• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1994.06a
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• pp.54-69
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• 1994

메탄을 원료가스로 하여 ppECVD에 의해 다이아몬드성 탄소(DLC) 박막을 형성하였 으며 이 때 인가전력의 크기 및 주파수 그리고 보조가스의 종류가 opptical band gapp의 크 기에 미치는 영향에 대하여 연구하였다. DLC 박막의 opptical band gapp은 증착되는 이온의 에너지가 증가할수록 감소하였으며, 불활성 기체를 보조가스로 사용하는 경우 인가전력에 따른 opptical band gapp의 크기가 큰 폭으로 심화되었다. 수소를 보조가스로 사용한 경우는 높은 인가전력(100W)에서 opptical band gapp이 증가하는 것으로 밝혀졌으며 본 연구에서 새로이 제안된 증착기구의 모델에 의해 적절한 설명이 가능하였다.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.7 no.1
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• pp.8-14
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• 1997

DLC막은 여러가지 기술적인 응용에 매우 기대된느 재료이다. 탄화수소 가스의 플라즈마 분해에 의해 증착되는 DLC 막은 높은 경도, 화학적 안정성, 높은 전기 저항성, 적외선 영역의 투과성 등의 여러가지 우수한 성질을 지니고 있다. 그러나 이들막은 높은 내부응력으로 인하여 실제 응용에 상당한 제약을 받고 있다. 본 연구에서는 rf PECVD 법에 의해 합성된 다이아몬드상 탄소막을 보조가스 첨가에 따른 영향에 대하여 조사하였다. 수소가스를 첨가하여 합성된 DLC막의 잔류응력 거동은 낮은 이온 에너지 (V$_{b}$ $P^{1}$2/-20Volt/m Torr)에서 최대 잔류응력이 발생되지만, 질소 가스를 첨가시키면 높은 이온(V$_{b}$ P$_{1}$2/->70Volt/m Torr)에너지 영역에서 잔류응력의 감소가 나타났다. 수소 량이 증가하면 ion bombardment와 식각 작용을 하고, 질소의 경우 막의 표면 스퍼터링 현상이 발생되었다. 보조가스 첨가에 따라 S$P^{3}$net work구조의 생성과 소멸의 결합 구조를 형성하여, 보조가스 첨가는 DLC막의 잔류응력 거동에 영향을 미치는 것을 알 수 있었다. 이온 에너지에 따른막의 비저항은 막 합성 공정 조건에 관계없이 $10^{6}$-$10^{7}$ Ωm 의 범위에서 분포하고 있는 것으로 조사되었다. 이는 메탄가스(rf PECVD)로 합성된 DLC막의 비저항과 거의 일치하는 것으로 나타났다.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.9 no.11
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• pp.1088-1094
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• 1999

본 연구에서는 rf PECVD(13.56MHz)법을 이용하여 $CH_4$가스에 소량의 보조가스($O_2$와 $N_2$)를 혼합하여 a-C:H 박막을 얻었다. 이렇게 얻어진 박막의 증착속도는 rf power 증가에 따라서 증가하다가 200W에서는 다시 감소하였으며, 산소와 질소가스의 유량이 증가함에 따라 감소하였다. FT-IR분석으로 계산된 박막내의 수소함량은 rf power 증가와 산소 및 질소첨가량의 증가에 따라 감소하였다. 산소가스 첨가 시에는 C=O 결합이 생성되며, 질소가스 첨가 시에는 C=N 결합이 생성됨을 FT-IR 분석을 통하여 알 수 있었다. 이와 같이 산소와 질소를 보조가스로 첨가할 경우에 스퍼터링 효과로 박막내의 수소함량 감소와 더불어 a-C:H 박막의 구조 변화를 일으킬 수 있을 것으로 생각된다. Raman 분석결과 산소와 질소를 첨가함에 따라서 I(sub)D/I(sub)G비가 증가하였고, D line과 G line의 위치가 높은 파수 쪽으로 이동하였으며, D line의 폭은 넓어지는 반면에 G line의 폭은 감소됨을 보였다. 이것은 산소와 질소의 첨가로 박막내의 수소함량 감소, 결합각의 disorder 감소 및 micro-crystallite 흑연의 형성에 의한 것이라고 판단된다.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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• v.36 no.3
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• pp.233-240
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• 2012

An experimental study to improve the impingement characteristics of the assist gas in laser cutting was carried out. For various assist-gas pressures, and locations and installation angles of the nozzle, the characteristics of the impingement of the jet from a supersonic rectangular nozzle were compared to those previously observed for typical circular nozzles. Schlieren flow visualizations and Pitot pressure measurements downstream of the kerf surface were utilized for this purpose. The present rectangular supersonic nozzle decreased the strength of the Mach disc occurring at the corner of the kerf surface, and thus, could weaken the separation of the assist gas on the kerf surface and increase the Pitot pressures downstream compared to conventional circular nozzles.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.3 no.4
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• pp.420-425
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• 1994

메탄을 원료가스로 하여 PECVD에 의해 다이아몬드성 탄소(DLC) 박막을 형성하였으며 이때 인 가전력의 크기 및 주파수 그리고 보조가스의 종류가 optical band gap의 크기에 미치는 영향에 대학여 연구하였다. DLC 박막의 optical band gap 은 증착되는 이온의 에너지가 증가할수록 감하였으며 불활성 기체를 보조가스로 사용하는 경우 인가전력에 따른 optical band gap의 크기가 큰폭으로 감소하였다. 소 소를 보조가스로 사용한 경우는 높은 인가전력(100W 이상)에서 optical band gap이 증가하는 것으로 밝 혀졌으며 본 연구에서 제안된 증착 기수의 모델에 의해 적절한 설명이 가능하였다.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.4 no.2
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• pp.152-158
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• 1994

Diamondlike carbon thin film have been fabricated using methane as a reactive gas by plasma enhanced chemical vapor deposition. Effects of hydrogen gas on the optical properties of the thin film has been investigated. When the hydrogen was used as a secondary gas, the role of hydrogen changed with deposition power unlike inert gases such as Ar and He. From the changes of optical band gap and FT-IR analysis, it was predicted that the chemical etching, sputtering of C-H bond by hydrogen and the implantation of hydrogen into the thin film could occur. The validity of the possibilities was confirmed by examining the effect of secondary gases such as Ar and He.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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• v.35 no.2
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• pp.153-160
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• 2011

The characteristics of supersonic coaxial/off-axis jet impingements on a slanted kerf surface were experimentally studied, to investigate the role of the assist gas that removes molten materials from cut zone formed by laser machining. In this parametric study, hundreds of high-resolution schlieren images were obtained for various gas pressures, distances between nozzle exit and kerf surface, kerf widths, and alignments of off-axis nozzle. It was noticed that simply increasing the assist gas pressure was not effective in eliminating the flow separation that occurs downstream of the kerf surface. However, it was also observed that by increasing the kerf width and utilizing off-axis nozzles, the separation of the assist gas on the kerf surface can be weakened. The effect of the distance between the nozzle exit and the kerf surface on the characteristics of separation occurring on the kerf surface was found to be lower in the case of supersonic nozzles than that in the case of sonic nozzles.

• Transactions of the Korean hydrogen and new energy society
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• v.22 no.5
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• pp.735-740
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• 2011

본 연구에서는 직접분사식 CNG기관의 희박한계를 보다 확장하여 고효율 및 저배기 공해를 실현시키고자 실린더 내에 고압의 천연가스를 직접분사함과 동시에 흡입과정 중 흡기관 내에 소량의 저압천연가스를 보조분사하는 경우의 희박한계 확장 및 제반특성에 대해 검토하였다. 그 결과, 흡기보조분사가 없을 경우 희박한계가 ${\lambda}$ = 1.4 까지였으나, 흡기보조분사율이 5~15% 정도에서는 희박한계가 ${\lambda}$ = 1.5 까지 확장되었다. 이는 흡기보조분사에 따른 혼합기의 혼합율 향상에 기인한 것으로 해석하였다. 연소기간은 줄어들었지만, 흡기보조분사의 효과는 주연소기간에서 조기연소기간보다 강하게 나타났다.

• Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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• v.25 no.4
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• pp.145-152
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• 2015

In this work, we were investigated the effect of the additive gases on the relationship between bonding structure and mechanical properties of the deposited films when the DLC films were deposited on Si-wafer by the rf-PECVD method with the addition of small amounts of carbon dioxide and nitrogen to the mixture gas of methane and hydrogen. The deposition rate of the films increased as the rf-power increased, while it decreased with increasing the amount of additive gases. Also, as the carbon dioxide gas increased, the hydrogen content in the films decreased but the $sp^3/sp^2$ ratio of the films increased. In case of nitrogen gas, the hydrogen content decreased, however the $sp^3/sp^2$ ratio and nitrogen gas flow rate did not show a specific tendency.

• Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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• v.35 no.6
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• pp.773-778
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• 2011

The International Maritime Organization(IMO) could try to adopt more severe amendment to prevent any air pollution from various waste materials by marine incinerator. This study is to analyse the performance improvement through Ansys CFD about new invented system which has three flue-gas discharge channels and sub-ejector installed in the dischage channel in order to evacuate flue-gas well from the combustion chamber. The results showed that the discharge temperature of flue-gas was below the regulated value of IMO by the multi-channels, and the sub-ejector system installed in the discharge channel was highly effective one to improve the flue-gas discharge ability.