와 사회과부도의 상호보완성에 대한 연구)

  • Yoon, Okkyong
    • Journal of the Korean association of regional geographers
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    • v.23 no.1
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    • pp.213-226
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    • 2017
  • Geography textbooks and atlases are typical printed materials broadly used in the classroom and the public education as certified materials. The students' atlas, as supplementary materials, is useful in teaching and learning geography in the classroom. This study examines and evaluates the supplementary role of the students' atlas in the institutional and pedagogical perspectives. The textbook and the atlas were written by different writers and publishers based on the interpretation of the geography curriculum, the pedagogical beliefs and interests. The textbook is submitted to be certificated by Ministry of Education. Then the textbook and the atlas which is passed in the certification process can be distributed to schools to use in the classroom. Most maps and materials are supplied in the textbook and the atlas variously depended on the authors' interpretation of geography curriculum, which are designed complementally. But, that maps and materials of respective book of even different author are similar and duplicated. Sometimes maps and materials of textbook and atlas are independent, not mutual complement. It needed that geography textbook and student's atlas take a efficient role supplementarily in these certification system of textbook.

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A problem in the cross-hole resistivity method using pole-pole array (단극배열을 이용한 시추공-시추공 전기비저항 탐사법의 문제점)

  • Jo, In Gi;Choe, Gyeong Hwa
    • Journal of the Korean Geophysical Society
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    • v.1 no.1
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    • pp.51-58
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    • 1998
  • A numerical program has been developed to model 2-D resistivity responses for a pole-pole array configuration in cross-hole resistivity measurements. Apparent resistivity and secondary potential were computed using the program for a cylindrical inhomogeneity in an uniform host medium excited by a point source of current in a borehole. Surprisingly apparent resistivity in the receiver hole turns out to be lower than the one of surrounding medium regardless of the conductivity of cylindrical inhomogeneity. Using only cross-hole data, therefore, it is impossible to interpret the conductivity of inhomogeneity. To overcome this problem, 3-D measurement and interpretation are necessary. If 3-D data acquisition is impossible, inline data should be used to get the information about the conductivity of inhomogeneity.

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