• Title/Summary/Keyword: 미세 제어

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플라즈마 식각공정의 종말점 검출(End Point Detection) 제어

  • 우광방
    • ICROS
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    • v.4 no.4
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    • pp.41-44
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    • 1998
  • 이 글에서는 플라즈마 식각공정의 진행에 있어서 중요한 EPD제어기법과 파라미터 최적화에 대해 서술하였다. 또한 플라즈마 응용 식각장비의 발전경향과 다중체널 제어기의 개발에 대해서도 알아보았다. 현재의 연구는 기존의 장비를 이용하여 회로를 보다 미세화하고자 하는 연구와 새로운 장비의 개발을 통한 고집적화로 구분할 수 있다. 또한 제품의 가격 경쟁력을 위해서 웨이퍼의 대구경화가 일반적인 추세이다. 웨이퍼의 대구경화는 불균일도의 극복을 위해 새로운 제어와 보다 향상된 EPD기법을 필요로 한다. 따라서 기존의 제어기법을 향상시키려는 노력과 새로운 검출기법에 대한 연구도 지속적으로 진행되고 있다.

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Dielectric Strength Enhancement of Extra High Voltage XLPE Power Cable by Micro-Structural Treatment on Semi-Conductive Interface (XLPE 계면에서의 라멜라 구조 제어 및 전기적 특성)

  • Cho, Dae-Hee;Shim, Sung-Ik;Youn, Bok-Hee;Lee, Sang-Jin
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2004.11a
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    • pp.293-296
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    • 2004
  • 초고압 케이블의 절연물질로 널리 사용되고 있는 가교 폴리에틸렌의 전기적 특성은 라멜라 결정 조직의 밀도와 라멜라 조직의 성장방향과 밀접한 관련이 있는 것으로 알려지고 있다. 본 연구에서는 반도전 물질에 2종의 첨가제를 이용하여 처방한 3종의 반도전 컴파운드에 대하여 시편 제작 조건에 따른 미세 조직을 제어하여 폴리에틸렌의 미세 조직을 변화시킴으로써, 라멜라 조직이 전기적 특성에 미치는 영향을 분석하였다. 전기적 특성은 AC 절연파괴 전압을 측정하였으며, 미세 조직 변화를 조사하기 위하여 TEM 이미지 분석 통하여 라멜라 밀도를 통계적으로 정성 분석하여 상관관계를 규명하였다.

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Performance characteristics of low frequency pulsating voltage power supply for DC Plasma Electric Precipitator (고전압 플라즈마 전기집진기를 위한 고전압 저속 스위칭의 작동 특성)

  • Jeong, Ku Young;Jeon, Hyeong Geun;Oh, Hyeon Jun;Roh, Chung Woook
    • Proceedings of the KIPE Conference
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    • 2019.07a
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    • pp.174-176
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    • 2019
  • 최근 미세먼지(PM10 또는 PM2.5)로 인한 인체 유해성 및 실제 피해사례가 인터넷, TV 매체 등에 의해 화두가 됨에 따라 각종 제조, 사업장 및 발전소에서는 미세먼지 배출기준을 충족하기 위한 고효율 집진 기술이 필요로 되고 있는 상황이다. 고압 코로나 방전에 의해 미세먼지를 포집하는 고전압 하전방식 집진장치의 경우 전류를 광범위로 조절 가능하며 역전리 방지에 탁월하여 고효율의 집진이 가능하다. 본 논문에서는 기존의 다전원(펄스전원, 기본전원)을 이용한 마이크로 펄스 하전방식이 아닌 공진형 컨버터와 고압 트랜스포머, 배전압 회로를 적용한 고전압 단전원 제어 하전방식 및 이를 이용한 고전압 전압원의 저속 스위칭 제어기법을 제안하고, 실제 측정을 통해 제안 방식의 실효성을 검증하였다.

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Fabrication and thermal stability of flower-like CeO2 with high surface area via anisotropic crystallization of carbonate precipitation (탄산염 침전 전구체의 결정 이방성 제어를 통한 고 비표면적 flower-like CeO2 분말의 제조 및 고온 안정성 평가)

  • Kim, Hanbit;Shin, Tae Ho
    • Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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    • v.29 no.4
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    • pp.160-166
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    • 2019
  • Cerium oxide ($CeO_2$, often called as Ceria) is one of the valuable rare earth oxide materials, which has been widely used for high temperature applications such as solid oxide fuel cells, automotive three-way catalysts and oxygen storage capacity. Considering those application, it is important to improve high redox and thermal stability with high surface morphology because the high surface area of $CeO_2$ could improve the catalytic reactivity at high temperature conditions. Herein we successfully fabricated hierarchical flower-like $CeO_2$ deposited via controlling pathway of precipitation reaction to supply carbonate ion lead to the flower-like morphology. The hexagonal lattice system of precipitated precursor shows better thermal stability then orthorhombic one during thermal cycling condition.

Sensitivity Analysis with Optimal Input Design and Model Predictive Control for Microalgal Bioreactor Systems (미세조류 생물반응기 시스템의 민감도분석을 위한 최적입력설계 및 모델예측제어)

  • Yoo, Sung Jin;Oh, Se-Kyu;Lee, Jong Min
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • v.51 no.1
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    • pp.87-92
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    • 2013
  • Microalgae have been suggested as a promising feedstock for producing biofuel because of their potential of lipid production. In this study, a first principles ODE model for microalgae growth and neutral lipid synthesis proposed by Surisetty et al. (2010) is investigated for the purpose of maximizing the rate of microalgae growth and the amount of neutral lipid. The model has 6 states and 12 parameters and follows the assumption of Droop model which explains the growth as a two-step phenomenon; the uptake of nutrients is first occurred in the cell, and then use of intra-cellular nutrient to support cells growth. In this study, optimal input design using D-optimality criterion is performed to compute the system input profile and sensitivity analysis is also performed to determine which parameters have a negligible effect on the model predictions. Furthermore, model predictive control based on successive linearization is implemented to maximize the amount of neutral lipid contents.

Fine Flow Controlling Device for Medicine Injection (의료 약물주입용 미세 유량 제어 장치)

  • Cho, Su-Chan;Shin, Bo-Sung
    • Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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    • v.28 no.4
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    • pp.51-55
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    • 2021
  • The nurses manually carry out the intravenous therapy for the patients. Using an Arduino, the fine flow controlling device was invented to provide an ongoing patient care. The medication is injected through a peristaltic pump, and the amount of the solution is controlled with a RGB color sensor. The power of the device is supplied through the batteries. An amount of the injection is measured with LIG strain sensor fabricated by 355nm UV pulsed laser. This system will provide a better medical service.

Implementation of Smart Windows Customized for Indoor and Outdoor Environments (실내외 환경 맞춤 스마트 윈도우의 구현)

  • Kim, Tae-Sun;Park, Byung-Jun;Park, Jun-Hong;Jung, Won-Hee;Shin, Hyo-Bin;Eum, In-Seob;Lee, Do-Gun
    • Proceedings of the Korean Society of Computer Information Conference
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    • 2022.07a
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    • pp.435-436
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    • 2022
  • 창문은 건물의 필수 구조물이지만 창문을 통해서 미세먼지, 빗물 등이 들어올 수 있어 창문을 열고 나가지 못하고 불안해하는 경우가 많다. 최근 들어 미세먼지가 급증하면서 사람들의 불안감이 더욱 증가하고 있으며, 보안에 취약한 창문들이 범죄에 취약하기 때문에 불안해 할 수 있다. 또한, 실내에서도 가스누출 등으로 인해 인명피해까지 이어지는 심각한 상황을 초래할 수 있기 때문이다. 이러한 사람들의 불안감을 없애기 위하여 아두이노를 이용하여 실외의 미세먼지와 빗물, 인체감지등을 통해 원격으로 창문을 제어하고 실내의 온도와 습도량, 가스량의 표시를 어플리케이션을 통해 확인할 수 있으며 원격으로 제어 또한 가능하도록 '실내외 환경맞춤 스마트 윈도우'를 개발하게 되었다.

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