Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2016.02a
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pp.213-213
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2016
현재 반도체 산업에서는 디바이스의 고 집적화, 고 수율을 목적으로 패턴의 미세화 및 웨이퍼의 대면적화와 같은 이슈가 크게 부각되고 있다. 다중 패터닝(multiple patterning) 기술을 통하여 고 집적 패턴을 구현이 가능해졌으며, 이와 같은 상황에서 각 패턴의 임계치수(critical dimension) 변화는 패턴의 위치 및 품질에 큰 영향을 끼치기 때문에 포토마스크의 임계치수 균일도(critical dimension uniformity, CDU)가 제작 공정에서 주요 파라미터로 인식되고 있다. 반도체 광 리소그래피 공정에서 크롬(Cr) 박막은 사용되는 포토 마스크의 재료로 널리 사용되고 있으며, 이러한 포토마스크는 fused silica, chrome, PR의 박막 층으로 이루어져 있다. 포토마스크의 패턴은 플라즈마 식각 장비를 이용하여 형성하게 되므로, 식각 공정의 플라즈마 균일도를 계측하고 관리 하는 것은 공정 결과물 관리에 필수적이며 전체 반도체 공정 수율에도 큰 영향을 미친다. 흔히, 포토마스크 임계치수는 플라즈마 공정에서의 라디칼 농도 및 식각 선택비에 의해 크게 영향을 받는 것으로 알려져 왔다. 본 연구에서는 Cr 포토마스크 에칭 공정에서의 Cl2/O2 공정 플라즈마에 대해 O2 가스 주입량에 따른 식각 선택비(etch selectivity) 변화를 계측하여 선택비 제어를 통한 Cr 포토마스크 임계치수 균일도 향상을 실험적으로 입증하였다. 연구에서 사용한 플라즈마 계측 방법인 발광분광법(OES)과 optical actinometry의 적합성을 확인하기 위해서 Cl2 가스 주입량에 따른 actinometer 기체(Ar)에 대한 atomic Cl 농도비를 계측하였고, actinometry 이론에 근거하여 linear regression error 1.9%을 보였다. 다음으로, O2 가스 주입비에 따른 Cr 및 PR의 식각률(etch rate)을 계측함으로써 식각 선택비(etch selectivity)의 변화율이 적은 O2 가스 농도 범위(8-14%)를 확인하였고, 이 구간에서 임계치수 균일도가 가장 좋을 것으로 예상할 수 있었다. (그림 1) 또한, spatially resolvable optical emission spectrometer(SROES)를 사용하여 플라즈마 챔버 내부의 O atom 및 Cl radical의 공간 농도 분포를 확인하였다. 포토마스크의 임계치수 균일도(CDU)는 챔버 내부의 식각 선택비의 변화율에 강하게 영향을 받을 것으로 예상하였고, 이를 입증하기 위해 각각 다른 O2 농도 환경에서 포토마스크 임계치수 값을 확인하였다. (표1) O2 11%에서 측정된 임계치수 균일도는 1.3nm, 그 외의 O2 가스 주입량에 대해서는 임계치수 균일도 ~1.7nm의 범위를 보이며, 이는 25% 임계치수 균일도 향상을 의미함을 보인다.
Journal of Korea Entertainment Industry Association
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v.15
no.6
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pp.15-22
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2021
This study is aimed at suggesting a direction for the development of sensuous and creative art mask design by making art masks rooted in the aesthetic characteristics of psychedelia. The conceptual definition and characteristics of psychedelia were identified on previous studies, specialized books and works of art. The characteristics of psychedelia based on theoretical research were limited to illusionism, abstraction, play, and dynamism, which are often used in researcher's work, and four research works were produced by combining them with art mask design. By trying to diversify works regardless of form or tradition, this study could make the infinite creation of art mask possible and transform that into a new modern beauty. In addition, by expressing internal meaning along with external characteristics in the design of works, it could bring the establishment of a new perception and value of art mask. In the future, it is hoped that this study will be used as basic data for follow-up research related to art mask design and be helpful in the development of art mask design.
Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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2010.04a
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pp.373-376
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2010
요즘 현금카드나 신용카드를 훔치고 비밀번호를 알아내 ATM(현금자동지급기)에서 현금을 인출하는 범죄가 늘고 있는데 범인들은 대부분 선글라스, 안경, 마스크, 모자 등으로 얼굴을 가리고 인출을 함으로 은행의 CCTV는 범인색출에 거의 도움이 되지 않는다. 본 논문에서의 영상처리는 모두 Java언어를 사용하였으며 피부색을 사전 추출하는 과정을 거쳐 구현된 분류기능을 이용해 얼굴의 이목구비들의 위치를 인식하도록 한다. 이는 ATM이용자가 선글라스, 안경, 마스크 등으로 얼굴을 가리면 기기에서 애초에 서비스 받는 것을 불가능 하게 하여, 범죄를 예방할 수 있게 한다. 또한 카드의 사용자 정보와 서비스를 시도했던 시간과 캡쳐 이미지를 저장해 놓음으로써 범인의 인상착의, 알리바이 등을 확인하는데 크게 도움을 주는 ATM 안면 인식 보안 시스템의 가능성을 제안하고자 한다.
Kim, Young-Kook;Lim, Chae-Hyun;Son, Min-Ji;Kim, Myung-Ho
Proceedings of the Korean Society of Computer Information Conference
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2020.07a
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pp.23-26
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2020
본 논문에서는 CCTV를 통해 얻은 영상에서 얼굴을 인식하여 자동으로 출석 여부를 체크하는 시스템을 소개한다. 이 시스템은 CNN을 바탕으로 RetinaFace 모델을 사용하여 얼굴을 탐지하고, 탐지된 얼굴을 ArcFace 모델로 R512의 목표 공간으로 임베딩한다. 기존 데이터베이스에 등록된 얼굴과 CCTV를 통해 얻은 얼굴들의 임베딩 벡터 사이의 Angular Cosine Distance를 측정하여 동일 인물인지 판단하는 매칭 알고리즘을 제안한다. 실험을 통해 두 모델을 동시에 사용할 최적의 환경을 파악하고, 마스크 착용으로 얼굴의 하단부가 가려지는 폐색 문제에 더욱 효과적으로 대응하여 매칭 성능을 높이는 방법을 제안한다.
Kim Jae-Yong;Lee Dong-Min;Kim Young-Ju;Kim Kwang-Baek
Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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2006.05a
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pp.352-357
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2006
매년 도로와 주차공간의 확장보다 차량의 수가 빠르게 증가하여 그에 따라 불법 주차 관리의 어려움이 증가하고 있다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 지능형 주차 관리 시스템이 필요하게 되었다. 본 논문에서는 획득된 차량 영상에서 수직 에지의 특징을 이용하여 번호판 영역과 개별 코드를 추출하고, 추출된 개별 코드를 퍼지 신경망 알고리즘을 제안하여 학습 및 인식한다. 본 논문에서는 차량 번호판 영역을 검출하기 위해 프리윗 마스크를 적용하여 수직 에지를 찾고, 차량 번호판의 정보를 이용하여 잡음을 제거한 후에 차량 번호판 영역을 추출한다. 추출된 차량 번호판 영역은 반복 이진화방법을 적용하여 이진화하고, 이진화된 차량 번호판 영역에 대해서 수직 분포도와 수평 분포도를 이용하여 번호판의 개별 코드를 추출한다 추출된 개별 코드는 제안된 퍼지 신경망 알고리즘을 적용하여 인식한다. 제안된 퍼지 신경망은 입력층과 중간층간의 학습 구조로는 FCM 알고리즘을 적용하고 중간층과 출력층간의 학습 구조는 Max_Min 신경망을 적용한다. 제안된 방법의 추출 및 인식 성능을 평가하기 위하여 실제 차량 영상 150장을 대상으로 실험한 결과, 기존의 차량 번호판 인식 방법보다 효율적이고 인식 성능이 개선된 것을 확인하였다.
Yong Joong Kim;Byung Sang Choi;Ki Seop Lee;Kyung Kwon Jung
Convergence Security Journal
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v.22
no.2
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pp.21-26
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2022
Wearing face masks is an effective measure to prevent COVID-19 infection. Infrared thermal image based temperature measurement and identity recognition system has been widely used in many large enterprises and universities in China, so it is totally necessary to research the face mask detection of thermal infrared imaging. Recently introduced MTCNN (Multi-task Cascaded Convolutional Networks)presents a conceptually simple, flexible, general framework for instance segmentation of objects. In this paper, we propose an algorithm for efficiently searching objects of images, while creating a segmentation of heat generation part for an instance which is a heating element in a heat sensed image acquired from a thermal infrared camera. This method called a mask MTCNN is an algorithm that extends MTCNN by adding a branch for predicting an object mask in parallel with an existing branch for recognition of a bounding box. It is easy to generalize the R-CNN to other tasks. In this paper, we proposed an infrared image detection algorithm based on R-CNN and detect heating elements which can not be distinguished by RGB images.
This paper deals with the adaptation of classification model in the binary mask approach to suppress noise in the noisy environment. The binary mask estimation approach is known to improve speech intelligibility of noisy speech. However, the same type of noisy data for the test data should be included in the training data for building the classification model of binary mask estimation. The eigenvoice adaptation is applied to the noise-independent classification model and the adapted model is used as noise-dependent model. The results are reported in Hit rates and False alarm rates. The experimental results confirmed that the accuracy of classification is improved as the number of adaptation sentences increases.
Park, jae-wan;Song, dae-hyeon;Kim, jong-gu;Kim, dong-min;Lee, chil-woo
Proceedings of the Korea Contents Association Conference
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2009.05a
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pp.169-172
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2009
In this paper, we propose the method to improving touch recognition using edge mask on a touched object at vision-based touchscreen. Because vision-based touchscreen recognizes touch using threshold simply, noise occur in fist or wrist in case of touch directly with hand, correct touch recognition was difficult. However, in this paper, we execute morphology and extract surrounding mask in object that approximate to touchscreen, use change of contrast for the mask. When we touch screen to use these dynamic information, prevent noise. The goal of this paper is when hand was touched on screen it can recognize to touch.
Binary connected-components labeling, which is widely used in the field of the pattern recognition, has been researched for a long time as one of the basic image processing techniques. Two-scan algorithm has been mainly used in the researches of the connected-components labeling. Recently, for the first scan in the two-scan algorithm, block-based labeling approaches have been used and reported as the fastest methods. In this paper, a new efficient scan mask for connected-components labeling with a block-based labeling approach is proposed. Labeling with the new pixel-based scan mask is more efficient than any other existing method. The results of the experiments show that the proposed method is faster than the existing fastest method.
Proceedings of the Korea Multimedia Society Conference
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2002.05c
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pp.342-345
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2002
차량 번호판 인식에 대한 여러 가지 방법들이 제시되고 있다. 기존 연구들의 문제점은 번호판 영역의 밝기 변화 둥에 영향을 많이 받았으며 그로 인하여 번호판 영역 추출률에 영향을 미치는 것은 물론 문자 인식에서도 많은 문제점들이 존재하였다. 따라서 본 연구에서는 색상 정보를 이용하여 밝기를 보정한 후 마스크 적용을 통한 수평ㆍ수직 에지 검출과 형태학적 정보를 이용하여 번호판을 추출하고 변형된 특징 매칭을 이용하여 문자를 인식함으로써 인식률을 향상시킬 수 있었다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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