• 제목/요약/키워드: 박막이론

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$As_2S_3$박막의 투과 스펙트럼을 이용한 광학 상수와 특성 조사 (Determination of Optical Constants of Amorphous $As_2S_3$ Thin Film by Transmission Spectrum)

  • 우성용;이상조;김건엽;곽종훈
    • 한국광학회:학술대회논문집
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    • 한국광학회 2003년도 제14회 정기총회 및 03년 동계학술발표회
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    • pp.18-19
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    • 2003
  • 비정질 As$_2$S$_3$박막에 레이저광의 조사에 대한 투과율 변화는 굴절률과 흡수계수 변화 등의 비선형 광학 특성에 대한 많은 정보를 제공해준다. 투과 스펙트럼을 측정하여 비정질 As$_2$S$_3$ 박막의 광학 상수를 결정하는 일은 간단하면서도 신뢰도 높은 값들을 얻을 수있게 한다. 본 실험에서는 비정질 As$_2$S$_3$ 박막을 진공 증착법을 이용하여 제작하고, 스펙트로포터미터를 사용하여 박막이론에 따른 굴절률, 흡수계수, 박막의 두께 및 조사된 레이저광에 의한 광학적 상수의 변화등을 측정하였다. (중략)

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디스플레이용 SiO2/ITO 투명전도막의 반사특성 (Reflection Properties of SiO2/ITO Transparent and Conductive Thin Films for Display)

  • 신용욱;김상우;윤기현
    • 한국세라믹학회지
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    • 제39권3호
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    • pp.233-239
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    • 2002
  • CRT의 전면에 전자파차폐, 정전기 방지 및 저반사 효과를 위해 코팅되는 $SiO_2$/ITO (Indium Tin Oxide) 이층박막의 반사특성에 관하여 연구하였다. 실리카층 및 ITO층의 두께를 변화시키며 나타나는 반사율의 경향을 고찰하고, 이론적인 2층, 3층 저반사코팅의 디자인에 적용시켜 보았다. 입자 상으로 코팅된 ITO는 두께가 증가할수록 기공에 의해 박막의 불균일성이 증가하면서 이론적인 반사모델과의 차이가 커졌다. 실리카와 ITO의 계면에 존재하는 혼합층의 영향으로 인하여 실제측정반사율은 2층으로 디자인한 이론반사율보다 $SiO_2$/$SiO_2$+ITO/ITO의 3층으로 디자인한 반사모델에 보다 잘 적용되었다. 이론적인 저반사 디자인은 근거로 $SiO_2$/ITO 박막의 두께를 90, 65 nm로 조절한 이층막은 기준파장에서 2.5%의 반사율을 나타내었고, 가시광선 영역에서 이론반사율과 유사한 거동을 보였다.

Cu/Ni/Cu 단결정 박막에서의 자기 탄성 계수 (The Magnetoelastic Coupling Coefficients in Cu/Ni/Cu thin Films)

  • 송오성
    • 한국자기학회지
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    • 제5권2호
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    • pp.109-111
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    • 1995
  • 단결정 Cu/ Ni/ Cu 박막의 자기탄성계수(magnetoelastic coupling coefficients)를 자성박막의 두께에 따른 효과이방성에너지(effective anisotropy energy)를 측정하여 현 상학적인 이론 모델로 구하는 방법을 제안하였다. 이러한 간접적인 방법으로 자기탄성 계수를 결정하는 방법은 다른 결정정계에서도 가능하다.

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다양한 제조 공정하에서의 이중층 형성 기구에 관한 고찰 (A Review of the Mechanisms Regarding Duplex Layer Formation During Various Manufacturing Processes)

  • 김창경
    • 한국재료학회지
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    • 제8권2호
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    • pp.154-160
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    • 1998
  • 다양한 제조 공정하에서 기판위에 형성되는 이중층은 공학적인 관점으로 볼 때 매우 중요한 미세 조직들 중의 하나이다. 이중에서도 고온 산화시에 형성되는 이중층에 관하여는 많은 이론들이 있다. 이 논문에서는 이들 이론들에 대한 가정 및 이론 전개에 대한 고찰을 통해 이들 이론들을 검증하였다. 또 산화 이중층을 진공 박막 제조 및 응고시 형성되는 이중층들과 비교하였다.

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표면 플라즈몬 공명 측정에 의한 금속 박막의 광학 상수와 두께 결정 (Determination of Optical Constants and Thickness of Thin Metal Films by Measurement of Surface Plasmon Resonance)

  • 황보창권;최철재;최동철
    • 한국광학회지
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    • 제2권2호
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    • pp.59-66
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    • 1991
  • 표면 플라즈몬 공명이 일어나는 공명각과 최적 두께를 여러 금속 박막에 대해 어드미턴스 다이어그램을 이용하여 계산하였으며, 표면 플라즈몬 공명에서 측정한 반사율과 이론치를 곡선 맞춤하여 은박막과 알루미늄 박막의 광학 상수와 두께를 결정하였다. 한 파장에 대해 두 개의 해가 존재하므로 알곤 레이저의 두 파장에서 같은 두께를 갖는 해를 광학 상수의 유일 해로 선택하였으며, 금속 박막을 공기 중에 노출시킬 경우, 박막의 표면 변화에 의해 이동된 표면 플라즈몬 공명으로부터 변화된 금속 박막의 광학 상수를 결정하였다.

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무기물을 포함한 유기물 나노복합체를 사용하여 제작한 비휘발성 메모리 소자의 전기적 성질에 대한 실험치와 이론치의 비교

  • 고성훈;유찬호;윤동열;정재훈;김태환
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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    • pp.290-290
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    • 2010
  • 무기물을 포함한 유기물 나노 복합체는 저전력으로 동작하는 차세대 전자 소자와 광전 소자의 응용에 대단히 유용한 소재이다. 간단하고 저렴한 제조 공정과 물질 특성의 장점을 이용한 유기물/무기물 나노 복합재료를 사용한 비휘발성 메모리 소자의 제작과 전기적 특성은 연구되었으나 실험치와 이론치의 비교에 대한 연구는 소자의 효율과 신뢰성을 증진하기 위하여 대단히 필요하다. 다양한 종류의 비휘발성 메모리 중에서 무기물을 포함한 유기물 나노복합체를 사용하여 만들어진 유기 쌍안정성 소자는 간단하게 고집적화가 가능하며 광소자와 결합할 수 있기 때문에 차세대 비휘발성 메모리 소자로서 각광을 받고 있다. 본 연구에서는 ZnO 나노입자를 포함한 PMMA 박막 구조를 기억층으로 사용하여 메모리 특성을 향상시킨 유기 쌍안정성 소자를 제작하고 그에 대한 전기적 특성을 측정과 전하 전송 메커니즘을 규명하여 이론적으로 고찰하였다. 유기 쌍안정성 소자 제작을 위해 Indium-tin-oxide가 증착된 유리 기판위에 ZnO 나노입자와 PMMA를 용매에 혼합하여 스핀코팅 방법으로 ZnO 나노 입자가 분산되어 있는 PMMA 나노 복합체를 형성하였다. 나노 복합체 박막위에 Al 전극을 열증착으로 형성하여 유기 쌍안정성 소자를 제작하여 전류-전압 측정을 하였다. 제작한 유기 쌍안정성 소자의 전하 전송 메커니즘 규명을 위해 space charge limited current 메커니즘을 이용하여 소자에 대한 시뮬레이션을 수행하였고 이를 제작한 소자에서 측정한 전류-전압 특성과 비교하였다. 이 결과는 유기 쌍안정성 소자를 제작할 때 소자의 성능 최적화에 이론적인 기초지식을 제공할 것이다.

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공간전하중첩 모델에 의한 스위칭과도장태 특성해석 (Analysis of Switching Transient State characteristis Based on Space charge Overlapping Model)

  • 정홍배;박창엽
    • 대한전자공학회논문지
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    • 제18권2호
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    • pp.27-35
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    • 1981
  • 본 연구에서는 비정질 갈코게나이트박막의 스위칭과도 특성을 분석하기 위해 공체전하중를 모델에 의한 수식적 이론과 그 이론의 타부성에 따른 실험을 연하였다. 이론과 실험에 대한 분석적인 관찰을 실온에서 비정용 잘코게나이드박막에 전압펄스를 인가할 때 생기는 스위칭과도 특성에 대해 비교하였다. 결과로는 전자스위칭 특성에 대한 단순한 이론적 모델의 형태로 설명할 수 있다. 캐리어의 주입은 스위칭 특성을 유발시키기에 필요하며 주입된 캐리어들은 공간전하제한전류(SCLC)로서 전류 흐름에 기여한다. 그러므로 제안된 전하제어 스위칭 특성은 2중 주입 공간 전하중첩 모델로 해석할 수 있다.

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Co-doped ZnO 자성 반도체 박막의 구조 및 강자성 특성 (Ferromagnetism in Co-doped ZnO thin films)

  • 박정환;유상우;장현명;김민규
    • 한국재료학회:학술대회논문집
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    • 한국재료학회 2003년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집
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    • pp.178-178
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    • 2003
  • II-Ⅵ족 반도체 중에서 넓은 밴드갭을 가지는 ZnO에 Mn 이온을 doping할 경우 Tc가 상온보다 높을 것이라는 이론적 계산이 2000년 Science에 발표되었다. 이후 ZnO에 전이금속 이온을 doping하여 상온에서도 강자성을 나타내는 자성 반도체 (DMS)를 만들기 위한 연구가 활발히 진행되고 있다. Co-doped ZnO 박막은 PLD로 증착하였을 경우 Tc가 상온보다 높으나 재현성이 낮은 것으로 알려져 있었다. 그러나 최근 sol-gel 방법을 이용하여 Co-doped ZnO 박막을 제조하면 강자기 특성의 재현성을 높일 수 있다는 결과가 보고되었다. 이에 본 연구에서는 sol-gel 방법을 사용하여 여러 조성의 Co-doped ZnO 박막을 합성한 후 이들의 자성 특성을 검토하였다. 이러한 결과를 바탕으로 Co-doped ZnO 박막에서 강자성 발현의 근원을 규명하고자 (ⅰ) 조성에 따른 Co-doped ZnO의 Raman peak과 EXAFS peak의 변화를 측정하여 구조적 특성과 ZnO 내에서의 Co 이온의 상태를 분석하였으며, (ⅱ) Hall 효과 실험으로 carrier density를 측정함으로써 Fermi 준위에서의 파수 벡터의 크기를 산출하고자 하였다.

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ZnO 박막의 차세대 저항 메모리 특성 연구

  • 이승협;용기중
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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    • pp.70-70
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    • 2011
  • 차세대 저항 메모리로 활용 가능한 ZnO 박막의 저항 변화 특성을 평가하였다. ZnO 박막은 Pt/Ti/SiO2/Si 기판 위에 스퍼터링 시스템을 이용하여 약 50nm 두께로 증착되었다. 증착된 박막에 전극을 evaporator를 이용하여 패턴닝 함으로써 전극-반도체-전극 구조의 소자를 만들고 전기적 특성을 평가하였다. 비교적 높은 compliance current (이하Icomp)를 설정한 경우 unipolar 저항 변화특성을 나타낸 데 비해 비교적 낮은 Icomp를 설정한 경우 bipolar 저항 변화특성을 나타내었다. 두 서로 다른 저항 변화 특성은 100cycle 이상 안정적으로 재현성 있게 나타났으며 이때의 저항비는 약 $10^3$ 정도를 나타냈다. 본 결과를 바탕으로 필라멘트 이론에 기초한 저항 변화 메커니즘을 설명하는 모델이 제시되었다.

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