• 제목/요약/키워드: 물의 상태변화

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W/TiN 금속 게이트 MOS 소자의 물리.전기적 특성 분석

  • 윤선필;노관종;노용한
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2000년도 제18회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.123-123
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    • 2000
  • 선폭이 초미세화됨에 따라 게이트 전극에서의 공핍 현상 및 불순물 확산의 물제를 갖는 poly-Si 게이트를 대체할 전극 물질로 텅스텐(W)이 많이 연구되어 왔다. 반도체 소자의 배선물질로 일찍부터 사용되어온 텅스텐은 내화성 금속의 일종으로 용융점이 높고, 저항이 낮다. 그러나, 일반적으로 사용되고 있는 CVD에 의한 텅스텐의 증착은 반응가스(WF6)로부터 오는 불소(F)의 게이트 산화막내로의 확산으로 인해 MOS 소자가 크게 열화될수 있다. 본 연구에서는 W/TiN 이중 게이트 전극 구조를 갖는 MOS 캐패시터를 제작하여 전기적 특성을 살펴보았다. P-Type (100) Si위에 RTP를 이용, 85$0^{\circ}C$에서 110 의 열산화막을 성장 및 POA를 수행한 후, 반응성 스퍼터링법에 의해 상온, 6mTorr, N2/Ar=1/6 sccm, 100W 조건에서 TiN 박막을 150, 300, 500 의 3그룹으로 증착하였다. 그 위에 LPCVD 방법으로 35$0^{\circ}C$, 0.7Torr, WF6/SiH4/H2=5/5~10/500sccm 조건에서 2000~3000 의 텅스텐을 증착하였다. Photolithography 공정 및 습식 에칭을 통해 200$\mu\textrm{m}$$\times$200$\mu\textrm{m}$ 크기의 W/TiN 복층 게이트 MOSC를 제작하였다. W/TiN 복측 게이트 소자와 비교분석하기 위해 같은 조건의 산화막을 이용한 알루미늄(Al) 게이트, 텅스텐 게이트 MOSC를 제작하였다. 35$0^{\circ}C$에서 증착된 텅스텐 박막은 10~11$\Omega$/ 의 면저항을 가졌고 미소한 W(110) peak값을 나타내는 것으로 보아 비정질 상태에 가까웠다. TiN 박막의 경우 120~130$\Omega$/ 의 면저항을 가졌고 TiN (200)의 peak 값이 크게 나타난 반면, TiN(111) peak가 미소하게 나타났다. TiN 박막의 두께와 WF/SiH4의 가스비를 변화시켜가며 제작된 MOS 캐패시터를 HF 및 QS C-V, I-V 그리고 FNT를 통한 전자주입 방법을 이용하여 TiN 박막의 불소에 대한 확산 방지막 역할을 살펴 보았다. W/TiN 게이트 MOS 소자는 모두 순수 텅스텐 게이트보다 우수하였고, Al 게이트와 유사한 전기적 특성을 보여주었다. W/TiN 게이트 MOS 소자는 모두 순수 텅스텐 게이트보다 우수하였고, Al 게이트와 유사한 전기적 특성을 보여주었다. TiN 박막이 300 , 500 이고 WF6/SiH4의 가스비가 5:10인 경우 소자 특성이 우수하였으나, 5:5의 경우에는 FNT 전자주입 특성이 열화되기 시작하였다. 그리고, TiN박막의 두께가 150 으로 얇아질 경우에는 WF6/SiH4의 가스비가 5:10인 경우에서도 소자 특성이 열화되기 시작하였다. W/TiN 복층 게이트 MOS 캐패시터를 제작하여 전기적인 특성 분석결과, 순수 텅스텐 게이트 소자의 큰 저전계 누설 전류 특성을 해결할 수 있었으며, 불소확산에 영향을 주는 조건이 WF6/SiH4의 가스비에 크게 의존됨을 알 수 있었다. TiN 박막의 증착 공정이 최적화 될 경우, 0.1$\mu\textrm{m}$이하의 초미세소자용 게이트 전극으로서 텅스텐의 사용이 가능할 것으로 보여진다.

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미계측 유역 유출 모의를 위한 Tank 모형의 매개변수 지역화 (Parameter Regionalization of a Tank Model for Simulating Runoffs from Ungauged Watersheds)

  • 강민구;이주헌;박기욱
    • 한국수자원학회논문집
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    • 제46권5호
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    • pp.519-530
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    • 2013
  • 본 연구에서는 미계측 유역인 저수지 상류 유역의 유출을 모의하기 위하여 Tank 모형의 구성성분을 개선하고 매개변수를 지역화하였으며, 모형의 적용성을 평가하였다. 저수지 상류 유역의 유출특성을 고려하여 3단 Tank 모형을 선정하였다. 유역 물수지를 고려하여 세 번째 Tank의 지하배수과정을 제외하였으며, 증발산성분은 국내의 기상관측 상황을 반영하여 개선하였다. 모형의 민감도 분석결과는 매개변수${\alpha}$의 변화에 따라 모형이 합리적으로 반응한다는 것을 제시하였다. 유역의 유역특성인자와 토지이용상태를 변수로 사용하여 모형의 매개변수 지역화식을 결정하였다. 3개 유역의 유출 모의와 1개 저수지의 저수위 모의에 대하여 모형 성능을 검증하였으며, 실측치와 모의치가 유사한 경향을 나타냈다. 24개 저수지 유입량 모의에 모형을 적용한 결과, 대상 저수지 상류 유역의 평균 증발산율은 42.8%, 평균 유출률은 56.6%이었다. 결론적으로 매개변수가 지역화된 Tank 모형은 저수지 상류 유역의 유출 모의에 적용이 가능하며, 모의된 유입량 자료는 저수지 계획, 설계, 운영에 유용하게 활용될 수 있을 것으로 사료된다.

가뭄저항성 GM벼(CaMsrB2-8)의 농업적 특성의 퇴화 가능성 검정 (Deterioration of Agronomic Characteristics of Drought-Resistant GM Rice (CaMsrB2-8))

  • 김보라;손진환;김혜련;함정관;;박순기;신동현
    • Weed & Turfgrass Science
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    • 제2권2호
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    • pp.159-163
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    • 2013
  • 본 논문은 가뭄저항성 유전자를 도입한 GM벼(CaMsrB2-8)를 모품종 일미와 비교하여 잡초화 가능성의 여부를 판단하고자 실시하였다. GM벼(CaMsrB2-8)의 생육특성과 발아율 실험 결과 모품종 일미와 큰 차이를 보이지 않았고, 모든 종자는 6일 후 발아하였다. GM벼(CaMsrB2-8)와 일미의 수발아성 실험을 $23{\pm}2^{\circ}C$ 온실에서 충분한 물을 분무하여 40일간 진행한 결과 수발아는 발생하지 않았다. 라튜닝 후 GM벼(CaMsrB2-8)와 일미의 지상부 생장을 비교한 결과 7-14일 동안 일미보다 GM벼(CaMsrB2-8)의 성장이 빠른 것처럼 보였으나 그 이후 14-21일 동안에는 두 개체가 비슷한 성장세를 보였다. GM벼(CaMsrB2-8)와 일미의 탈립율은 두 개체가 비슷하였으며 등숙율 또한 90%이상으로 비슷한 수준을 보였다. 종자의 월동성을 조사한 결과 발아율 0%로 자연상태에서 월동 후 발아 가능성은 없을 것으로 보인다. 따라서 본 연구를 토대로 GM벼(CaMsrB2-8)에 도입된 내건성유전자는 벼의 농업적 특성을 변화시키지 않는 것으로 판단되며 따라서 GM벼(CaMsrB2-8) 재배 시 잡초화 되지는 않을 것으로 생각된다.

수막보호 유리벽의 가열면 온도변화에 따른 급냉파열특성에 관한 연구 (A Research on Glass Breakage Vs. Surface Temperature on Fire Exposed Glass for The Water Film Cooling-down Glazing System)

  • 박형주;지남용;김창훈
    • 한국화재소방학회:학술대회논문집
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    • 한국화재소방학회 2001년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.301-310
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    • 2001
  • 본 연구는 내화성능을 가진 수막보호유리벽을 실제 건축물에 적용하는데 있어서 필수적으로 고려해야 할 가상시나리오 중에서 수막이 유리면을 보호하기 이전에 유리면에 근접되어 있는 화염으로부터 방출되는 복사열이 유리면이 가열된 상태에서 수막이 형성될 경우 유리면의 온도가 급속히 냉각됨으로서 발생할 수 있는 급냉파열특성을 규명하기 위해 실험한 연구로서 가열면온도범위에 따라 유리면에$150^{\circ}C$이상 $250^{\circ}C$이하에서 수막이 형성될 경우 급냉파열은 일어나지 않았으나 일반유리는 $100^{\circ}C$이상 $150^{\circ}C$이하에서 급냉파열이 일어남을 확인하였다. 즉 방화구획벽에 적용가능한 수막형성유리벽의 유리가 강화유리인점을 착안하면 수막의 도포이전에 강화유리면의 온도가 $250^{\circ}C$까지 올라가기 전에는 수막을 유리면에 접촉하여도 유리면의 급냉파열이 일어나짐 않음을 확인할 수 있었다. 이점은 일정한 구획내에서 유리면의 직근에 설치된 감지기에 의해 수막형성시스템의 가동을 할 경우 급내파열형상이 발생하지 않는 온도범위를 설정할 때 중요한 데이터로 활용가능하다. 결과적으로 국부복사열에 의하여 온도범위를 설정할 때 중요한 데이터로 활용가능하다. 결과적으로 국부복사열에 의하여 유리면의 온도가 급냉파열현상을 일으키는 한계온도에 이르기 전에 유리벽체 상부의감지기의 작동이 필수적으로 일어날 수 있음을 증명한다면 수막을 이용한 유리벽체를 일정시간이상의 내화성능이 요구되는 방화구획의 수직부재로 활용하는데 있어서 걸림돌이 되는 급냉파열에 대한 우려를 종식시키는데 이바지할 수 있다.l류 11.56%, acid류 38.87%, hydrocarbon류 2.89%, ester류 0.80%, 총 70.32%가 확인되었다. Alcohol류에서 linalool가 3.78%, acid류에서는 caproic acid류가 14.40%, carbonyl류에서 2-hydroxy-4-methoxyacetophenone이 2.99%, hydrocabon류에서는 aromadendrene가1.59% 그리고 ester류에서는 methyl palmitate가 0.43%으로 가장 많이 함유하고 있었다.0ppm에서 약 25.6%흡수되었고 ferric citrate 100ppm은 24.7%, ferrous sulfate는 19.7%흡수되었다. ILC를 첨가하지 않은 100ppm 철분염 용액은 ferrous sulfate를 제외하고는 흡수도가 감소되었다. 철분 결핍된 쥐에게 gavage 방법에 의하여 철분강화우유를 투여하였을 때 철분 25ppm 시료에서는 ferrous sulfate가 12.5%로 가장 높았고 ferrous lactate는 8.1%, ferric citrate는 6.5% 흡수되었다. 철분 100ppm수준에서는 흡수율이 낮아져 ferrous sulfate는 25ppm 시료보다 절반이하 수준이었다. Ferric citrate는 차이가 거의 없었으며 ferrous lactate는 70%수준이었다. 이상의 결과에서 철분강화우유에 사용하기 적합한 철분염은 ferrous lactate, ferric citrate였는데 특히 ferrous lactate는 제품의 이화학적 품질, 생이용성 측면 모두에서 가장 좋은 것으로 나타났다.다 높았으며, 1회당 평균 8.1$\pm$5.1개의 난포란을 회수하였다.

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MODIS 관측자료를 이용한 러시아 산불 영향 하에 발달한 구름의 미세 물리적 특성 연구 (MODIS-estimated Microphysical Properties of Clouds Developed in the Presence of Biomass Burning Aerosols)

  • 김신영;손병주
    • 대한원격탐사학회지
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    • 제24권4호
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    • pp.289-298
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    • 2008
  • 본 연구에서는 에어로솔의 간접 효과를 고려한 구름의 광학두께와 유효입자반경을 산출하기 위해 새로운 알고리즘을 개발하였다. 구름의 미세물리적 특성을 산출하기 위해 Nakajima and Nakajima(1995)의 방법을 응용하였다. 다양한 대기상태에서 복사전달모델을 이용하여 미리 계산한 서로 다른 LUT을 적용하여 최종 산출물인 구름광학두께와 유효입자반경을 산출하였다. 러시아지역에 산불이 있었던 2003년 5월 한반도 주변을 사례로 선택하였다. 이 때 발생한 에어로솔은 대기 흐름을 따라 한반도까지 도달하여 한반도 주변의 날씨에 매우 많은 영향을 주었다. 본 연구에서는 이 시기에 러시아 지역의 산불로 인하여 발생한 에어로솔이 한반도 주변의 구름에 어떠한 영향을 주는지 알아보았다. 이 사례의 알고리즘 적용을 위해 Terra위성에 탑재된 분광계인 MODIS자료를 사용하였다. 사례분석 결과, 에어로솔이 있는 시기에는 유효입자반경이 $20{\mu}m$ 이상의 큰 구름은 거의 존재하지 않았음에 비해, 에어로솔이 거의 없는 시기에는 $20{\mu}m$ 이상의 큰 구름도 다수 존재하였다. 즉, 에어로솔의 영향하에 발달한 구름은 구름광학두께는 크고, 유효입자반경은 작은 구름이라는 것을 확인할 수 있었다. 이러한 결과는 에어로솔이 구름의 미세물리적 특성을 변화시킨다는 것을 보여준다.

참외 CA저장시 $CO_2$$O_2$농도에 따른 품질 변화 (Effects of Different Carbon Dioxide and Oxygen Concentration on the Quality of Oriental Melon during CA Storage)

  • 이숙희;김창배;서영진;김찬용;윤재탁
    • 한국식품저장유통학회지
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    • 제6권4호
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    • pp.386-391
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    • 1999
  • 참외 CA저장시 적정 $CO_2$농도 및 $O_2$농도를 구명하기 위해 경북 성주산 참외 금싸라기 품종을 공시하여 $CO_2$농도를 5, 10, 15%로 하였고 $O_2$농도는 3, 10%로 하여 15일, 30일, 45일 동안 각각 저장하여 실험한 결과는 다음과 같았다. 참외 저장후의 부패과율은 $CO_2$농도가 높을수록 낮았으며, 중량감소율은 저장 45일까지도 일반저온저장에서 5.01%, CA저장에서는 1.0%내외로 낮았다. 과육의 경도는 저장 30일까지는 일반저온저장, CA저장 모두 저장전과 비슷한 수준으로 유지되다가 저장 45일경에는 일반저온저장에서 경도가 현저히 감소하였다. 가용성 고형물과 Vitamin C는 $CO_2$10%+O$_2$3%의 CA조건에서 저장한 참외가 다른 조건에서 저장한 참외보다 과육, 태좌부 모두 다소 높은 수준을 보였다. 저장 30일경의 과육중의 ethanol함량은 $CO_2$농도가 높을수록 많았으며 태좌부에서는 $CO_2$농도에는 큰 영향이 없었으며 $O_2$농도가 낮을수록 ethanol 함량이 많았으며 $CO_2$10%+O$_2$3%와 $CO_2$5%+O$_2$10%의 CA조건에서 ethanol축적이 비교적 적었다. Hunter L값은 $CO_2$10%+O$_2$3%의 CA조건에서 저장한 참외에서 저장초기의 상태를 가장 잘 유지되었다.

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수문학적 가뭄감시 및 해석을 위한 다양한 가뭄지수 평가 -물로천 유역을 중심으로- (Hydrological Drought Analysis and Monitoring Using Multiple Drought Indices: The Case of Mulrocheon Watershed)

  • 이주헌;박서연;김민규;정일문
    • 대한토목학회논문집
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    • 제41권5호
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    • pp.477-484
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    • 2021
  • 최근 기후변화로 인하여 우리나라는 지역에 따라 2~3년 마다 크고 작은 가뭄과 7년 주기의 극한 가뭄이 발생하고 있다. 대부분의 가뭄이 지류 또는 상류의 소규모 용수공급시설이 위치한 지역에서 주로 발생되므로 이 지역에 대한 용수확보 기술에 관한 연구가 필요하다. 본 연구에서는 물공급 취약지역의 하나인 춘천 물로천 유역의 수문학적 가뭄을 조사하기 위해 SPEI, SDI, WBDI를 이용한 가뭄 평가를 수행하였다. 수문학적 가뭄지수인 SPEI와 SDI를 산정한 결과, 공통적으로 2014년에 발생한 가뭄으로 인해 회복되지 못하고 2015년까지 지속된 것을 확인할 수 있었다. WBDI에 의한 수문학적 가뭄지수 평가결과에서는 2014년에 이은 2015년 봄철에 매우 심한가뭄 상태를 보였으며, 2017년 11월에 -1.94로 가장 가뭄이 심했던 것으로 분석되었다. 2003~2019년 (17년)의 월 단위로 산정된 수문학적 가뭄지수를 활용하여 지속기간 및 심도에 따른 코플라 함수를 적용한 이변량 빈도해석 결과, 물로천 유역의 가뭄은 대부분의 10년 빈도 이하의 값으로 나타났으나, 2014년, 2015년, 2019년에 발생한 가뭄의 경우 각각 20년 이상의 재현기간을 갖는 심한가뭄으로 분석되었다.

드론을 이용한 홍수기 유량측정방법 개발(I) - 항공사진측량 기법 적용 (Development of flow measurement method using drones in flood season (I) - aerial photogrammetry technique)

  • 이태희;임혁진;윤성학;강종완
    • 한국수자원학회논문집
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    • 제53권12호
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    • pp.1049-1057
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    • 2020
  • 본 연구는 드론을 이용하여 홍수기 하천에서의 유량측정방법 개발을 위해 수행하였다. 홍수기 유량측정은 예산, 인력, 안전 및 하천공사 등의 문제로 매년 모든 지점에서 유량 측정을 실시하지 못하는 어려움이 있다. 특히 태풍 등 큰 호우사상 발생 시 수위-유량관계 변화 검토가 필요하지만 앞에서 언급한 문제 등으로 인하여 측정에 어려움이 있다. 이런 문제점을 개선하기 위해 최소 인력이 단시간 간편하게 측정할 수 있는 방법을 개발하였다. 항공사진측량 개념으로 접근하여 의정부시(신곡교) 지점과 영동군(영동제2교) 지점 하도 주변에 확인 가능한 위치에 지상기준점(GCP, Ground Control Points) 4개점을 선점하고 VRS DGPS 장비를 이용하여 좌표측량을 수행하였다. 드론을 일정높이의 정지상태(Hovering)에서 하도 내 수 표면을 카메라의 인터벌 기능으로 3초 간격 정사영상을 촬영하였다. 정사 촬영된 항공사진의 좌표계를 평면지각좌표계인 GRS80 TM좌표계로 정의한 후 GCP 좌표를 활용하여 보다 정밀하게 정사보정을 실시하였다. 수표면에 유하하는 부유물의 3초 간격 위치를 X, Y좌표 분석을 통해 이동거리를 평균유속으로 산정하고 유하경로에 따른 통수단면적을 적용하여 유량을 산정하였다. 따라서 항공사진측량 기법을 적용하여 홍수기에 드론을 이용한 유량측정방법에 대한 적용성을 확인하였다.

GK2A 일단위 NDVI의 과소추정 노이즈 실시간 보정 (A Real-time Correction of the Underestimation Noise for GK2A Daily NDVI)

  • 이수진;윤유정;손은하;김미자;이양원
    • 대한원격탐사학회지
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    • 제38권6_1호
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    • pp.1301-1314
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    • 2022
  • Normalized Difference Vegetation Index (NDVI)는 간단한 수식으로 식생 활력도를 파악할 수 있기 때문에, 토지피복, 곡물수확, 농업가뭄, 토양수분, 산림재해 등의 분야에서 지표면의 식생 상태를 나타내는 지시자로 활용되고 있다. 그러나 가시광선과 적외선을 감지하는 광학위성센서는 구름을 투과하여 센싱(sensing)할 수 없으므로, 구름 화소에 대해서는 지표면의 NDVI가 계산될 수 없다. 본 연구에서는 천리안위성 2A호(GEO-KOMPSAT-2A, GK2A) 일단위 NDVI의 과소추정 노이즈를 개선하기 위한 실시간 보정기법을 개발하였으며, Moderate Resolution Imaging Spectroradiometer (MODIS) NDVI와의 정량적 비교 및 시계열 변화에 대한 정성적 해석을 통해 제안된 기법의 유용성을 확인하였다. 식생의 생장 주기를 반영한 시계열 보정, 장기간 기후치를 이용한 이상치 제거, 엄밀한 통계기반의 결측화소 복원 등의 과정을 거친 보정 NDVI에서는 구름에 의한 과소추정이 효과적으로 개선되었다. MODIS NDVI와의 상관성이 원값보다 높고, 그 차이가 감소한 경향을 보여주었으며, 특히 여름철에는 32.7%의 향상률을 보였다. 본 연구에서 제안한 방법은 일부 수정을 거쳐 타 위성산출물에도 적용될 수 있는 확장성을 가지고 있다.

다발성 안면 골절 환자의 보철 수복을 위한 디지털 워크플로우: 증례보고 (Digital workflow for prosthetic restoration in the pan facial fracture patient: A case report)

  • 김승완;박근택;허윤혁;박찬진;조리라;고경호
    • 대한치과보철학회지
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    • 제60권4호
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    • pp.395-403
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    • 2022
  • 다발성 안면 골절의 경우 골절 부위를 원위치로 정복하기 위한 지표가 부족하기에 골절편의 정복 후 교합과 구강 구조의 형태 및 위치가 비정상적으로 변화된 결과를 보이는 경우가 많이 나타난다. 그리고 다발성 안면 골절환자에서 나타난 개구제한과 구역반사는 치과치료의 난이도를 높이고, 외상으로 인한 악골의 위치차이가 심미적, 기능적 회복을 어렵게 한다. 이러한 경우 환자의 불편감과 치과치료의 난이도를 줄이기 위해 최소한의 구내작업을 위한 디지털 워크플로우를 선택할 수 있다. 본 증례는 15년전 발생한 다발성 안면골절로 인한 후천적인 골격성 III급 및 개구제한, 구역반사를 가진 환자에서 상악 전치부 무치악 상태를 임플란트 계획부터 최종 보철물의 제작까지 디지털 워크플로우를 이용하여 수복한 증례이다. 이러한 치과치료의 어려움이 있는 환자에서 디지털 워크플로우의 사용이 환자의 불편감을 최소로 하고 심미적, 기능적으로 적절한 결과를 얻었기에 이를 보고하는 바이다.