• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2016.02a
• /
• pp.95-95
• /
• 2016

반도체 및 디스플레이 공정용 플라즈마 장치에서 플라즈마 변수를 측정하기 위한 방법들이 많이 개발되어 왔다. 전자 밀도와 온도는 정전 탐침이나 컷오프 프로브 등을 사용하여 활성종이나 중성종에 비해 상대적으로 쉽게 측정할 수 있고, 활성종과 중성종은 LIF (Laser Induced Fluorescence) 방법, OES (Optical Emission Spectrometry) 방법, 그리고 QMS (Quadrupole Mass Spectrometry) 방법 등을 이용하여 측정할 수 있으나 절대적인 크기를 측정할 수 있는 경우는 제한적인 것으로 알려져 있다. 이러한 문제를 극복하기 위해 측정한 전자 밀도와 전자 온도를 기반으로 하여 고려되는 종들의 밀도를 계산할 수 있는 프로그램도 제작된 바 있다. 개발된 프로그램의 입력 값으로 사용되는 플라즈마 화학반응 데이터베이스는 계산 결과의 정확성과 밀접한 관계가 있으며, 이런 이유로 신뢰성 높은 데이터베이스를 확보하기 위한 연구도 진행되었다. 개발된 프로그램을 이용하여 계산한 플라즈마 변수의 장비 변수에 대한 의존성이 진단 데이터와도 잘 부합하는 것으로 확인되었다.

• Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
• /
• v.23 no.5
• /
• pp.9-17
• /
• 2009

In this paper, we describe a flow meter system for pulverized coal developed for the pulverizer-burner system of a boiler or blast furnace, which uses the density and the velocity of the granule flow. The granule flow density is measured by a sensor that detects the capacitance from the electrode on the surface of the piping system. The velocity of granule flow can be calculated using the distance between two pairs of built-in sensors in the flow direction, the time obtained from the sampling cycle using the correlation method between two waveforms of the sensors. The flow rate is calculated from the density and velocity of the granule flow. The reliability and accuracy of the flow meter system has been verified by comparing the data with the weight measured from a load-cell.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2014.02a
• /
• pp.245.1-245.1
• /
• 2014

교차하는 전기장과 자기장으로 플라즈마를 방전하고, 이온 빔을 효과적으로 가속하는 원형 이온 빔 소스를 개발하였다. 방위각 방향으로 비대칭적인 중성 가스와 전자 빔의 공급으로 이온 빔 소스에서 불안정하고 불균일한 플라즈마가 방전되어, 이온 소스의 효율을 저하시킨다. 본 연구에서는 플라즈마 이미지를 이용하여 이온 소스 내부에서의 중성입자 밀도 분포를 측정하는 방법을 개발하였다. 자기장의 방향이 서로 다른 방전조건에서 얻어지는 한 쌍의 플라즈마 이미지로부터 티코노프 정형화 기법을 이용하여 방위각에 대한 중성입자의 밀도 분포를 재구성한다. 본 재구성 기법을 이용하여 얻어진 밀도 분포는 유체흐름 등가회로 모델을 바탕으로 한 수치해석을 이용하여 분석하였다. 중성입자 밀도의 공간분포는 인가 전압, 자기장의 세기 및 유량과 같은 방전조건의 변화에 크게 영향을 받지 않고, 가스 공급부의 내부 구조에 의해 결정되는 것을 확인하였다. 또한, 등가회로 모델을 이용하여 균일한 공간분포를 얻기 위한 공급부 설계를 수행하였다.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
• /
• v.21 no.8
• /
• pp.7-13
• /
• 2004

초정밀 공작기계의 기능은 초정밀 운동에 의해 대부분 지배된다. 이러한 운동을 생성하는 고정밀 베어링의 운동정밀도는 이미 나노미터 레벨에 도달하고 있으며, 이러한 운동정밀도를 나노미터 레벨의 정밀도로 측정하는 것(정밀나노계측)이 중요한 과제가 되고 있다. 예를 들어, 초정밀선반 등에 있어서, 공기베어링을 대표로 하는 높은 회전정밀도를 갖는 회전축(주축)이 사용되고 있으며, 따라서 이러한 고정밀 주축의 회전정밀도를 나노미터 레벨의 정밀도로 평가하는 기술은 매우 중요하다. (중략)

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2013.02a
• /
• pp.529-529
• /
• 2013

플라즈마를 진단하는 데에는 장비적으로나 현실적으로 많은 제약이 따른다. 따라서 측정 할 수 있는 parameter가 적다. 그리고 진단 장비의 성능에 따라서 측정된 data의 신뢰도가 결정된다. 그래서 플라즈마에 레이저를 쏘아서 생성되는 솔리톤의 RADIATION을 이용하여 플라즈마의 특성을 파악하려고 한다. 본 시뮬레이션은 Particle-In-Cell (PIC) 시뮬레이션을 이용하여 Underdense 플라즈마에 Terahertz 레이저를 쏘았을 경우 발생되는 솔리톤의 특성을 파악하였다. 2D 시뮬레이션으로 수행하였으며 플라즈마는 Underdense 플라즈마를 이용하였다. 레이저 Focusing 점의 위치와 솔리톤의 주파수, 플라즈마의 밀도 gradient 에 따른 솔리톤의 이동 및 특징, 플라즈마 밀도에 따른 솔리톤의 특징을 살펴보았다.

• Proceedings of the Korea Inteligent Information System Society Conference
• /
• 2006.06a
• /
• pp.217-222
• /
• 2006

카오스 로봇의 하드웨어 구현에서 로봇의 자체 또는 바퀴가 정확하기 자기 위치를 인식하고 지시한 방향과 거리만큼 이동하는 것이 가장 중요하다. 본 논문에서는 고정밀 위치 측정이 가능한 카오스 로봇에서의 방위각 센서를 설계하기 위한 VF 컨버터와 방위각 센서를 설계하는 기법을 제시하였다.

• Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
• /
• 1996.05d
• /
• pp.147-154
• /
• 1996

외국에서는 도로건설시 성토관리용으로 '방사성동위원소(Radioisotope : 이하 RI)를 이용한 습윤밀도 및 함수량 측정장비'가 많이 사용되고 있는 추세이다. 국내에서는 1989년 제정된 건설 기술관리법 감리전문회사건립 등록기준에 밀도\ulcorner함수량 측정기의 보유가 명시되어 있고 시공성 향상 차원에서 도입될 예정이다. 그러나 국내의 토양에 맞게 제작되어지지 않았고 사용상의 방사선 관련 제약 때문에 기대만큼 실제 사용이 되지 않고 있다.$^{(1)}$ 연구발표내용은 국내에서 제작, 실험하여 만들 RI계기개발의 기초가 되는 내용이며, 만들어질 계기의 부품과 계산과정 등을 예측하는 것이다.

• Analytical Science and Technology
• /
• v.18 no.1
• /
• pp.59-65
• /
• 2005

When the low level radioactivity sample is measured, it is required to have many samples. For increase of the sample volume, a scattering and absorbing probability of the emitted gamma-ray in the sample are to be increased. In order to correct the self-absorption effect, the counting efficiency must be calibrated according to a geometrical condition and sample density. But, it is impossible to determine efficiency for counting sample using standard source with the same geometrical condition and density. In this study, the measuring efficiencies were determined with various counting containers and densities. In order to compare the self-absorption effect with the sample density in the various sample container, the variation of the counting efficiency with the densities was investigated by adding NaI, which has high solubility and density. Also, they were compared with Monte Carlo simulation. The self-absorption effect was found to be significant in the low energy region below 0.5 MeV.

• The Journal of Engineering Geology
• /
• v.13 no.4
• /
• pp.405-418
• /
• 2003

Measurements of volumetric water content and saturation of porous media are very important factors in understanding the physical characteristics of soil, groundwater recharge by rainfall, pollutant movement, and slope failure. To measure such physical parameters, a permittivity method using electromagnetic wave is applied and use is made of the special permittivity response of understand to water and ethanol. In particular, the estimation is required because permittivity is influenced by the nature of the underground environment. In this study, we carried out experiments on the relative dependency of soil density, temperature and salinity of standard sand and granitic weathered soil using FDR-V system (Frequency domain reflectometry with vector network analyzer) within a frequency range of 1 - 18 GHz. The results of the study showed that the dielectric constants of standard sand and granitic weathered soil increased with increased volumetric water content of soil. However, the dependency of soil density was found to be a little low. Changes of dielectric constant with temperature appeared definitely in the real part of 1 GHz. That is, the dielectric constant of real part at 1 GHz of water and standard sand increased with the rise of temperature. However, ethanol showed decreased tendency. The study also showed that dielectric constant increased with increase in salinity at imaginary part of 1 GHz. It could be concluded from this study FDR-V system can adequately measure the physical properties of soil and the degree of salinity concentration of porous media within 1 GHz frequency range using dielectric constant.

• Journal of Radiation Protection and Research
• /
• v.18 no.1
• /
• pp.25-35
• /
• 1993

To develop a technique of theoretical alpha track density calculation for comparison with measured track density, an electrostatic ion spectrometer was specially designed and fabricated. The mobility spectrum of first radon daughter(Po-218) in the range of $0.07{\sim}5.0cm^2/V\;s$ from the radon chamber was measured using-the electrostatic ion spectrometer. Measurement was taken in a radon chamber operated using dry particle free air passed through silica gel, activated charcoal and molecular sieve filters. The mobility of a new-born Po-218 ion measured by the electrostatic ion spectrometer was determined to be $1.92cm^2/V\;s$. A comparison of the theoretical and measured alpha track densities was completed and uncertainties concerning the shape of the spectrum were analyzed. It was found that the discrepancies in track densities are primarily Que to the neglect of wall loss of ions in the theoretical track density calculation.