• Title/Summary/Keyword: 반복 정밀도

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Ellipsometry 에서의 calibration 및 입사면 고정형 ellipsometer

  • 경재선;방경윤;최은호;손영수;안일신;오혜근
    • Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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    • 2003.12a
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    • pp.18-22
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    • 2003
  • 일반사용자들은 ellipsometer를 사용이 어려운 장비로 인식하고 있다. 본 연구는 초보자들이 손쉽게 사용할 수 있는 ellipsometer를 제작하는데 목적이 있다. 시편을 측정하기 전에 반드시 해야 할 과정인 alignment와 calibration을 하지 않고 측정할 수 있도록 제작하였다. 기본 구조는 rotating compensator spectroscopic ellipsometry를 이용하였으며 , 입사각을 70도로 고정시키고 기존의 sample holder 구조를 바꾸어 어떠한 시편을 놓아도 입사면이 변하지 알게 하여 calibration 이 요구되지 않는 ellipsometer를 개발하였다. 장비의 성능과 정밀도를 검사하기 위하여 여러 가지 표준시료를 측정하여 일반 RCSE와 측정결과를 비교하였다. 또한 고정된 입사면의 calibration값의 신뢰도를 검사하기 위하여 반복적으로 측정할 때마다 시편을 재배치하여 실험하였다.

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Unequal-path Low-coherence Interferometry Using Femtosecond Pulse Lasers (펨토초 레이저를 이용한 비동일 광경로 저결맞음 간섭계)

  • Oh J.S.;Kim S.W.
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 2005.10a
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    • pp.204-207
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    • 2005
  • We discuss two possibilities of using femtosecond pulse lasers as a new interferometric light source fer enhanced precision surface profile metrology. First, a train of ultra-fast laser pulses yields repeated low temporal coherence, which allows performing unequal-path scanning interferometry that is not feasible with white light. Second, high spatial coherence of femtosecond pulse lasers enables to test large size optics in non-symmetric configurations with relatively small size reference surfaces. These two advantages are verified experimentally using Fizeau and Twyman-Green type scanning interferometers.

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A Study on Cold Working Properties of Aluminum Plates for Aircraft Structure (항공기용 알루미늄 판재의 냉간가공 특성 연구)

  • 이동석;이준현
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.20 no.3
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    • pp.165-171
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    • 2003
  • In a structure, many components are fastened together using bolts, nuts and rivets through drilled holes. Not only do these fastened joints enable easy assembly and dismantling, they are also able to transfer as well as to distribute loads applied onto the structures. The major drawback of such connections, however, is that the fatigue life of the components is reduced by the presence of the hole since the stress concentration around the hole is increased. In addition, the hole drilling process itself may introduce defects or roughness at the surfaces of the hole that may cause further decrease in fatigue performance of the components. For applications where fatigue loadings are important, one way to compensate the decrease in fatigue life of the components is by introduction of beneficial compressive residual stress around the hole using cold working. The material used for this research were A12024-T351 and A17050-T7451 using the primary member of aircraft. We present, In this paper, the characteristics of coldworking by evaluation of the hole expansion ratio, residual stress distribution, and fatigue properties.

Electric Power System State Estimation with Voltage Phasor Measurements (전압 페이저 측정데이터를 이용한 전력계통 상태추정 기법)

  • Kim Hong Rae;Kwon Hyung Seok
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • summer
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    • pp.168-170
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    • 2004
  • 현대의 전력회사들은 전력계통의 현재 운용상황을 파악하기 위하여 상태추정을 사용한다. 상태추정기는 계통 내 각 지점에서 측정된 전력이나 전압, 전류등의 데이터를 이용하여 반복연산을 수행함으로써 전력계통의 상태(voltage profile)를 추정한다. 이때, 모든 데이터는 동시에 측정이 되었다는 가정 하에 상태추정 연산에 이용되지만, 실제로 모든 데이터 측정의 동기성을 확보하는 것은 사실상 불가능하다. 최근 인공위성에 의해 동기화된 페이저 측정장치가 전력계통 운용에 사용되고 있으며 본 논문에서는 이렇게 이미 이용 가능한 페이저 측정 데이터를 상태추정에 이용하는 방법을 시도하였다. 위성에 의해 동기화된 페이저 측정데이터는 데이터 측정의 동기성 확보뿐만 아니라, 데이터의 정밀도 및 위상각의 직접적인 측정이라는 둥의 여러 가지 면에서 매우 효용성이 높은 데이터이다. 본 연구를 통해 개발된상태추정 프로그램은 IEEE 14모선 시험계통을 이용하여 그 타당성을 검증하였다.

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A Robust Speed Control System Design of Induction Motors Using Self-Tuning Control Method (자기동조법에 의한 유전전동기의 강인한 속도 제어계 설계)

  • Kim, Sang Bong;Jeon, Bong Hwan;Jeong, Seok Kwon
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.12 no.8
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    • pp.168-175
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    • 1995
  • A robust speed control algorithm under disturbances and reference change is developed using the self tuning control method in order to control induction motors. The method incorporates the concepts of the well known internal model principle and the annihilator polynomial. The effectiveness of the method is evaluated through the speed control experimental results of an induction motor for refernce change and arbitrary distrbance.

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The Analysis of Liquefaction Evaluation in Ground Using Artificial Neural Network (인공신경망을 이용한 지반의 액상화 가능성 판별)

  • Lee, Song;Park, Hyung-Kyu
    • Journal of the Korean Geotechnical Society
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    • v.18 no.5
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    • pp.37-42
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    • 2002
  • Artificial neural networks are efficient computing techniques that are widely used to solve complex problems in many fields. In this paper a liquefaction potential was estimated by using a back propagation neural network model applicated to cyclic triaxial test data, soil parameters and site investigation data. Training and testing of the network were based on a database of 43 cyclic triaxial test data from 00 sites. The neural networks are trained by modifying the weights of the neurons in response to the errors between the actual output values and the target output value. Training was done iteratively until the average sum squared errors over all the training patterns were minimized. This generally occurred after about 15,000 cycles of training. The accuracy from 72% to 98% was shown for the model equipped with two hidden layers and ten input variables. Important effective input variables have been identified as the NOC,$D_10$ and (N$_1$)$_60$. The study showed that the neural network model predicted a CSR(Cyclic shear stress Ratio) of silty-sand reasonably well. Analyzed results indicate that the neural-network model is more reliable than simplified method using N value of SPT.

Performance Analysis of A Distributed Shared Memory System Including Minor Performance Factors (군소 성능요인을 고려한 분산공유메모리 시스템 성능의 정밀분석)

  • 박준석;전창호
    • Proceedings of the Korean Information Science Society Conference
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    • 2000.10c
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    • pp.671-673
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    • 2000
  • 본 논문에서는 분산공유메모리 다중프로세서 시스템에서 하드웨어 구성요소와 실행환경이 시스템의 전체 성능에 미치는 영향을 시뮬레이션을 통하여 분석한다. PARSEC[1,2]을 이용하여 분산공유메모리 다중프로세서 시스템을 실제 실행환경에 근접하게 모델링하고 그 모델링된 시스템상에 2D FFT를 가상 실행하는 방식의 시뮬레이션 결과, 일반적으로 성능분석을 할 때 성능요소로 고려하지 않는 군소 하드웨어 요소들이 시스템 구성에 따라 시스템의 전체 성능에 상당한 영향을 미침을 밝힌다. 또한 반복순환 구문의 오버헤드, 코드최적화 등 실행조건에 따른 성능의 변화도 정량적으로 분석한다.

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Development of auto calibration program for instruments (계측기기 자동교정 및 모니터링 기술개발)

  • Cho, Hyun-Seob;Min, Jin-Kyoung
    • Proceedings of the KAIS Fall Conference
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    • 2007.05a
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    • pp.154-157
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    • 2007
  • 본 논문에서는 컴퓨터로 정밀 계측기기들을 자동 제어하고 데이터를 측정하기 위하여 기존의 상용 프로그램을 사용하지 않고 Excel VBA(Visual Basic for Applications)를 이용하는 방법에 대하여 연구 하였다. 이는 반복측정 및 통계적 수치계산 등에서 많은 장점을 지니고 있어 수많은 국가교정기관 및 일반 산업체에서 유용하게 사용될 수 있으리라 사료된다.

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Development of driver for BLDC motor system and precise repetitive control (BLDC 모터의 구동장치 개발 및 정밀 반복제어)

  • 강병철;이충환;김상봉
    • 제어로봇시스템학회:학술대회논문집
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    • 1996.10b
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    • pp.1257-1260
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    • 1996
  • This paper describes a fully digitalized driver for BLDC motors and the driver is realized by a single chip microprocessor. The speed change can be done by using the signal obtained from the position detecting sensor and adjusting the pulse width at the input channel of power module. In order to verify the effectiveness, an repetitive control method is adopted in the speed control tracking a periodic reference change in the BLDC motor system. The experimental results are shown for the reference tracking accurately according to the design parameter variation in the repetitive controller design.

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Development of auto calibration program for instruments by Excel VBA (VBA를 이용한 계측기기 자동 교정용 프로그램 개발)

  • Cho, Hyeon-Seob;Park, Jong-Chun;Lee, Keun-Wang;Oh, Hun
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2004.07d
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    • pp.2480-2483
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    • 2004
  • 본 논문에서는 컴퓨터로 정밀 계측기기들을 자동 제어하고 데이터를 측정하기 위하여 기존의 상용 프로그램을 사용하지 않고 Excel VBA(Visual Basic for Applications)를 이용하는 방법에 대하여 연구하였다. 이는 반복측정 및 통계적 수치계산 등에서 많은 장점을 지니고 있어 수많은 국가교정기관 및 일반 산업체에서 유용하게 사용될 수 있으리라 사료된다.

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