• Korean Architects
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• no.12 s.344
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• pp.44-48
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• 1997

고 배기형 선생에 관한 역사자료를 정리하는 작업에 있어 본론의 내용이 부실한 듯해 안타까움을 느끼곤 한다. 고인에 관한 자료가 말소되다시피해 기록이 전무한 상태여서 건축가의 인생이 허무함을 느끼기도 하지만, 무엇보다 구조사를 중심으로 고인의 업적이 보존되어 한국건축역사를 보다 투명하게 평가할 수 있는 풍토가 정착되지 못한 것이 아쉬울 따름이다. 구조사를 이어가는 윤홍갑 소장에게서 배기형 선생에 관한 증언을 기대하던 중 윤소장이 갑작스런 건강악화로 서울대 병원에 입원하게 돼 필자가 기대하던 보다 알찬 자료지원을 포기할 수 밖에 없었다. 윤소장의 빠른 쾌유를 기원하면서 배기형 선생의 전기를 짜맞추어 원고를 이어가는데 전화, 메모 등으로 협력하여 주신 증인(특히 공장설계에 관한 증언은 김창서 소장, 최영규 교수, 주경재 교수 협조 내용임) 여러분에게 지면을 빌어 감사드린다.

• Journal of KSNVE
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• v.5 no.4
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• pp.468-472
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• 1995

능동배기소음제어용 능동형 머플러의 배발은 자동차의 고출력 요구, 연비 향상 그리고 배기 소음규제의 강화 등의 이유로 개발의 필요성이 높아지고 있다. 외국의 경우 N.C.T, TRRL, M.H.I에서는 증동형 머플러의 개발을 위해서는 배기 가스 나 심한 충격에서 성능을 지속할 수 있는 액츄에이터와 센서의 설계, 개발을 전제로 하고 있다. 따라서 이러한 기술의 개발은 여러 능동제어기술의 발단을 촉진할 수 있다는 점에서 필수적이다고 할 수 있겠다. 능동형 머플러와 기존의 수동형 머플러 의 조합을 통해 광데역의 배기 소음을 저감할 수 있는 머플러의 개발은 연급한 장점 뿐만 아니라 독자적인 배기계 설계 기술을 확보한다는 점에서 연구 개발이 필요하다 고 볼 수 있다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.119.1-119.1
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• 2016

크라이오 워터펌프(CWP)는 크라이오 펌프(CP)와 달리 10 K 활성탄 어레이는 장착하지 않고 100 K 정도로 냉각시킨 배플만을 사용하여 물의 배기속도를 최적화 하는 데 초점을 맞춘 진공펌프다. 용기 압력이 10-9 mbar 대가 될 때까지는 잔류기체의 90% 이상이 수분이므로 다른 기체들의 배기 보다는 물을 잘 배기하는 것이 배기시간을 단축하고 도달 진공도를 낮추는 첩경이라는 아이디어에 근거를 두고 있다. CWP는 물 흡착확률을 거의 1에 가깝게 만들어서 오리피스 컨덕턴스에 육박하는 이상적인 펌프를 제작할 수 있지만 용도상 직부형(close type), 통과형(in-line type) 및 내장형(in-vessel type) 등 세 가지 다른 형태에 따라 성능도 약간씩 다르다. CWP는 모든 기체에 반응하는 정통적인 CP에 비해 훨씬 간단하고 저렴하게 만들 수 있으면서도 진공 시스템에 큰 영향을 미칠 수 있지만 물 이외의 기체들을 배기할 펌프가 필요하다는 측면에서 활용에 제약이 있다. 만일 TMP를 이미 사용하고 있거나 작은 TMP를 추가로 달아서 충분히 작동이 가능한 시스템이면서 수분 발생이 많은 곳이나, 또 활성탄의 오염이나 산소 분위기 등 CP 투입이 꺼려지는 환경이라면 CWP 사용이 좋은 선택이 될 수 있다. CWP의 물 배기용량은 CP의 알곤이나 질소 배기용량에 준하는 크기로 0.5g/cm2 이상임이 실험적으로 입증되었다. 따라서 일반적인 상황에서 정상 작동시 대부분의 기체는 TMP로 배출하고 잔류 수분만 포집하므로 CP처럼 주기적인 재생이 필요 없다. 필요하다면 CWP는 금속 표면에 응축된 물을 드라이펌프 작동만으로 쉽게 제거할 수 있고 혹시 오염 물질이 붙어도 세척이 용이하다. 이런 사용상 융통성과 여러 가지 장점에도 불구하고 그동안 물배기에 대한 인식이 미흡하고, 또 부수적이고 추가적인 비용이 드는 것으로 생각되어 주목을 받지 못했지만 디스플레이와 반도체 산업을 필두로 물 분압을 낮추고 생산수율을 높이는 것에 점점 더 관심이 높아지면서 CWP에 대한 수요도 높아지고 있다. 본 보고에서는 20인치 통과형 CWP를 만들고 14인치 TMP에 얹어 복합 진공배기시스템을 구성한 후 물 배기속도와 알곤, 질소 및 수소 배기속도를 측정하고 예측치와 비교했다. 아울러 물 배기용량 측정 및 CWP의 온도제어와 펌프재생 특성 평가 결과도 정리했다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.153-153
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• 2014

건식 진공펌프(dry vacuum pump)는 기계적 저진공펌프 중 펌프 내부의 기체 배기통로에 오일을 전혀 사용하지 않는 펌프의 통칭으로써, 대개 비접촉형으로 여러 형태의 회전자가 고속으로 회전하면서 흡기구로부터 들어온 기체를 압축해 배기를 한다. 비접촉형에는 루츠(roots)형, 클로(claw)형, 스크류(screw)형, 스크롤(scroll)형 등이 있다. 그 중 스크류형 펌프는 큰 배기속도를 갖는 펌프의 설계에 유리하고 높은 운용온도가 가능하여 다수공정에 쉽게 적용할 수 있는 장점이 있다. 그러나 1단 펌프 구성을 갖게 됨에 따라 루츠형 대비 높은 소비전력 특성을 보이는 약점을 가지고 있다. 본 논문에서는 건식 진공펌프 중의 하나인 스크류형 진공펌프에 대하여, 기본적인 1단 펌프 구성에 스크류 리드(lead)의 변화를 주어 기존의 똑같은 리드의 스크류 진공펌프에 대한 소비전력 및 배기구 온도 등 스크류 형상에 대한 성능평가 연구를 진행 하고자 한다.

• Korean Architects
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• no.11 s.343
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• pp.42-46
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• 1997

한국근대건축역사 자료로서 정확하고 객관성 있는 사실을 기록하기 위하여 증인들의 체험담을 토대로 정리하였다. 특히, 배기형 선생의 초기 활동 내용과 건축가상은 함성권(전 한양대 교수), 장기수(현 부산동인건축)씨와 신건축문화연구소 시절부터 10년간 재직한 김창서(현 협화건축)소장, 그리고 함성권 교수의 구조담당 조수로서 배기형의 건축작품 활동상을 가까이서 지켜본 주경재(현 건국대)교수, 실습생으로 신건축문화연구소 시절과 1959년 군제대후 구조사 복직 근무한 최영규(현 인하대)교수의 생생한 증언을 토대로 정리하였다. 후기의 활동상은 현 구조사 대표 윤홍갑 소장과 그 당시 근무했던 이동배(현 인하대)교수, 이문섭(현 인하대)교수가, 그리고 1970년대 구조사를 윤소장에 물려주고 난 뒤의 활동상은 김석철(현 아키반), 방수일(현 범일건축)소장의 증언을 토대로 하였다. 보다 객관성있는 기록을 위해서 각 증인들은 자신의 기억이 불투명한 경우 당시에 관련되었던 또다른 증인을 찾아서 확인하는 성의를 보여주는 등 사실에 충실할 수 있도록 협조해 주었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.02a
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• pp.34-34
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• 2011

본 논문에서는 반도체의 제조공정 중 작동되는 건식 전공펌프에서 측정한 다중변수들의 통계적, 물리적 특성을 소개한다. 흡기부 및 배기부 압력과 부스터/드라이펌프의 소비전류와 같은 상태변수의 변위 분포는 2개 이상의 특징적인 구간으로 나뉘는 특성을 가지고 있다. 특히 흡기부 압력 데이터는 펌프의 성능상태를 직접적으로 나타내는 배기 속도를 유추할 수 있는 특성을 내포하고 있다. 이러한 관측을 통해 발견한 통계학적 특성을 나타내기 위해 적응형 인자모델(APM)을 이용한 진공펌프 시스템의 실시간 진단 기법을 개발하였다. 동시에 공정 중에 배기속도를 유추 할 수 있는 배기속도지표(PSI)를 제안하여 펌프의 성능 상태를 간접적인 방법으로 관찰하는 기법을 개발하여, 두 기법을 통한 진공펌프 시스템의 상태변화 진단 결과의 경향이 동일함을 확인하였다.

• Korean Architects
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• no.10 s.342
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• pp.101-105
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• 1997

건축가 故배기형. 그의 심미관과 독특한 건축세계는 예리한 해부학적 관점과 결부되는 구성에 크게 비중을 두면서도 거기엔 새로움이 스며있다. 지금도 우리는 한일은행 을지로지점(1962), 한전 영월 제2화력 발전소(1962), 유네스코빌딩(1966) 등 건축사에 기록된 작품들에서 그의 건축가로서의 완숙된 건축적 기량과 높은 전문성을 읽을 수 있다. 그러나 막상 건축가 배기형에 대한 연재를 시작하려다 보니 안타깝게도 그의 건축가로서의 행적에 관한 자료가 많지 않을 뿐더러 성장과정 역시 그와 가까웠던 몇몇 분들의 증언에 의존할 수 밖에 없다. 그래서 본지는 고 배기형 선생의 문하생이었던 인하대 원정수교수의 도움을 얻어 그에 관한 기록과 자료를 찾는 일에서부터 시작해 주변인물들의 증언을 통해 건축가로서의 역정과 작품세계를 총3회에 걸쳐 연재한다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.109.2-109.2
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• 2016

현민지브이티(Genesis)는 중소기업청 중소기업개발지원사업의 일환으로 진행된 2014년도 구매조건부 신제품 개발사업에 선정되어 '극저온 G-M냉동기를 이용한 대용량 Cold Trap개발'과제를 수행하면서 32인치 급으로 수분에 대해서 30,000[L/s] 이상의 배기속도를 가지는 대형 CWP를 개발하고 있다. 1차년도(2015년) 목표는 80K에서 200W급 단단 G-M극저온 냉동기를 개발하는 것이고, 2차년도(2016년) 목표는 이를 장착하여 30,000[L/s]의 물 배기속도 능력을 갖춘 32인치(800mm)급 직부형(appendage) CWP를 개발하는 것이다. 여기에서 가장 큰 문제점은 CWP 시스템의 물 배기속도를 실제로 측정하는 것이다. 왜냐하면 지금까지는 물(H2O)이 가진 독특한 물리적 특성으로 인해 배기속도 측정에 많은 어려움이 있어 이론적으로 계산한 값을 사용해 왔다. (심지어 크라이오 펌프 제조사 조차도 실험하지 않고 이론적인 계산 값을 일반적으로 사용한다.) 그러나 최근 본 과제 외에 물 배기속도 측정에 관한 요구사례와 일부 크라이오 펌프 제조사에서 수행하고 있다는 보고가 있는 바, 실제 물배기속도 시스템을 구축하여 이론과 실제 사이의 차이와 측정의 어려움 등에 관해 규명하고자 하였다. 물 배기속도 측정 방법은 크게 2가지로 나눌 수 있다. 첫째, 시스템으로 흘리는 물의 양을 Liquid MFC를 이용하여 먼저 측정한 후 Vaporizer로 보내어 기화 시키며 배기속도를 측정하는 방법. 둘째, 물을 Vaporizer로 먼저 기화시킨 후에 High Temp. MFM으로 기체 유량을 측정하며 배기속도를 측정하는 방법이 그것이다. 이에 국내 최초로 두 가지 방법 모두를 사용하여 표준화 된 물 배기속도 측정 설비를 구축하였고, 20인치(500mm) 크라이오 펌프와 인라인(inline)형 CWP 모델에 대한 물 배기속도 측정을 성공적으로 완료할 수 있었다. 향후 본 시험 방법과 결과를 토대로 32인치(800mm) 직부형 CWP 모델에 대한 물 배기속도 측정시험을 수행하고자 한다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.08a
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• pp.94-94
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• 2011

본 논문은 "차세대 반도체용 진공공정의 실시간 측정/진단/제어 기술개발"과제의 제 3 세부과제 "스마트형 진공 배기 진단 제어 시스템 개발"의 주요 연구 실적을 소개한다. 본 세부과제는 (1)진공펌프 및 배기 시스템의 다중 상태변수 측정 장치 개발, (2)공정별 펌프 상태 및 공정 조건 data base 구축 및 진단 알고리즘 개발(e-Diagnostics Level 2 FDC 수준), (3)공정별 펌프 상태 변수 측정을 통한 자기 진단 기술 개발(e-Diagnostics Level 2 FDC 수준), 그리고 (4)측정/통신 PMS (Pump Monitoring System) 개발(통신속도 56k bps 이상, e-Diagnostics Level 0~1)을 최종 목표로 추진되어 왔다. 첫 번째 주요실적은 진공배기시스템의 다중 상태변수 측정 및 평가 장치를 성공적으로 개발하였다. 본 장치는 현장에서 진공펌프의 배기속도를 3% 이내로 정밀하게 측정할 수 있는 소닉 노즐을 이용한 배기속도 측정 장치 및 기술을 성공적으로 개발 완료하였다. 그리고 측정 가능한 상태변수는 20종에 달하며 이들을 이용하여 진공펌프의 성능인자 15종과 특성치 9종을 종합적으로 평가할 수 있는 능력을 갖추었다. 두 번째 주요실적은 공정별 진공배기시스템의 자기진단 및 예지보수 기수 개발이다. 연구에서 개발된 적응형 인자모델을 이용한 상태진단 기술은 이미 학회 논문으로 소개되었으며 본 기법은 기존의 시계열 상태변수를 이용한 기존의 상태진단 기법보다 메모리 소요량을 100배로 줄였으며 그리고 연산양은 10% 이하로 줄인 획기적인 기법이라 할 수 있다. 세 번째 주요실적은 상태변수 측정, 통신, 제어 및 공정적응 기능 통합형(smart) PMS(pumper monitoring system) 개발이다. 본 장치는 CAN통신 기법을 새로이 채택하였으며 한 대의 PC로 64대의 단위 진공펌프들의 운전 상태변수를 실시간으로 수집할 수 있도록 하였다. 그리고 운전 중인 개별 진공펌프들의 운전 상태진단은 적응형 인자모델을 이용한 상태진단 기술을 응적용함으로써 매우 정확한 상태진단을 매 batch마다 수행할 수 있는 기능을 제공한다.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers
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• v.10 no.3
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• pp.392-398
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• 1986

It is often occurred that exhaust pipe of an internal combustion engine should be bent due to some geometrical constraints. Especially for automobiles most of exhaust pipes of engines have curvature to avoid rear axles. In this paper effects of pipe curvature on the exhaust noise of a diesel engine have been studied experimentally. Experiments were carried out on a 4-cycle, 2164cc diesel engine. Two types of curvature, circular arc and retangle, were tested. Sound pressure level (SPL) and power spectrum of the exhaust noise were measured by inserting bent pipes of different curvature dimensions into the exhaust pipe at various engine operating conditions. The following results were obtained from this study. Among the engine operating conditions the exhaust noise was affected mainly by engine revolution speed. The noise was reduced by the circular arc bent pipe. The effectiveness of an arc bent pipe on the noise reduction was dominated by its arc angle and the maximum noise reduction was obtained by the angle of 180.deg.. But the noise reduction could not be obtained by the rectangular bent pipe, and at high engine speed the noise was rather increased due to turbulence of exhaust gas.