미세드릴가공은 드릴 직경의 소경화로 발생하는 공구강성저하, 지동 발생, 칩배출 곤란 등으로 인해 수많은 기계가공 중에서도 가장 어려운 가공 중의 하나이며 이로인해 설계의 단계에서 가능한 피하고있는 실정이다. 그러나 근래 각종 제품의 소형 경량화 추세가 일어나면서 미세구멍가공 기술에 대한 중요성이 높아지고 있으며, 특히 시계부품, 소형 정밀 부품, 연료분사용 노즐, 광파이버 관련품, 우주항공기 부품 등에 수요가 급증하고 있다. 또한 최근 전기.전자 공업의 발달과 함께 등장한 표면실장기술(SMT)은 프린터 배선기판의 고밀도화를 더욱 진전시켰으며 이는 구멍밀도, 구멍지름의 미소화 등 미세구멍가공 관점에서 보완해야 할 기술적인 과제를 남겨 놓았다. 본 연구는 미세드릴가공의 메카니즘을 규명하고 그 문제점을 해결하여 미소경 드릴링 머신을 개발하는 데 주력함과 동시에그 절삭현상의 기초적인 연구를 수행하였다
최근 휴대폰 등 모방일 전자기기 산업에서 차세대 고부가 PCB(MLB, HDI, FPC, 등) 및 고기능 PCB(COF, MOF, SOF)의 급속한 적용 확대로 직경$20{\mu}m$급의 비아홀(viahole) 및 interconnection 홀 가공을 위한 초정밀/초고속 레이저 드릴링 공정 및 장비기술 개발에 대한 시장의 요구가 급증하고 있다. 이에 반해 기존의 CO2 레이저 드릴링은 기술적 한계에 도달하여 시장의 요구에 대응이 불가하며, 선진업체에서는 최근 UV 레이저 드릴링 장비에 대한 시장 점유율을 높여가고 있다. 특히 국내시장은 미국의 ESI사가 독점하고 있어 기술개발 투자를 통한 국산화가 절실한 상황이다. 이에 당사에서는 초고속/초정밀 UV laser 시스템을 이용한 FPC iva hole drilling을 연구과제로 개발을 진행하고 있으며 국산화를 넘어서 세계시장점유를 목표로 공정장비개발을 진행중이다.
Due to the extremely short interaction time (< $10\times10^{-12}$sec) between laser pulse and material, which enables the minimization of heat affection, ultrafast laser micro-machining has rapidly widened its applications. In this paper, the characteristics of ultrafast laser micro-machining have been reviewed and experimentally demonstrated in laser drilling of silicon wafer and in laser cutting of rigid PCB.
레이저 빔이갖고있는 spatial coherence 특성에 의해서 렌즈를 이용하여 집광시키면 집광부에서 고출력 밀도를 얻을 수 있다. 이와같이 집광된 레이저 빔을 재료의 표면에 조사하면 재료로 부터 미세량을 용융, 증발시키므로 일반적인 방법으로는 가공이 어려운 단단한 재료의 절단과 미세 구멍가공이 가능하게된다. 본 논문에서는 출력, 펄스 수, defoucsing, pulse on-time, 보조가스 압력등을 변화 시키면서 드릴링 실험을 수행하고, 각 실험 조건에서의 구멍 형상과 깊이를 측정함으로써 가공 변수들의 process sensitivity를 평가하였다.
Aluminum has been widely used in the electric applications because of light metals. When mechanical element is periodically moving with contacting other surfaces, the anodizing process for aluminum is useful for avoiding the abrasive damage. The anodized element has quietly different characteristics with respect to the distribution of hardness and crystal structure. In this work, the laser drilling of anodized surface is studied experimentally. Fusion drilling method - laser drilling with inert gas blowing - is used. The effect of various process parameters (gas pressure, laser power, focus position) is investigated with respect to the hole size and circularity.
By the localization of electro-chemical dissolution region, we succeeded in a few micrometer size hole drilling on stainless steel with the radial machining gap of about 1 ${\mu}{\textrm}{m}$. Tens of nanosecond duration voltage pulses were applied between WC micro-shaft and stainless steel in the 0.1 M $H_2SO_4$ solution. Pt balance electrode was used to drill the high aspect ratio micro-hole without generation of Cr oxide layer on the machined surface. The effects of applied voltage, pulse duration, and pulse period on localization distance were investigated according to machining time. We suggested the taper reduction technique especially brought up on blind-hole machining. High quality micro-holes with 8 ${\mu}m$ diameter with 20 ${\mu}m$ depth and 12 ${\mu}m$ diameter with 100 ${\mu}m$ depth were drilled on 304 stainless steel foil. The various hole shapes were also produced including stepped holes and taper free holes.
On this study, technical aspects were reviewed to drill a series of micro holes (${\phi}$0.10) over 200 within a few micron tolerance in diameter and position on the stainless steel material. Dedicated tools & jigs were designed and manufactured and optimum cutting conditions were found. On this micro hole drilling process, guide drill and step feeding were applied to help chip discharge, prevent drill breakage and finally improve the accuracy of positioning and roundness. The processing results indicated that most holes are distributed within a few micron tolerance in diameter and position intervals.
Recently, the trends of industrial products grow more miniaturization, variety and mass production. Micro drilling which take high precision in cutting work is requested more micro hole and high speed working. Especially, Micro deep hole drilling is becoming more important in a wide spectrum of precision production industries, ranging from the production of automotive fuel injection nozzle, watch and camera parts, medical needles, and thick multi-layered Printed Circuit Boards(PCB) that are demanded for very high density electric circuitry. This paper shows the tool monitoring results of micro drill with tool dynamometer. And additionally, microscope with built-in monitor inspection show the relationship between burr in workpiece and chip form of micro drill machining.
The micro-extruding die is a die for manufacturing of fine-wire by extruding process. The fine-wire made from the micro-extruding can be effectively applied to fields of semiconductor parts and medical parts etc. It is predicted that the demand of fine-wire in industry is more and more increasing. In this study $\phi50\mu m$ micro-drill which is coated with diamond is used for drilling of super micro-hole sizes. For the machining of taper parts of entrance and exit, drill having $\phi50\mu\textrm{mm}$ inclination angle $20^{\circ}$and angle $30^{\circ}$ is used. This is useful for anti tool-breakage and excessive too-wear in drilling process. After micro-drilling, the polishing process by diamond abrasive and polishing wood s carried out for increasing surface roughness.
재료가공분야에의 레이저의 적용은 1960년대 후반부터 시작되었으며, 고출력 CO$_2$ 와 Nd:YAG 레이저가 많은 산업분야에서 보편화될 정도로 발전하여 왔다. 재료가공에서의 레이저의 적용분야는 금속의 절단, 용접 및 드릴링, 세라익의 스크라이빙, 플라스틱과 복합재의 절단 및 여러 가지 재료의 마킹 등을 포함한다. 이와 같은 모든 응용에서 공통적인 것이 레이저 조사에 의해 재료를 용융, 증발시키는 열적 메카니즘이다.(중략)
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[게시일 2004년 10월 1일]
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