Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
권호 표지

Effect the Additive Gas on the Bonding Structure and Mechanical Properties of the DLC Films Deposited by the RF-PECVD

RF-PECVD 법에 의해 증착된 DLC 박막의 기계적 특성과 결합구조에 대한 보조가스의 영향

  • 최봉근 (한양대학교 세라믹공학과 세라믹공정연구센터) ;
  • 양원재 (한양대학교 세라믹공학과 세라믹공정연구센터) ;
  • 김재광 (한양대학교 세라믹공학과 세라믹공정연구센터) ;
  • 오근호 (한양대학교 세라믹공학과 세라믹공정연구센터) ;
  • 심광보 (한양대학교 세라믹공학과 세라믹공정연구센터)
  • Published : 2003.04.18
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords