• Ceramist
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• v.4 no.1
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• pp.5-13
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• 2001

차세대 ULSI 소자의 다층금속배선을 위한 저유전 물질중에서, 기존의 절연막인 TEOS-$SiO_2$ 증착 장비 및 공정을 최대한 이용할 수 있으며, 물성 또한 TEOS oxide와 유사하다는 점에서 적용 시점을 앞당길 수 있는 SiOF 박막과 SiOC 박막의 특성에 대해 고찰해 보았다. 1세대 저유전 물질이라 할 수 있는 SiOF는 후속공정에도 안정적인 상태의 박막을 얻기 위해서는 3.0이하의 유전상수를 얻는 것이 불가능한 반면, SiOC는 3.0 이하의 유전상수를 가지는 안정적인 박막을 얻을 수 있다. SiOC 물질은 저밀도의 단일물질로서, 물질 내부에 후속공정에 영향을 미칠만한 기공을 포함하지 않기 때문에 후속 CMP 공정에 적합하였으며, $450^{\circ}C$이하의 열 공정에서도 응력변화 및 박막성분 탈착이 거의 일어나지 않는 점 또한 SiOC 박막의 우수한 후속공정 적합성을 보여주는 결과였다. 이러한 결과를 종합하여 볼 때, 현재 사용되고 있는 1세대 저유전 물질인 SiOF 박막을 대체할 차세대 저유전 물질로 SiOC 물질이 유망하며, 이는 3.0 이하의 유전상수를 요구하는 Gb DRAM 소자나 보다 빠른 동작속도가 생명인 논리회로(logic circuit) 소자에 적용될 경우 큰 소자특성 개선이 기대된다.

• Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
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• 1993.06a
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• pp.1-29
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• 1993

막 분리는 막의 물리화학적 특성, 분리대상 물질의 물리화학적 특성, 그리고 물질의 이동현상을 조절하는 압력차, 농도차 및 전위차 등의 추진력, 이 세가지 요소의 조합에 의해 행해진다. 막은 막을 구성하고 있는 물질의 물성, 구조, 막의 응용분야 및 역할 등에 의하여 세공막(Macroporous membranes), 미세공막(Microporous membranes), 비공성막(Nonporous membranes)등으로 분류된다.

• Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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• 2003.05a
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• pp.769-771
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• 2003

고분산성을 이루는 물질들이 석영(quartz)을 바탕물질로 하여 기계-화학적 반응 기술을 이용하여 제작하였다. 반응의 처리 조건과 이후의 응용에 따라서 기계-화학적 반응을 이용하여 제작한 물질은 자기 특성, 유전체 특성, 전기적 특성을 동시에 나타냈다. 부착성 복합물질의 특징을 고려하여 세그네토 마그네틱스(Segneto-magnetics)로 분류 제작된 자기-전기적 분말은 유전체재료 특성을 나타냈다. 특히, 석영 표면에 하나 또는 그 이상의 이질 화합물 층이 10∼50nm 두께로 합성되어, 자기ㆍ전기적 특성을 나타냈다.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.15 no.2
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• pp.89-99
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• 2004

At the interface of two materials with frequency-dependent material-parameters of permittivity and permeability, there may exist two kinds of surface polaritons: surface electric-polaritons(SEPs) and surface magnetic-polaritons(SMPs). Possible combinations of the material-parameters to support propagation of the two surface polaritons are suggested at the interface between metals and metamaterials such as a left-handed material. Dispersion relations are also derived in order to characterize frequency dependence of propagation of the SEP and SMP. It is found that only one propagation mode of SEP or SMP is allowed at a given set of four material parameters, and that counter-propagation of the phase and group velocities of the propagation mode can be observed even in the case when there are no double negative(or, negative-index) materials. Physical origin of the counter-propagation of the group velocity is proposed by evaluating the ratio of two electromagnetic-energy densities of a surface polariton propagating along within the two interface media, and it is confirmed by the dispersion relations.

• Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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• v.14 no.1
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• pp.38-44
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• 2010

In this paper, the higher order FDTD(Finite-Difference Time-Domain) method is used to obtain the frequency response characteristics of the cylindrical metamaterial slab. FDTD method is one of strongest electromagnetic numerical method which is widely used to analyze the metamaterial structure because of its simplicity and the dispersive FDTD equation which has the dispersive effective dielectric constant and permeability are derived to analyze the metamaterials. This derived dispersive FDTD equation has no errors in analyzing the dielectric materials but there are some time and frequency errors in case of analyzing the metamaterials. We used the higher order FDTD method to obtain the accurate frequency response of the metamaterials. Comparisons between the dispersive FDTD method and the higher order FDTD method are performed in this paper also. From the results, we concluded that more accurate frequency response for various metamaterials applications can be obtained using the proposed method in this paper.

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2011.10a
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• pp.42.2-42.2
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• 2011

산화물 기반의 TFT (Thin Film Transistor) 는 유리, 금속, 플라스틱 등 기판 종류에 상관없이 균일한 제작이 가능하며, 상온 및 저온에서 대면적으로 제작이 가능하고, 저렴한 비용으로 제작 가능하다는 장점 때문에 최근 많은 연구가 이루어지고 있다. 현재 TFT 물질로 많이 연구되고 있는 산화물 중 가장 많은 연구가 이루어진 ZnO 기반의 TFT는 mobility와 switching 속도에서 우수한 특성을 보이나, 트렌지스터의 안정성이 떨어지는 것으로 보고 되고 있다. 그러나 IGZO 물질의 경우 결정학적으로 비정질이며, 상온 및 저온에서 대면적으로 제작이 가능하고, 높은 전자 이동도의 특성을 가지고 있는 장점 때문에 최근 차세대 산화물 트렌지스터로 각광받고 있다. IGZO 물질의 경우 s 오비탈의 중첩으로 인해 높은 전자 이동도의 특성을 가지며, IGZO 물질 내 전자의 이동은 IGZO의 조성과 구조적 특성에 영향을 받는다. IGZO 물질의 구성 성분은 $In_2O_3$, $Ga_2O_3$, ZnO 성분으로 이루어져 있으며, $In_2O_3$의 경우 주로 carrier를 생성하고 IGZO TFT의 mobility를 향상시키는 물질로 알려져 있다. 본 연구에서 $In_2O_3$ nanoparticle을 density를 변화시켜 첨가하여 IGZO TFT 소자 제작 및 특성에 대한 평가를 진행하였다. $In_2O_3$ nanoparticle의 density에 따른 interparticle spacing과 IGZO계면 사이의 미세구조와 전기적인 특성간의 상관관계를 연구하기 위하여 IGZO TFT 특성은 HP 4145B 측정을 통하여 확인하였고, $In_2O_3$ nanoparticle의 분포와 결정성은 XRD와 AFM을 통해 분석하고, $In_2O_3$ nanoparticle의 첨가가 IGZO 소자에 미치는 가능성을 확인하였다.

• Fire Science and Engineering
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• v.31 no.5
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• pp.7-11
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• 2017

The purpose of this study is to recognize the necessity for the management of the available materials in cases of arsons and to prevent arson gaining an understanding of the combustion characteristics of the flammable materials and combustion accelerants in arson cases. We investigated and analyzed the statistical data on arsons and selected flammable materials (wood, paper, synthetic textiles, synthetic resins), and combustion accelerants (gasoline, diesel, solvent) that are frequently used in cases of arson. We conducted a thermogravimetric analysis to assess the thermal properties of the flammable materials. Also, we conducted burning and flame spread rate tests for the purpose of comparing and analyzing the combustion characteristics of the flammable materials and combustion accelerants.

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 1999.10a
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• pp.131-132
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• 1999

PAHs (Polycyclic Aromatic Hydrocarbons)는 연료나 폐기물의 불완전 연소의 부산물로써 얻어지는데, 이런 PAHs 중의 많은 물질이 인체에 해로운 유해성 물질로 규제되고 있다. 특히, Benzo(a)pyrene은 발암성 물질로 잘 알려진 PAHs 화합물이다. PAHs의 이러한 독극성 또는 유해성으로 인하여 최근 이들 물질에 대한 대기중 거동과 침착특성에 대한 관심이 고조되고 있다.(중략)

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2000.11a
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• pp.191-193
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• 2000

오존 등 기체상 오염물질의 식물 표면에 대한 건성침적은 식물의 생물학적 활동에 피해를 줄 수 있으며(Runeckles and Chevone, 1992; Chappelka and Chevone, 1992), 건성침적 현상은 노출된 식물지표 환경의 화학적 특성을 변화시키는 작용으로 관심의 대상이 되고있다(Businger, 1986; Galbally et al., 1986; Chang et al., 1987; Wesely, 1989; Hicks et al., 1989). 이러한 기체상 오염물질의 침적현상은 대기질 관리에 있어서 오염물질의 적절한 감소계획을 산정ㆍ평가하기 위하여 지상 오염물질의 농도를 정확하게 추정하는 과정에서 필수적으로 고려되어야 하는 부분이다. (중략)

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2003.11a
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• pp.261-262
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• 2003

현대인들은 하루 중 80∼90％ 이상의 많은 시간을 실내에서 생활하고 있어 실내에서의 발생되는 오염물질에 대한 특성파악은 무엇보다도 중요하다. 실내오염물질의 종류와 발생원은 매우 다양하며, 최근에는 산업발달과 더불어 수 많은 종류의 새로운 복합화합물질들이 발생되고 있다. 신축건물에 사용되는 건축자재는 휘발성유기화합물(VOCs)과 포름알데히드(HCHO)등의 다양한 유해화학물질들을 방출하고 실내공기질을 악화시키는 것으로 조사되고 있다. (중략)