• Polymer(Korea)
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• v.32 no.1
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• pp.19-25
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• 2008

The purpose of this study was improving the rheology properties of dentifrice by finding optimum binders polymer system which consists of carboxymethylcellulose (CMC), carbomer, and Mg/Al silicate. Response surface methodology (RSM) was employed to investigate the correlation between polymers and rheological properties of dentifrice and to optimize responses. Rheological properties were measured with oscillatory rheometer. As a result, it was identified that gel strength and yield stress were dependent on contents of CMC and carbomer and CMC caused long stringiness of dentifrice. And springness of dentifrice was dependent on contents of CMC and Mg/Al silicate. Optimum components proportion of polymers and silicate were obtained by responses optimization process. According to determined optimum components proportion, it was possible to observe a dentifrice with improved rheological properties.

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2011.05a
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• pp.33.2-33.2
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• 2011

CMP (Chemical-Mechanical Planarization) 공정이란 화학적 반응과 기계적 힘을 동시에 이용하여 표면을 평탄화하는 공정으로, 반도체 산업에서 회로의 고집적화와 다층구조를 형성하기 위해 CMP 공정이 도입되었으며 반도체 패턴의 미세화와 다층화에 따라 CMP 공정의 중요성은 더욱 강조되고 있다. CMP 공정은 압력, 속도 등의 공정조건과, 화학적 반응을 유도하는 슬러리, 기계적 힘을 위한 패드 등에 의해 복합적으로 영향을 받는다. CMP 공정에서, 폴리우레탄 패드는 많은 기공들을 포함한 그루브(groove)를 형성하고 있어 웨이퍼와 직접적으로 접촉을 하며 공정 중 유입된 슬러리가 효과적으로 연마를 할 수 있도록 도와주는 역할을 한다. 하지만, 공정이 진행 될수록 그루브는 손상이 되어 제 역할을 하지 못하게 된다. 패드 컨디셔닝이란 컨디셔너가 CMP 공정 중에 지속적으로 패드 표면을 연마하여 패드의 손상된 부분을 제거하고 새로운 표면을 노출시켜 패드의 상태를 일정하게 유지시키는 것을 말한다. 한편, 금속박막의 CMP 공정에 사용되는 슬러리는 금속박막과 산화반응을 하기 위하여 산화제를 포함하는데, 산화제는 금속 컨디셔너 표면을 산화시켜 부식을 야기한다. 컨디셔너의 표면부식은 반도체 수율에 직접적인 영향을 줄 수 있는 scratch 등을 발생시킬 뿐만 아니라, 컨디셔너의 수명도 저하시키게 되므로 이를 방지하기 위한 노력이 매우 중요하다. 본 연구에서는 컨디셔너 표면에 연마 잔여물 흡착을 억제하고, 슬러리와 컨디셔너 표면 간에 일어나는 표면부식을 방지하기 위하여 소수성 자기조립 단분자막(SAM: Self-assembled monolayer)을 증착하여 특성을 평가하였다. SAM은 2가지 전구체(FOTS, Dodecanethiol를 사용하여 Vapor SAM 방법으로 증착하였고, 접촉각 측정을 통하여 단분자막의 증착 여부를 평가하였다. 또한 표면부식 특성은 Potentiodynamic polarization와 Electrochemical Impedance Spectroscopy (EIS) 등의 전기화학 분석법을 사용하여 평가되었다. SAM 표면은 정접촉각 측정기(Phoenix 300, SEO)를 사용하여 $90^{\circ}$ 이상의 소수성 접촉각으로써 증착여부를 확인하였다. 또한, 표면에너지 감소로 인하여 슬러리 내의 연마입자 및 연마잔여물 흡착이 감소하는 것을 확인 하였다. Potentiodynamic polarization과 EIS의 결과 분석으로부터 SAM이 증착된 표면의 부식전위와 부식전류밀도가 감소하며, 임피던스 값이 증가하는 것을 확인하였다. 본 연구에서는 컨디셔너 표면에 SAM을 증착 하였고, CMP 공정 중 발생하는 오염물의 흡착을 감소시킴으로써 CMP 연마 효율을 증가하는 동시에 컨디셔너 금속표면의 부식을 방지함으로써 내구성이 증가될 수 있음을 확인 하였다.

• The Journal of Natural Sciences
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• v.1
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• pp.33-45
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• 1987

$BaCO_3$ 와 다양한 입자크기의 $TiO_2$ 의 고체상태 반응을 산소 ( 혹은 공기 ) 와 이산화탄소 중에서 열중량 분석법 (TG) 과 시차 열분석법 (DTA) 를 이용하여 반응속도론 및 반응기구를 조사하였다. 중간생성물과 최종생성물의 확인은 X-ray 회절 분석법 (XRD) 을 이용하였다. $TiO_2$ 의 반응성은 입자의 크기가 $0.15\mum$이하일 때 현저히 증가하였다. 반응초기에 $BaTiO_3$ 는 반응물의 접촉표면에서 생기기 시작하며 반응의 진행과정은 Jander 에 따라 확산조절과정이 된다. 반응과정에서 BaO-$TiO_2$ 의 상평형도에 기술된 화합물들이 중간물질로써 나타난다. 공기중에서는 상당한 양의 $Ba_2$$TiO_4$ 가 생성되지만 $CO_2$ 의 분위기에서는 약 $1100^{\circ}C$까지 억제된다. 이 온도는 열역학적 계산치인 $1060\pm$ $50^{\circ}C$와 잘 일치하고 있다. 확산과정의 활성화 에너지 값은 공기중에서는 56.4Kcal/mol 이었으며 이산화탄소의 경우에서는 79.6Kacl/mol 이었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.286-286
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• 2013

수산화인회석(Hydroxyapatite)는 뼈와 이빨의 무기물의 주성분으로서 칼슘과 인산염으로 구성된다. 수산화인회석의 합성방법은 수열합성법(hydrothermal method)를 사용하였으며 NaOH 농도조절을 통해 다양한 수산화인회석을 합성하였다. 합성된 수산화인회석을 XRD로 확인하였으며 Hydroxyapatite 표면에 Cobalt를 Ion-exchange 반응을 통하여 도입하였으며, 이를 다시 hydrazine을 매개체로 하여 Fe (Iron)를 도입하였다. 합성된 수산화인회석을 IR로 분석하였고, ICP를 통해 Co, Fe를 정량하였으며 TEM을 통해 표면을 관찰하였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2014.11a
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• pp.263-263
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• 2014

자외선 영역에서 우수한 광촉매 반도체인 이산화티탄($TiO_2$)은 환경, 에너지와 같은 분야 등에 유용하게 이용된다. 용액상에서 고활성 광촉매의 제조가 가능한 수열합성법에 의해 균일한 결정상의 나노 크기의 미세한 이산화티탄($TiO_2$) 입자를 제조하고, XRD, TEM, UV-vis-DRS, 그리고 염료의 광촉매 흡착 반응을 통하여 그 특성과 광촉매 효율을 조사하였다.

• Journal of the Korean institute of surface engineering
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• v.20 no.3
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• pp.127-130
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• 1987

버리는 일회용 주사기와 안약병, 샴프나 음료수병을 함께 사용하여 도금액 공정관리에 활용코자 전호에 이은 기술해설이다. 도금 뿐만아니라 전, 후처리의 모든 공정은 화학과 물리적인 반응이 계속하여 이루어지고 각 공정사이의 수세 공정 또한 액관리가 되어야 할진대, 도금액 관리만이 중요한 액관리인양 도금 공정 이외의 다른 공정은 도외시 하고 있는것이 현실이다. 이에 전공정중 산세, 수세공정 관리법에 이어 탈지공정과 아연도금의 후처리인 크로메이트 처리공정의 액 관리법에 대하여 기술한다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2003.10a
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• pp.53-53
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• 2003

유도 결합 플라즈마는 비교적 간단한 방법으로 1$\times$$10^{10}$㎤ 이상의 높은 플라즈마 밀도, 저용량 결합(low capacitive coupling), 대면적 균일성을 제공하기 때문에 플라즈마 공정의 관점에서 매우 효율적이다. 따라서 유도 결합 플라즈마의 이러한 장점들은 화학적 기상 증착법으로 적용하였을 때 코팅의 특성을 향상시키는데 매우 유리할 것으로 생각된다. 특히, 좋은 특성을 가진 carbon nitride 박막을 제조하기 위해서 높은 밀도를 이용한 반응 기체의 분해와 상온에서의 증착이 필수적인데, 유도 결합 플라즈마 공정은 이런 점에서 매우 효과적이다.

• Journal of the Korean Applied Science and Technology
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• v.29 no.1
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• pp.149-158
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• 2012

Magnesium hydroxide[$Mg(OH)_2$] was prepared by hydrothermal method using oleic acid as surface modifier. $Mg(OH)_2$ particles exhibit flake morphology with micrometer in size and the surface modification starts from the reaction of $C_{17}H_{33}COO^-$ group, derived from oleic acid molecule in alkaline environments. It is found that hydrothermal treatment conditions such as pH, temperature and reaction time are important for the control of the morphology and properties of surface modified magnesium hydroxide. The obtained magnesium hydroxide groups were characterized by FE-SEM, XRD, FT-IR, TGA. The dispersion in organic solution was determined by sedimentation test and compared with the result of raw $Mg(OH)_2$.

• Korean Journal of Food Science and Technology
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• v.29 no.3
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• pp.509-515
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• 1997

Crude papain was extracted from papaya latex under various conditions. Extraction conditions of crude papain were optimized by the response surface methodology (RSM). Extraction yield of papain was affected by concentration of $NaHSO_3$, extraction time and pH. Three independent factors were chosen to determine their effects on the various responses and the function was expressed in terms of a quadratic polynomial equation, which measures the linear, quadratic and interaction effects. According to the results of RSM, the stationary point for quantitatively dependent variable was found to be the maximum point for extraction yield. Optimum conditions of papain extraction were 4% of $NaHSO_3$, 120 min of extraction time and pH 7.6. Under these conditions, 793.16 mg of papain per g latex was extracted from papaya latex.

• Journal of the Computational Structural Engineering Institute of Korea
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• v.14 no.3
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• pp.339-348
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• 2001

More often a commercial package for the structural analysis is necessary in the structural optimum design. In this case the task of combining the package with an optimization program must be required, hut it is not so simple because interchanging some data between them is difficult. Sequential approximate optimization is currently used as a natural way to overcome the hard task. If sequential approximate optimization has wide side constraints that the lower limit of design variables is very small and their upper limit is very large, it is not so easy to obtain approximated functions accurately for the whole design domain. This paper proposes a sequential design domain method, which is very useful to carry out sequential approximate optimization in this case. In this paper, the response surface methodology is used to obtain approximated functions and the orthogonal array is used for design of experiments. The sequential approximate optimization of 3-bar and 10-bar trusses is demonstrated to verify the reliability of the sequential design domain method.