• 제목/요약/키워드: 마이크로 크기

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Development of Three-dimensional Chamber-type Glucose Sensor Using Micromachining Technology (마이크로머시닝 기술을 이용한 3차원 마이크로 챔버형 글루코스 센서의 개발)

  • Kim Sung Ho;Kim Chang Kyo
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.6 no.1
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    • pp.24-28
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    • 2005
  • A micromachined biochip with a three dimensional silicon chamber was developed for the construction of biosensors. Anisotropic etching was used fur the formation of the chamber on the p-type silicon wafer(100) and then was glued to the Pyrex glass bottom-substrate with pre-deposited platinum electrode. The electrochemical characterization of its Pt electrode and Ag/AgCl reference electrode was investigated.

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Nano Aperture Microprobe Array produced by FIB process for Integrated Optical Recording Read

  • 임동수;오종근;김영주
    • 정보저장시스템학회:학술대회논문집
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    • 2005.10a
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    • pp.81-82
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    • 2005
  • 새로운 고 용량 광 저장 시스템 개발을 위하여 초 미세 개구를 가지는 마이크로 프로브 어레이시스템 완성을 목표로 연구를 진행하였다. 효율적인 초 미세 개구 생성을 위해 기존의 제작된 마이크로 프로브 위에 FIB 공정을 이용하여 40nm 크기를 가지는 어퍼쳐를 만들었다. 나노 어퍼쳐를 가지는 마이크로 프로브 어레이는 곧 마이크로 렌즈와 VCSEL 과 일체화된 광 기록 헤드시스템으로 준비될 예정이다. 멤스 공정을 이용한 이 시스템은 향후 높은 저장 용량과 빠른 전송속도를 달성할 수 있는 차세대 광정보저장기기에 적용 가능한 새로운 광 픽업 시스템을 발전시킬 수 있을 것으로 생각된다.

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Fabrication of Micro-Heatsink using Nanotemplate (나노 템플레이트를 이용한 마이크로 히트 싱크의 제조)

  • 함은주;손원일;홍재민
    • Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference
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    • 2002.11a
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    • pp.81-85
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    • 2002
  • 전기 전자 제품에 사용되는 반도체 칩이나 부품들은 작동시 발열을 하게 되며 이러한 열은 적절히 제거되지 않은 경우 전기 전자 제품의 오작동을 유발시키는 요인이 된다. 발열부품이 작동할 때 발생되는 열을 제거하기 위해서 히트싱크나 냉각팬과 같은 구조를 발열 부품 장착시 같이 설치하는 방법이 일반적으로 사용되는 냉각구조 형태지만 이와 같은 냉각 구조는 최근의 전기 전가 제품의 소형화 추세에 부응하는데는 한계가 있다. 따라서 이러한 냉각 구조의 한계를 보완하기 위한 방안으로써 소형화한 히트싱크, 즉 두께와 방열의 중요 요인이 되는 히트싱크의 방열핀의 크기를 나노미터 단위에서 밀리미터 단위로 제조한 마이크로 히트 싱크를 제조하여 그 효용성에 대해 연구하고자 하였다. 마이크로 히트싱크의 제조는 균일한 포어를 포함한 폴리머 멤브레인에 열전도성이 뛰어난 금속을 무전해 도금하는 방법으로 제조하였으며 주사현미경으로써 관찰하였다.

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폴리머 기판위의 저주파 대기압 마이크로 플라즈마의 방전 특성에 관한 연구

  • Jeong, Hui-Su;Kim, Dan-Bi;Gwon, Bo-Mi;Choe, Won-Ho
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.02a
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    • pp.444-444
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    • 2010
  • 최근 복잡한 고진공 시스템에서 수행되는 플라즈마 공정을 대신하여 진공 시스템 없이 대기압 플라즈마를 이용한 보다 경제적이고 신속하게 공정을 수행하는 연구가 활발히 진행 중이다. 이러한 대기압 플라즈마의 높은 응용성을 이용한 에칭과 증착 등의 기술은 플라즈마의 물리적 접근 없이 세계적으로 몇몇 선도 연구그룹에서 시도되고 있다. 본 연구팀에서는 대기 중에서 He, Ar, $N_2$, $O_2$, Air 등의 여러 종류의 기체에서 방전하여 미세가공이 가능한 $500\;{\mu}m$ 이하의 마이크로 제트를 개발하였다. 입력전압, 기체유량, 노즐의 구조와 크기 등의 여러 운전변수의 조절을 통해 폴리머 기판위에서 방전되는 마이크로 플라즈마 제트의 안정된 방전조건을 찾았고, 전압-전류 특성곡선(V-I characteristics), 광방출분광법(OES), 시간분해 이미지 촬영법(ICCD), 기체온도 측정법 등을 이용하여 발생된 플라즈마의 물리적인 특성을 분석하였다. 발생된 플라즈마를 이용해 처리된 폴리머 기판의 물성변화를 AFM을 통해 관찰하여 짧은 플라즈마 처리시간에도 효과적인 표면개질의 변화를 확인하였다. 마지막으로 본 기술을 이용한 대기압 마이크로 공정의 응용기술 및 가능성을 연구하였다.

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$BaTiO_3$분말의 크기와 함량이 내장형 캐패시터 용 에폭시/$BaTiO_3$복합체 필름의 특성에 미치는 영향

  • 조성동;이주연;백경욱
    • Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference
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    • 2002.05a
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    • pp.142-147
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    • 2002
  • 폴리머/세라믹 복합체는 내장형 캐패시터(embedded capacitor)의 유전 재료로 많은 관심을 불러 일으키고 있다. 본 연구는 BaTiO$_3$분말의 크기와 함량이 에폭시/BaTiO$_3$복합체 캐패시터의 유전 상수와 누설전류에 미치는 영향에 대해 살펴보고 이에 대해 고찰하고자 하였다. BaTiO$_3$분말이 67vo1% 함유된 Epoxy/BaTiO$_3$composite 필름의 유전상수는 전반적으로 사용한 BaTiO$_3$분말의 크기가 커짐에 따라 증가하였다. 이것은 입자의 크기가 증가함에 따른 입자의 유전상수의 증가 때문이며 XRD 분석을 통해 입자의 크기가 증가함에 따라 tetragonality가 증가함을 확인하였다. 복합체 필름의 누설전류도 또한 사용한 입자의 크기가 커짐에 따라 증가하였으며 이는 분말의 크기가 증가함에 따라 단위길이 당 입자의 수가 감소하는 것으로, 단위 길이 당 입자의 수가 감소하여 전류의 흐름을 방해하는 입자/폴리머/입자 계면의 수가 감소하기 때문이다. 분말의 함량에 따른 유전상수는 unimodal과 bimodal의 경우 각각 73vo1%와 80vo1%에서 최대 값을 나타냈으며 그 이상에서는 감소하는 것이 관찰되었는데 이는 과량의 분말이 조밀 충전을 깨고 필름의 밀도를 낮추기 때문이었다. 누설전류의 경우 unimodal과 bimodal 각각에 대해 73vo1%와 80vo1%에서 급격한 증가를 관찰 할 수 있었으며 이는 percolation 현상의 발생에 의해 입자와 입자간에 접촉이 이루어져 BaTiO$_3$분말을 따라 전류가 잘 흐를 수 있는 conduction path가 형성 되기 때문이다.

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Preparation of Silica Microgels Using Membrane Emulsification Method (막유화법을 이용한 실리카 마이크로겔의 제조)

  • Youm, Kyung-Ho;Kwak, No-Shin
    • Membrane Journal
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    • v.19 no.2
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    • pp.122-128
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    • 2009
  • We prepared monodispersed spherical silica microgels by controlling various conditions of emulsification procedure using a lab-scale membrane emulsification system equipped with SPG (Shirasu porous glass) porous membrane having pore size of $1.5{\mu}m$. We determined the effects of process parameters of membrane emulsification (ratio of dispersed phase to continuous phase, sodium silicate concentration, emulsifier concentration, dispersed phase pressure, stirring speed) on the mean size and size distribution of silica microgels. The increase of the ratio of dispersed phase to continuous phase, dispersed phase pressure and sodium silicate concentration led to the increase in the mean size of microgels. On the contrary, the increase in emulsifier concentration and stirring speed of the continuous phase caused the reduction of the mean size of microgels. Through controlling these parameters, monodisperse spherical silica microgels with about $6{\mu}m$ of the mean size were finally prepared.

Optimum Size for the Inset Cut Feed of Microstrip Antennas (마이크로스트립 안테나 급전홈의 최적 크기)

  • 유지연;오이석;구연건
    • The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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    • v.11 no.2
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    • pp.143-150
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    • 2000
  • In this paper, an optimum size for the inset cut feed of microstrip antennas has been determined by using the finite-difference time domain method. At first, the return losses of microstrip antennas having various shapes and types of the inset cut feeds have been computed numerically for a given frequency and a substrate. Then an optimum size of the inset cut feed has been determined by iterative computation procedure for a given condition. It was found that the optimum width of the inset cut feed is about 0.42 times of the width of 50Ω feed line and the optimum length of the inset cut feed is about 0.36 times of the length of the antenna patch. These results are proved by the experimental data obtained from the measurements of many fabricated antennas. It was also found that the optimum size of the inset cut feed is independent on the frequency, the height and the dielectric constant of the antennal substrate.

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Rheological Characteristics of Nitromethane Gel Fuel with Nano/Micro Size of SiO2 Gellant (SiO2계열 젤화제 입자크기에 따른 니트로메탄 젤 추진제의 유변학적 특성 연구)

  • Jang, Jinwu;Kim, Sijin;Han, Seongjoo;Kim, Jinkon;Moon, Heejang
    • Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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    • 2017.05a
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    • pp.456-461
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    • 2017
  • In this study, the rheological properties of nitromethane gel propellants on nano/micron sized gelling agent are investigated. Silicon dioxide is used as the gellant with 5 wt%, 6.5 wt% and 8 wt% concentration, respectively, where the measurements are conducted under steady-state shear flow conditions using a rotational rheometer. The nitromethane/silicon dioxide gel showed non-Newtonian flow behavior for the entire experimental shear rate ranges. The gel fuels with nano-sized gellant had a slightly higher viscosity than the gel fuels with micron-sized one for low shear rate range. Additionally, it was found that Herschel-Bulkley model can hardly describe the rheological behavior of nitromethane gel propellant, but the NM model(by Teipel and Forter-Barth) is better suited to explain the rheological behavior of nitromethane gel propellant.

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Evaluation of High-Viscosity Grouting Injection Perfomance for Reinforcement of Rock Joint in Deep -Depth Tunnels (대심도 터널 암반 절리 보강을 위한 고점도 그라우팅 주입 성능 평가)

  • Inkook Yoon;Junho Moon;Younguk Kim
    • Journal of the Korean GEO-environmental Society
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    • v.25 no.5
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    • pp.15-19
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    • 2024
  • This study aimed to develop high-efficiency grouting techniques under deep-depth conditions by experimentally verifying the applicability of various injection materials. Particle size analysis and injection model experiments were conducted with Ordinary Portland Cement (OPC) and Micro Cement (MC) to evaluate the injection performance of each material. Using Barton's Cubic Network theory, the rock fracture spacing was calculated for domestic deep-depth standards, specifically below 40 meters underground. The analysis of particle size passability under selected conditions showed that MC could pass through the rock fracture gaps, while OPC could not. According to the results of the injection model experiments using experimental devices and area calculation software, OPC failed in injection due to its larger particle size, whereas MC was capable of injection even under high-viscosity conditions. Based on these findings, the study quantitatively and visually derived the applicability of grouting materials under deep-depth conditions, and high-viscosity MC material is expected to be effective for waterproofing enhancement in deep-depth rock fracture surfaces.

Effects of Micro-fin Structure on Spray Cooling Heat Transfer in Forced Convection and Nucleate Boiling Region (강제대류 및 핵비등영역에 있어서 마이크로 휜 형상이 분무냉각 열전달에 미치는 영향)

  • Kim, Yeung-Chan
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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    • v.34 no.11
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    • pp.983-990
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    • 2010
  • In the present study, spray cooling heat transfer was experimentally investigated for the case in which water is sprayed onto the surfaces of micro-fins in forced convection and nucleate boiling regions. The experimental results show that an increase in the droplet flow rate improves heat transfer due to forced convection and nucleate boiling in the both case of smooth surface and surfaces of micro-fins. However, the effect of subcooling for fixed droplet flow rate is very weak. Micro-fins surfaces enhance the spray cooling heat transfer significantly. In the dilute spray region, the micro-fin structure has a significant effect on the spray cooling heat transfer. However, this effect is weak in the dense spray region. A previously determined correlation between the Nusselt number and Reynolds number shows good agreement with the present experimental data for a smooth surface.