RF-PECVD 법에 의해 증착된 DLC 박막의 기계적 특성과 결합구조에 대한 보조가스의 영향 (Effect the Additive Gas on the Bonding Structure and Mechanical Properties of the DLC Films Deposited by the RF-PECVD)
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- 한국세라믹학회:학술대회논문집
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- 한국세라믹학회 2003년도 춘계총회 및 연구발표회 초록집
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- pp.139.2-139
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- 2003