Effect the Additive Gas on the Bonding Structure and Mechanical Properties of the DLC Films Deposited by the RF-PECVD (RF-PECVD 법에 의해 증착된 DLC 박막의 기계적 특성과 결합구조에 대한 보조가스의 영향)
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- Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference
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- 2003.04a
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- pp.139.2-139
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- 2003