Run-to-Run Control을 이용한 미세 채널의 MR 유체 연마의 공정제어

Abstract

Keywords

• Magneto-rheological Fluid;
• Micro channel;
• precision polishing;
• Fine abrasive polishingRun by Run control;
• Full model update

• 자기유변유체;
• 미세 채널;
• 정밀연마;
• 입자연마;