증착각도에 따른 $As_{40}Se_{15}S_{35}Ge_{10}$ 박막의 비정질상 변화에 관한 연구
(A Study on the Amorphous Phase Change of Obliquely Deposited $As_{40}Se_{15}S_{35}Ge_{10}$ Thin Films)
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- 한국진공학회지
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- 제2권1호
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- pp.85-91
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- 1993