• 제목/요약/키워드: 미세전류

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고밀도 플라즈마를 이용한 PZT용 Pt/RuO$_{2}$ 이중박막의 식각 (Dry Etching of Pt/RuO$_{2}$ for Pb(Zr,Ti)O$_{3}$ by High Density Plasma)

  • 이종근;박세근
    • 대한전자공학회논문지SD
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    • 제37권3호
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    • pp.1-5
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    • 2000
  • 나선형태의 평면 안테나를 갖는 유도결합형 플라즈마를 이용하여 PZT용 Pt/RuO/sub 2/ 전극을 건식식각하였다. 누설전류 억제특성이 우수한 Pt와 건식식각이 용이한 RuO/sub 2/ 박막의 장점을 동시에 이용하기 위하여 PZT의 하부전극으로 Pt/RuO/sub 2/의 2중층을 시도하였다. 우선 Pt와 RuO/sub 2/ 박막 각각에 대하여 플라즈마의 여러 조건에 따라 식각율과 선택비를 조사하였다. 조사된 공정기체는 O/sub 2/ 와 Cl/sub 2/ 의 혼합기체이며, 패터닝을 위해 사용한 마스크재료는 SiO/sub 2/ 산화막이었다. Cl/sub 2/ 의 함량이 증가함에 따라 Pt의 식각율은 점점 증가하지만, RuO/sub 2/의 경우에는 Cl/sub 2/의 함량이 처음 10% 정도가지 증가할 때에는 RuO/sub 2/의 식각율이 급격히 증가하지만 더 이상의 Cl/sub 2/ 함량에서는 식각율이 점차 감소하였다. Pt/RuO/sub 2/의 2중층을 동시에 식각하기 위한 최적의 기체혼합비를 구하였으며, 0.5 마이크론급의 미세패터닝을 시도하였다.

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전자기 진동을 이용한 Al-Si 합금의 조직 제어에 관한 연구 (A Study on the Structural Controlling of Al-Si Alloy by Using Electromagnetic Vibration)

  • 최정평;김기배;남태운;윤의박
    • 한국주조공학회지
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    • 제26권5호
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    • pp.205-210
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    • 2006
  • 여러 전자기 재료 프로세싱 연구 중에서 연구 되어지지 않았던 Al-Si 합금의 조직제어를 직류 자기장과 교류 전류장을 사용하여 시도 하였다. 본 연구의 목적은 Al-Si 합금에서의 새로운 거시, 미시 조직제어를 하기 위해 사용된 전자기 진동의 영향을 조사하는 것이다. 전자기 진동이 초정 알루미늄의 형상 변화를 위해 낮은 진동수 (>60Hz)로 주어질 경우, 수지상의 형상이 구상화 형상으로 변해갔다. 전자기 진동이 공정 실리콘 형상 변화를 위해 주어졌을 경우, 높은 진동수 (>500Hz)에서 조대한 판상 조직이던 실리콘이 미세한 섬유상 조직으로 변화하고, 기계적 성질도 우수해졌다.

$MgB_2$ bulk의 미세구조와 임계전류밀도에 미치는 polyacrylic acid doping 효과 (Effects of Polyacrylic Acid Doping on Microstructure and Critical Current Density of $MgB_2$ Bulk)

  • 이승묵;황수민;이창민;주진호;김찬중
    • Progress in Superconductivity
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    • 제11권2호
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    • pp.87-91
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    • 2010
  • We fabricated the polyacrylic acid (PAA)-doped $MgB_2$ bulks and characterized their lattice parameters, actual C substitutions, microstructures, and critical properties. The boron (B) powder was mixed with PAA using N,N-dimethylformamide as solvent and then the solution was dried out at $200^{\circ}C$ and crushed. The C treated B powder and magnesium powder were mixed and compacted by uniaxial pressing at 500 MPa, followed by sintering at $900^{\circ}C$ for 1 h in high purity Ar atmosphere. We observed that the PAA doping increased the MgO amount but decreased the grain size, a-axis lattice constant, and critical temperature ($T_c$), which is indicative of the C substitution for B sites in $MgB_2$. In addition, the critical current density ($J_c$) at high magnetic field was significantly improved with increasing PAA addition: at 5 K and 6.6 T, the $J_c$ of 7 wt% PAA-doped sample was $6.39\;{\times}\;10^3\;A/cm^2$ which was approximately 6-fold higher than that of the pure sample ($1.04\;{\times}\;10^3\;A/cm^2$). This improvement was probably due to the C substitution and the refinement of grain size by PAA doping, suggesting that PAA is an effective dopant in improving $J_c$(B) performance of $MgB_2$.

R.F. Magnetron Sputtering으로 다양한 Interlayer 층위에 형성시킨 PZT 박막의 미세구조와 강유전 특성 (Microstructure and Ferroelectric Properties of PZT Thin Films Deposited on various Interlayers by R.F. Magnetron Sputtering)

  • 박철호;최덕영;손영국
    • 한국세라믹학회지
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    • 제39권8호
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    • pp.742-749
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    • 2002
  • R. F. magnetron sputtering법을 이용하여 Pt/Ti/$SiO_2$/Si 기판 위에 $Pb_{1.1}Zr_{0.53}Ti_{0.47}O_3$ target을 사용하여 박막을 제조하였다. Interlayer(PbO, $TiO_2$, PbO/$TiO_2$)층을 삽입함으로써 박막의 결정성을 향상시켰고, 박막의 기판온도도 상당히 낮출 수 있었다. 순수한 PZT에 비하여 interlayer를 삽입한 PZT는 높은 유전상수과 낮은 유전손실 및 높은 누설전류를 가지는 우수한 전기적 특성을 나타내었다. 이러한 PZT 박막과 interlayer 층은 증착온도에서 서로 반응하여 하나의 고용체를 이루지 않고, 각각 독립적인 층으로 존재함을 XPS 분석을 통해 확인하였다. 여러 interlayer중 특히 PbO/$TiO_2$는 우수한 유전특성(${\varepsilon}_r$=414.94, tan${\delta}$=0.0241, Pr=22${\mu}C/cm^2$)을 나타내었고 가장 효과적인 seed로써의 역할을 하였다.

미세전류치료기 전극 종류에 따른 효능 비교 (Efficacy of Microcurrent Electrical Neuromuscular Stimulation with Different Types of Stimulating Electrodes)

  • 최효정;김성수
    • 한방재활의학과학회지
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    • 제23권3호
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    • pp.107-116
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    • 2013
  • Objectives The purpose of this study was to evaluate the most effective stimulating electrode in Microcurrent electrical neuromuscular stimulation (MENS) for pain relief, and to apply to the treatment of Delayed onset muscle soreness (DOMS). Methods We included 45 participants who met the inclusion criteria. DOMS of both Triceps Surae Muscles were experimentally induced through eccentric contractions. 24-hours after induction of DOMS, who scored more than 40 mm in visual analogue scale (VAS) were randomly assigned into three groups (n=44). In 15 of them, needle electrodes were inserted into BL57, BL56. In 15 of them, surface electrodes were applied on the same points and the others were treated with manual acupuncture. The effects of pain relief were assessed by visual analogue scale (VAS), mechanical pain threshold (MPT), surface electromyography (SEMG). Results In VAS, group comparison had no significant difference after all treatments had done. The difference in VAS between the time before the treatment was started (Day 2) and after all treatments were completed was greater in Acupuncture group than that of needle-electrode group. In MPT, there was no significant difference among groups. Electrical contraction decreased significantly at 2nd before-after treatment comparison in needle-electrode MENS group. But fatigue scores were not significantly different between groups. Conclusions The results suggest that the types of electrodes has no significant effect on microcurrent therapy in DOMS.

3급 치근분지부 골결손에서 미세전류자극이 치주조직의 재생에 미치는 영향에 관한 실험적 연구 (Experimental study on the effect of direct microcurrent to periodontal regeneration in class III furcation defects)

  • 김영준;정현주
    • Journal of Periodontal and Implant Science
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    • 제27권4호
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    • pp.845-866
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    • 1997
  • Several experimental studies showed that the application of small amounts of electric current to bone stimulated osteogenesis at the site of the cathode and suggests that the application of electrical currents to periodontal defects could promote bone and cementum formation. The purpose of this study was to determine the effect of direct microcurrent to the periodontal regeneration of class III furcation defects in dogs. Class III furcation defects were surgically created on the third and the fourth premolars bilaterally in the mandibles of nine mongrel dogs. Experimental periodontitis were induced by placing small cotton pellets into the created defects for 3 weeks. The experimental sites were divided into three groups according to the treatment modalities: Group I-surgical debridement only; Group II-allogenic demineralized freeze dried bone grafting; Group III-allogenic demineralized freeze dried bone grafting and electrical stimulation. For fluorescence microscopic evaluation, calcein, oxytetracycline HCI and alizarin red were injected 2, 4 and 8 weeksfS days prior to sacrifice) after surgery. The animals were sacrificed in the 1st, 2nd, 4th and 8th week after periodontal surgery and the decalcified and undecalcified specimens were prepared for histological and histometrical examination. After the first and the second weeks, gingival recession was more severe in group I than groups II and III. After the fourth and the eighth weeks, there was no difference in the width of junctional epithelium and connective tissue attachment among the three groups, but the width of connective tissue attachment increased in group II at the eighth week, compared to the fourth week. The amount of bone repair in new attachment was significantly greater in group III, compared to groups I and II. New attachment formation was significantly greater in group III, compared to groups I and group II. These results suggest that electrical stimulation using microcurrent generator could be a useful tool for periodontal regenerative therapy in class III furcation defect.

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안경테용 P-Ti와 α+β-Ti의 전기저항땜질 특성에 관한 연구 (A Study on the Characteristics for Electric Resistance Brazing of Eyewear Frame P-Ti and α+β-Ti)

  • 박정식;박은규
    • 한국안광학회지
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    • 제12권4호
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    • pp.5-8
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    • 2007
  • 티타늄과 그 합금은 경량성, 우수한 기계적 성질 그리고 우수한 내식성 때문에 주요한 안경테 소재로 사용되고 있다. 본 연구에서는 안경테 소재로 사용되고 있는 순 티타늄(P-Ti)과 ${\alpha}$+${\beta}$-티타늄(${\alpha}$+${\beta}$-Ti)을 이용하여 전기저항땜질 장치를 이용하여 접합조건의 변화에 따른 접합부의 특성 변화에 대하여 조사하였다. P-Ti 및 ${\alpha}$+${\beta}$-Ti 모두 접합부 근처에서 땜질 전류의 증가에 따른 결정립의 조대화에 의해 경도의 감소가 나타났으며, 특히 ${\alpha}$+${\beta}$-Ti 보다 P-Ti에서 경도의 감소가 크게 나타났다. ${\alpha}$+${\beta}$-Ti에서 경도값의 저하가 적은 것은 미세한 ${\alpha}$+${\beta}$ 층상조직의 형성에 의한 효과인 것으로 판단된다.

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미세전류치료와 초음파치료가 슬관절전치환술 후 통증경감과 기능회복에 미치는 영향 (The Effects of Microcurrent Treatment and Ultrasound Treatment on the Pain Relief and Functional Recovery after Total Knee Replacement)

  • 조운수;김용남;김용성;황태연;진희경
    • The Journal of Korean Physical Therapy
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    • 제24권2호
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    • pp.118-126
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    • 2012
  • Purpose: The purpose of this study was to investigate pain relief and functional recovery after total knee replacement. Methods: The treatment was performed by dividing individuals into a control group ($n_1=5$), ultrasound treatment group ($n_2=5$), and micro-current treatment group ($n_3=5$). The control group applied the hot pack for 15 minutes, Transcutaneous Electrical Nerve Stimulation (TENS) for 15 minutes, and Continuous Passive Movement (CPM) for 40 minutes. The ultrasound therapy group applied the frequency of 1 MHz, intensity of 1.0 $W/cm^2$ for five minutes following the same treatment as the control group. The micro-current therapy group applied the intensity of 25 ${\mu}A$, and pulsation frequency 5 pps for 15 minutes following the same treatment as the control group. After treatment, Visual Analogue Scale (VAS), Korean Western Ontario and McMaster Universities Arthritis Index (K-WOMAC), Berg Balance Scale (BBS), Range of Movement (ROM) and wound length was measured. Results: VAS showed significant effect in the control group and micro-current therapy group during the treatment period. According to the treatment of K-WOMACK, BBS, ROM, and Healing wounds showed main effects between groups. Conclusion: According to the results of this study, data showed improvement of pain relief, wound healing effects, and range of motion recovery. Thus, these selected treatments were effective after total knee replacement. In other words, electrical treatment continues to influence pain relief and functional recovery after total knee replacement.

다공성 실리콘위에 증착된 Cu 박막의 구조적 물리적 특성 (Structuyal and physical properties of thin copper films deposited on porous silicon)

  • 홍광표;권덕렬;박현아;이종무
    • 한국진공학회지
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    • 제12권2호
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    • pp.123-129
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    • 2003
  • 다공질 실리콘(PS)기판 위에 rf-스퍼터링법으로 10~40 nm의 두께의 반 투과성 구리박막을 증착하였다. PS는 p형 (100) 실리콘 웨이퍼를 기판으로 50㎃/$\textrm{cm}^2$의 전류밀도를 사용하여 전해 에칭법으로 양극 산화하여 제작하였다. PS층과 Cu박막의 미세구조를 분석하기 위하여 SEM, AFM 그리고 XRD 분석을 시행하였다. AFM 분석결과 Cu 박막의 RMS roughness 값은 약 1.47nm로 Volmer-Weber 유형의 결정립 성장을 보였으며, 결정립의 성장은 (111) 배향성을 나타냈다. PS층의 PL 스펙트럼은 blue green 영역에서 관찰되었고, Cu 박막 증착 후 0.05eV의 blue shift가 나타났으며, 약간의 강도저하를 보였다. PS/Cu접합구조의 FTIR스펙트럼은 주 피크변화는 없으나 전반적인 강도의 감소를 보였다. I-V 특성곡선으로 본 PS/Cu 접합구조는 ideality factor가 2.77이고 barrier의 높이가 0.678eV인 Schottky 유형의 다이오드 특성을 보였다. PS/Cu 접합구조로 만든 다이오드 제조로 EL특성을 관찰할 수 있었다.

Sn-3.5Ag BGA 솔더 조인트의 전기적, 기계적 신뢰성에 관한 연구 (A Study on electrical and mechanical reliability assessment of Sn-3.5Ag solder joint)

  • 성지윤;이종근;윤재현;정승부
    • 대한용접접합학회:학술대회논문집
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    • 대한용접접합학회 2009년 추계학술발표대회
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    • pp.80-80
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    • 2009
  • 패키징 구조의 발전이 점차 중요한 문제로 대두되어, 칩의 집적 기술의 발전에 따라 실장기술에서도 고속화, 소형화, 미세피치화, 고정밀화, 고밀도화가 요구되고있다. 최근 선진국을 중심으로 전자 전기기기 및 부품의 실장기술에서도 환경 친화적인 기술을 요구함에 따라, 저에너지 공정 및 무연 실장 기술에 대한 연구가 활발하게 진행되고 있다. 기존의 SOP(Small Out-line Package), QFP(Quad Flat Package) 등은 소형화, 다핀화, 고속화, 실장성에 한계가 있기 때문에, SMT(Surface Mount Technology) 형식으로 된 BGA(Ball Grid Array)가 휴대형 전화를 비롯한 기타 전자 부품 실장에 널리 사용되고 있다. BGA ball shear 법은 BGA 모듈의 생산 및 취급 중에 발생할지도 모르는 기판에 수평으로 작용하는 기계적인 전단력에 BGA solder ball이 견딜 수 있는 정도를 측정하기 위해 사용되는 시험법이다. 전단 시험에 의한 전단 강도의 측정 외에 전기전도도 측정, 파면 관찰, 이동거리(displacement), 유한요소 해석법 등을 병행하여 시험법의 신뢰성 향상에 대한 연구가 이루어지고 있다. 본 실험에서는 지름이 $500{\mu}m$인 Sn-3.5Ag 솔더볼을 이용하여 세라믹 기판을 접합하여 BGA 패키지를 완성하였다. 상부 기판에 솔더볼을 정렬시켜 리플로우 방법으로 접합 한 후 솔더볼이 접합된 상부 기판과 하부 기판을 접합 하여 시편을 제작하였다. 접합된 시편들은 $150^{\circ}C$에서 0~800시간 열처리를 실시하였고, 열처리를 하면서 각각 $3{\times}10^2A/cm^2,\;5{\times}10^3A/cm^2$의 전류를 인가하였다. 시편들을 전단 시험기를 이용하여 솔더볼의 기계적 특성 평가를 하였으며, 계면 반응을 관찰하였다.

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