• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2002.05a
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• pp.378-391
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• 2002

A 250mm stroke aerostatic stage, which detects position with laser scale and is driven by linear motor, is made and analyzed positioning error in 20$\pm$ 0.5 $^{\circ}C$ controlled atmosphere, aiming at investigating positioning characteristic of ultra-precision stage. We prove this aerostatic stage has a 10nm micro step resolution by experiment. By means of analyzing laser interferometer system, the scale of measuring error is about 0.2-0.4$\mu\textrm{m}$ according to refractive index error from missing the temperature change. To improve laser interferometer system, compensate refractive index error using measuring data from thermocouple. And, confirm 0.10$\mu\textrm{m}$ repeatability and 0.13 $\mu\textrm{m}$ positioning accuracy using the compensating refractive index. Also, we confirm 0.07 ${\mu}{\textrm}{m}$ repeatability of the stage using capacitive displacement sensor.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2005.06a
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• pp.773-776
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• 2005

In this paper, For improving the positioning accuracy of hydrostatic table, relationship between temperature of atmosphere and thermal characteristics of hydrostatic table is analyzed, and influence of thermal characteristics on positioning accuracy is also analyzed experimentally. From the experimental results, it is confirmed that positioning error and repeatability is $0.21{\mu}m\;and\;0.18{\mu}m$ when the laser scale which has $0.01{\mu}m$ of resolution is used as feed-back unit. and also confirmed that thermal deformation of scale and supporter, which occurs by the temperature variation of atmosphere, works as limit of repeatability in long time operation.

• Proceedings of the Korean Institute of Navigation and Port Research Conference
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• 2012.06a
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• pp.65-67
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• 2012

2011년 3월 센다이 앞바다 약 130km지점에서 엄청난 지진해일을 동반한 규모 9.0 초대형 지진이 발생하였다. 많은 지역에서 범람고가 10m를 상회하였으며, 큰 피해가 발생한 곳의 경우 지진해일의 처오름 높이가 23.6m에 달한 곳도 있었다. 이 쓰나미는 지진 발생후 30분만에 첫 번째 지진해일이 해안에 도달하였고, 이 후 수차례 반복하여 내습하였다. 이러한 지진해일의 대책중 하나는 지진해일 발생시 5~10분 이내에 기상청에서 경보를 발령하고 대피 체계를 구축하는 것이다. 이와 같은 이유로 본 연구에서는 지진해일을 검출하기 위한 기저거리 비종속 정밀측위기술을 제안하였다. 원해에서는 기준국과의 위치가 멀기 때문에 DGNSS의 사용이 힘들다. 그러므로 단독 GPS 측위에 영향을 주는 오차를 제거하고 Kalman filter를 이용하여 정확한 위치를 추정한다. 또한 성능 검증을 위한 파랑의 동적특성을 고려한 테스트베드를 개발하였고, 그 유용성을 검증하였다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 1996.04a
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• pp.227-231
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• 1996

기계가공 생산시스템에서 대량생산라인의 경우에는 측정 및 검사공정을 별도로 두고 있으나, 금형과 같은 다품종 소량 생산품의 경우에는 이러한 방식이 적합하지않다. 이러한 경우에는 유연성이 높은 3차원 측정기(CMM)를 설치하여 운용하고 있으나 운용비용이 많이 들고 관리하기가 쉽지 않으며 Setup 및 측정시간이 길어져 비경제적일 수가 있다. 또한 3차원 측정기의 한정된 크기때문에 대형가공물이라든지 탈착이 어려운 생산품의 경우에는 마땅한 특정 방법이 없는 실정이다. 본 연구에서는 개발된 OMM 시스템을 3종류의 TV Shadow Mask 금형의 측정에 적용한 결과를 소개한다. 측정된 결과는 CMM을 이용해 측정한 결과와 비교 했고, 비교된 결과를 이용해 개발된 시스템의 반복정밀도, 측정 정확도를 통계적 방법으로그리고 경제적 관점에서 CMM을 이용 한 기존의 방법과 개발된 시스템을 비교 평가했다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2001.04a
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• pp.465-468
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• 2001

An aerostatic stage has frictionless behavior, so it has a advantage of investigation into positioning characteristics. A one-dimensional aerostatic ceramic stage with ballscrew driven and laser scale feedback system is manufactured, aiming at investigating positioning characteristic of ultra-precision stage. We confirm, this ceramic aerostatic stage has a 10nm micro resolution, and can be reduced mean of position error by compensation of numeric control command. By means of analyzing relationship of position error and change of temperature, we build a on-line compensation algorithm of position error from the measured temperature data. So we can improve repeatability of ultra-precision stage up to 34%($0.095{\mu}$) of the normal condition.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2000.11a
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• pp.175-178
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• 2000

An aerostatic stage has frictionless behavior, so it has a advantage of investigation into positioning characteristics. A one-dimensional aemstatic ceramic stage with ballscrew driven and laser scale feedback system is manufactured. aiming at investigating positioning characteristic of aerostatic stage, especially position error and repeatability, we analyze positioning behavior with other factors such as angular error, temperature. Experimemal results show that the aerostatic stage has a l0nm micro step response. Comparing experimental results and calculated abbe's error, we confirm that mean of position error is owing to angular error. And, also we confirm the temperature is dominant factor of repeatability in ten nm order.

• Proceedings of the Korean Institute of Intelligent Systems Conference
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• 2002.12a
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• pp.71-74
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• 2002

본 논문에서는 유전알고리즘(GA)을 이용한 PID계수 자동조정기법에 관한 DC 서보 모터 속도 제어기 설계를 목적으로 한다. DC 서보 모터는 수많은 제어용 기계나 로봇 등의 응용분야에 사용되고 있고 이러한 분야에서 제어기 파라미터들의 선택이 사용자의 전문적인 지식을 요구하게 된다. 따라서 일반적인 공정 기술자들은 시행착오에 의해 제어기 파라미터들을 계속적으로 반복 조절해 나가야 한다. 이와 같이 동적 시스템의 변화나 외란에 대하여 파라미터 계수를 자동 조정해야 할 경우 유전알고리즘을 사용함으로써 보다 정밀하고 최적화된 파라미터 계수값을 추종함에 따라 그 성능을 높일 수 있다. 본 논문에서는 DC 모터의 동특성을 분석하여 얻은 동특성 모델링으로부터 응답 특성이 빠르고 속도 정밀도가 향상된 구동제어가 가능한 제어기를 설계하고 이를 PID제어기와 비교 평가하였다.

• 기계와재료
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• v.22 no.1
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• pp.30-35
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• 2010

전자부품산업이 빠르게 발전하고 있기 때문에 고기능성 PCB의 수요 또한 많이 늘고 있다. 이러한 PCB는 전자제품의 굴곡성(flexibility) 있는 형태로 발전하여 전자제품의 소형화 및 고밀도화가 가능하고, 반복적인 굴곡에 높은 내구성을 갖는 연성(flexible) PCB(FPCB)의 사용이 증가하고 있으며, 이런 시장의 요구에 맞춰 연성 다층 구조의 FPCB에 대한 정밀 고속 가공 기술에 대한 수요도 급격히 확대되고 있다. 따라서 장비 운영의 효율성 극대화 및 설비 투자를 최소화하고 단일 장비로 절단(half cut, full cut), 제거, 트리밍, 리페어 고정 등을 수행할 수 있는 장비 개발을 위한 스캐너/스테이지 고정밀 제어, Z축 스텝가공, 멀티포인트 비전 인식을 통한 왜곡 최소화 등의 요소기술 개발관련 내용을 소개하고자 한다.

• Proceedings of the KIPE Conference
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• 2008.10a
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• pp.181-183
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• 2008

반도체 칩 마운터는 PCB기판위에 칩을 마운팅 하는 장비로 짭은 시간내에 많은 양의 칩을 정확하게 마운팅 하기 위해 매우 빠른 가감속 운전과 정밀한 작업을 수행할 수 있는 선형전동기를 사용해 오고 있다. 고가임에도 빠른 응답특성, 높은 정밀도, 유지보수의 최소화 등 선형전동기가 가지고 있는 여러 가지 장점으로 인해 반도체를 포함한 LCD 및 기타 일반 산업에 까지 점진적으로 수요가 증가하고 있지만, 이동자에 전기자 권선을 가지고 있어 장거리 이송용으로 적합한 선형전동기의 경우 전원 케이블을 반복적으로 끌고 다녀야 하는 단점이 있어, 이런 문제점을 극복하기 위한 비접촉 방식의 전원 공급에 대해 많은 연구가 진행되고 있는 실정이다. 따라서 본 연구에서는 직병렬 공진 원리를 이용하여 움직이는 이동자의 전기자 권선에 비접촉으로 전원을 공급하는 전원 장치를 제안하며, LCD 자동 반송 장비인 스토커에 적용하여 특성을 분석하였다.

• Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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• 2021.11a
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• pp.753-755
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• 2021

본 논문에서 기존의 치아가공기는 회전하는 모터를 사용하여 구성하였으나 이러한 모터는 정밀도, 반복정밀도가 50um 이하로 가공물 가공시에 치기공사나 치과의사가 사람에 맞추어 다시 작업을 해야하는 불편함과 시간적, 작업자의 피로도를 높일수 있는데 이러한 모터에 스크류나 밸트를 연결하여 선형적으로 움직일 수 있는 리니어모듈과 리니어모터를 적용하게되면 20um수준의 고정밀의 위치제어가 가능한 5축 치아가공기를 만들 수 있었다. 또한 MEMS센서를 이용하여 스핀들의 상태를 모니터링 하고 임계값을 지정하여 이상 신호 발생시 모터를 멈추어 위험상황에 대해서 인공지능기법을 이용하여 정지하거나 관리자에게 알림을 주어 효과적으로 5축치아가공기를 운영할 수 있도록 하였다.